【課題】金属配線パターンの寄生抵抗を低減可能なダミーパターンの設計方法を提供する。
【解決手段】切り欠きパターン２を一及び逆方向に各所定値Δｘ１だけ縮小して縮小図形４を生成した後、各所定値Δｘ１だけ拡大してダミーパターン５を生成し、その外形を抽出して矩形図形６を生成した後、各所定値Δｘ１だけ縮小して縮小図形７を生成し、ダミーパターン５から縮小図形７を論理減算して切り欠き図形８及び矩形図形９を生成し、切り欠き図形８を抽出してダミーパターン５から論理減算して矩形図形１０を生成した後、各所定値Δｘ１だけ縮小して縮小図形１１を生成し、矩形図形１０から縮小図形１１を論理減算して第１，第２のビア配置領域１２，１３を生成し、各ビア配置領域１２，１３にビア１４をそれぞれ配置する。 （もっと読む）

【課題】配線レイアウトのパターン形状に依存した効果をＬＰＥに容易に取込む。
【解決手段】半導体集積回路の設計支援装置は、図形演算機能を有する第１の情報処理部１１０と、第２の情報処理部１２０とを備える。第１の情報処理部１１０は、レイアウト情報に含まれる各配線層のレイアウトパターンに対して図形演算を施すことによって、予め定める特定形状の配線パターンを抽出する。第２の情報処理部１２０は、製造プロセスに依存した配線または配線層間の絶縁層の厚みの設計値からのずれの大きさを、レイアウト情報から抽出した配線幅および配線密度の情報と、抽出された特定形状の配線パターンに関する情報とに基づいて予測する。そして、第２の情報処理部１２０は、予測した設計値からのずれの大きさを取り入れた配線および配線層間の絶縁層の厚みに基づいて、配線の寄生パラメータを抽出する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の性能を向上させる。
【解決手段】半導体装置の設計フローは、プラグＰＧに接続された配線Ｍ１を含むチップレイアウトを設計するステップと、設計されたチップレイアウトにおけるプラグＰＧに対する配線Ｍ１のマージンを、プラグＰＧに対する配線Ｍ１のリセス量に応じて修正するステップとを有している。この修正ステップは、テストウエハに試験用プラグとそれに３次元的に接続された試験用配線とを含むテストパターンを形成するサブステップと、試験用配線の配線幅および配線密度と試験用プラグに対する試験用配線のリセス量との相関を調べるサブステップを有している。更に、得られた相関に基づいてプラグＰＧに対する配線Ｍ１のリセス量を予測するサブステップと、予測されたリセス量に応じてプラグＰＧに対する配線Ｍ１のマージンを修正するサブステップを有している。 （もっと読む）

【課題】高周波配線と相異なる層に設けられたダミー導体パターンに発生する渦電流を抑制する。
【解決手段】半導体装置１は、高周波配線、およびダミー導体パターン２０（第２のダミー導体パターン）を備えている。ダミー導体パターン２０は、高周波配線と相異なる層中に形成されている。ダミー導体パターン２０は、平面視で、高周波配線と重なる領域を避けるように配置されている。これにより、高周波配線と相異なる層に設けられたダミー導体パターンに発生する渦電流を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】フィードバックパスのバラツキの影響を最小限に抑え、クロックの位相の調整を高精度に行うことができるクロック分配回路を提供する。
【解決手段】クロック分配回路２１は、クロック信号を生成するクロック生成回路、前記クロック信号が分配されるクロック分配網２２、前記クロック分配網の分岐点Ｎ１を通じて分配されるクロック信号で動作する順序回路２６、を有する。クロック分配回路は更に、前記分岐点から分岐した前記クロック信号をフィードバック信号として入力し、該入力したフィードバック信号とリファレンスクロック信号とに基づいて、前記クロック信号を前記クロック分配網へ出力するクロック生成回路を有する。前記分岐点は、前記クロック分配網の順序回路の前段のクロックドライバ２５のうち、前記クロック生成回路の近傍にあるクロックドライバに設けられる。 （もっと読む）

【課題】配線すべき複数の信号線を、ユーザの指定する目的に従って適切にグループ化する。
【解決手段】配線すべき複数の信号線を複数のグループに分けるための方法は、ユーザから、複数の信号線のグループ化の条件の指定を受け付けるステップと、指定された、グループ化の条件と、データ格納部に格納されている、複数の信号線の始点端子群と終点端子群との配置パターンとに基づいて、複数の信号線のグループ化の処理を切り替えて実施する実施ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】チップサイズを縮小することができる、半導体集積回路の設計装置、及び半導体集積回路の設計方法を提供する
【解決手段】下位階層の機能ブロック４に配置された複数のセル間を接続する第一の配線を設計する下位階層配線設計部３１１と、上位階層の機能ブロック間を接続する第二の配線を設計する上位階層配線設計部３１２とを備えており、下位階層配線設計部３１１は、機能ブロック４を複数の小領域４ａに分割し、小領域４ａごとに機能ブロック４内配線に必要となる必要配線層数Ｌ_ｎを算出して、最下部の配線層から必要配線層数Ｌ_ｎ枚の配線層を配線可能領域として同領域内に第一の配線を配置し、上位階層配線設計部３１２は、第一の配線における配線可能領域以外の機能ブロック４の配線層に第二の配線を配置する。 （もっと読む）

