【課題】 低誘電率膜の誘電率を回復させる方法を記載する。
【解決手段】 複数の孔を持つ多孔質誘電体層を基板上に形成する。その後、複数の孔を添加剤で充填して、塞がれた多孔質誘電体層を得る。最後に、複数の孔から添加剤を除去する。 （もっと読む）

【課題】 半導体装置の保護膜に蓄積する負の電荷によって、半導体基板内の電荷バランスが崩れ、半導体装置の耐圧が低下してしまう。本発明は、簡便な方法を利用して、前記課題を解決することを目的としている。
【解決手段】 半導体装置１０は、回路素子が作り込まれている半導体基板３５と、その半導体基板３５上に形成されている絶縁性の保護膜４６を備えている。保護膜４６の表面４７には、水酸基（ＯＨ）が結合している。これにより、保護膜４６の表面４７は、水滴との接触角が４０°以下になっている。 （もっと読む）