Array ( [0] => 絶縁膜の形成 [1] => 無機積層絶縁膜の構造、材料 [2] => 少なくとも一層が酸化物 [3] => ガラス ) 無機積層絶縁膜の構造、材料 | 少なくとも一層が酸化物 | ガラス
説明

Fターム[5F058BD07]の内容

絶縁膜の形成 (41,121) | 無機積層絶縁膜の構造、材料 (4,921) | 少なくとも一層が酸化物 (2,674) | ガラス (218)

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【課題】 シートフィルム上に薄膜を形成する塗布装置および塗布方法において、吸着による塗布膜厚ムラを防止するのに適した技術を提供する。
【解決手段】 シートフィルムFの一面の周縁を吸引して吸着する真空チャックにて基材を保持するステージ340と、ステージ340保持されたシートフィルムFの表面に薄膜材料を塗布する塗布ノズル343と、塗布された薄膜材料をシートフィルムFの表面に広げるためにステージ340を回転する回転機構とを具備する塗布ユニット34において、塗布手ノズル343より薄膜材料が塗布される前にシートフィルムFを保持した状態でステージ340を回転することでステージ340の中央部341aとシートフィルムFとの間に残留する空気を排気した状態で吸着状態を達成する。 (もっと読む)












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