【課題】配線層に形成される信号配線をなるべく迂回させずに配線できるように電源スタックビアが配置された半導体集積回路を提供すること。
【解決手段】半導体集積回路は、第１の方向に延伸された第１，第２の下層電源配線１１Ａ，１１Ｂと、第２の方向に延伸された第１，第２の上層電源配線１２Ａ，１２Ｂと、上層，下層電源配線を接続させる第１，第２接続部３Ａ，３Ｂと、を備え、第１，第２接続部は、第１，第２の接続用配線２６Ａ，２６Ｂと、第１，第２の位置変換用配線２７Ａ，２７Ｂと、第１，第２の上側ビア２８Ａ，２８Ｂと、を有して構成され、第１，第２の接続用配線は、第２の方向に沿った同一ライン上に配置され、第１，第２の位置変換用配線は、第１，第２の接続用配線を第２の方向に沿って延長した領域内に形成され、第１，第２の上側ビアは、第１の方向に沿った同一ライン上となる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】フロアプラン設計におけるイタレーションを防ぎ、設計期間を短縮する。
【解決手段】複数の回路モジュールの接続情報を含むネットリストと、前記複数の回路モジュールにグループを設定するためのグループ設定情報と、を記憶部に記憶し、ネットリスト及びグループ設定情報に基づき、複数の回路モジュールにグループを設定し（Ｓ２１）、設定されたグループ間におけるタイミング制約を満たす距離を算出し（Ｓ２３）、算出されたグループ間の距離を含み、フロアプランを作成するためのフロアプラン作成情報を生成する（Ｓ２５）。 （もっと読む）

【課題】チップ面積増大を回避し、適切にリピータバッファを挿入する
【解決手段】レイアウト対象の半導体装置は、第１及び第２の電源ドメインを有し、第２の電源ドメインに属する接続元と接続先を接続する配線を有する。配線禁止許可領域設定部１２０は、第１の電源ドメイン内に排他的配線禁止領域及び通過配線許可領域を、リピータバッファが駆動可能な最大配線長であるリピータ配線最大長に基づいて設定する。配線設定部１３０は、排他的配線禁止領域及び通過配線許可領域に基づいて、配線を修正する。リピータ挿入部１４０は、リピータ配線最大長に応じ、配線に挿入するリピータバッファを設定する。排他的配線禁止領域は、第１の電源ドメイン内で接続する配線は許容し、通過配線を禁止する。通過配線許可領域は、第１の電源ドメインから排他的配線禁止領域を除外した領域であり、通過配線が許容される。 （もっと読む）

【課題】 回路のレイアウト装置で，ＥＯＥの発生しやすい箇所を推定することを目的とする。
【解決手段】 回路レイアウト装置１は，被研磨対象となる回路の配線パターンを含む回路情報を取得する回路情報取得部１１，回路を任意の単位領域でメッシュ状に区切り，各メッシュ領域について，メッシュ領域の配線密度とメッシュ領域の各辺に隣接する周辺領域の各々における配線密度とを示すメッシュ情報を生成するメッシュ情報生成部１２，各メッシュ領域について，メッシュ領域と各周辺領域の密度の関係がＥＯＥの発生条件に該当するメッシュ領域を抽出し，そのエラー情報を生成するエラー抽出部１３を備える。 （もっと読む）

【課題】 微細なパターンを精度よく形成する原版のデータを生成する生成方法を提供する。
【解決手段】 光源からの光を用いて原版を照明する照明光学系と、前記原版のパターンを基板に投影する投影光学系とを備える露光装置に用いられる原版のデータをコンピュータによって生成する生成方法であって、近似空中像に基づいて主パターンを決定し、補助パターンを挿入することで原版のデータを生成する生成方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板においてダミーパターンの配置密度を高める。
【解決手段】半導体基板１０４には、配線パターン１０２とダミーパターン１０６がレイアウトされる。配線パターン１０２の周囲にはマージン領域がレイアウトされ、マージン領域の周囲にダミー領域がレイアウトされる。このダミー領域に、複数のダミーパターン１０６がレイアウトされる。ダミーパターン１０６は、ダミー領域の延伸方向に配列される。マージン領域とダミー領域は、配線パターン１０２を基準として交互にレイアウトされる。 （もっと読む）

【課題】占有面積の小さな直線状の電気ヒューズを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】複数の突出部１０ｆは、電気ヒューズ部１０ａの中央位置からずれた位置、より具体的には、ビア１０ｄに近くかつビア１０ｅから遠い位置に設けられている。また、複数の突出部２０ｆは、電気ヒューズ部２０ａの中央位置からずれた位置、より具体的には、ビア２０ｄから遠くかつビア２０ｅに近い位置に設けられている。つまり、突出部１０ｆおよび突出部２０ｆは、ジグザグ状に配置されている。 （もっと読む）

【課題】高周波配線を含む半導体装置において、エロージョンやディッシングを効果的に防いで半導体装置を安定的に製造するとともに、高周波配線への周囲のダミーメタルからの影響を低減して特性を向上させる。
【解決手段】半導体装置１００は、半導体基板上の多層配線層中に設けられた高周波配線１０２と、多層配線層中の半導体基板と高周波配線１０２が設けられた層との間の第２の配線層１２２ｂに設けられたダミーメタル１０４とを含む。ダミーメタル１０４は、平面視で、高周波配線１０２の外縁で囲まれる第１の領域１０６とその周囲の第２の領域１０８とを含む高周波配線近傍領域１１０と、それ以外の外部領域１１２とにそれぞれ分散配置され、高周波配線近傍領域１１０のダミーメタル１０４間の平均間隔が、外部領域１１２のダミーメタル１０４間の平均間隔よりも広い。 （もっと読む）

【課題】配線抵抗に起因した電圧降下を抑制し、検査工程での誤判定を受けにくい半導体チップおよび半導体ウェハを提供する。更に、配線抵抗に起因した電圧降下を抑制し、検査工程で誤判定を受けにくい半導体チップの検査方法を提供する。
【解決手段】電極パッド領域は、絶縁膜（７）上で一列に配列されたｎ個（ｎ≧３）の電極パッド（４_ｍ−４から４_ｍ＋４）を備える。内部セル領域は、電極パッド領域側に配列されている半導体回路（３_ｌ−３から３_ｌ＋３）にそれぞれ接続された配線（ＶＤＤＬ）をｎ個の電極パッドの配列方向に備える。ｎ個の電極パッドの内、第１の電極パッド（４_ｍ−１）と、第１の電極パッドから１個の電極パッドを隔てた第２の電極パッド（４_ｍ＋１）とが、絶縁膜中で互いに接続され、かつ、配線Ｌ_ｍ−１およびＬ_ｍ＋１によって、配線（ＶＤＤＬ）にそれぞれ接続されている。 （もっと読む）

【課題】標準論理セルのセル高さを縮小する。
【解決手段】第１，第２，第３の電源配線(WP1,WP2,WP3)および複数の第１の信号配線(WS1)は、半導体基板の上層に形成され、少なくとも１つの第２の信号配線(WS2)は、複数の第１の信号配線(WS1)の上層に形成される。第１および第２の電源配線(WP1,WP2)は、セル高さ方向に互いに離間してセル幅方向に延伸する。第３の電源配線(WP3)は、第１および第２の電源配線(WP1,WP2)の間をセル幅方向に延伸する。複数の第１の信号配線(WS1)は、第１，第２，第３の電源配線(WP1,WP2,WP3)から離間し、複数の回路要素(DF,GW)の少なくとも１つに電気的に接続される。少なくとも１つの第２の信号配線(WS2)は、セル幅方向に延伸し、複数の回路要素(DF,GW)および複数の第１の信号配線(WS1)の少なくとも１つに電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路の自動レイアウト設計において、必要な領域に対しては配線混雑の緩和を行い、かつ、不必要な面積増大を抑制する。
【解決手段】単位領域当たりのネットの数の上限をネット密度制約として設定する（ST105）。ネット密度制約を満たすようにセルを配置する（ST106）。セル配置工程（ST106）では、仮配置されたセルのレイアウトに対し、単位領域に存在する端子を抽出する。そして、抽出した端子に接続されるネットをネットリストを参照して抽出する。抽出したネットの数が前記ネット密度制約を満たすようにセルの配置を変更する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の電源線および接地線の高抵抗化を抑制する。
【解決手段】第１の方向に延伸された第１の回路セル列及び第２の回路セル列と、第１の方向に延伸され、第１の回路セル列上に配置され、第１の電源線には第１の電源電位が供給される、第１及び第２の電源線と、第１の方向に延伸され、第２の回路セル列上に配置され、第２の電源電位が供給される第３の電源線と、第２の電源線と第３の電源線との間に接続され、導通状態において第２の電源線と第３の電源線とを接続して第３の電源線から第２の電源線に第２の電源電位を供給し、非導通状態において第２の電源線と第３の電源線とを電気的に切り離す第１のトランジスタと、第１の回路セル列に配置され、第１の電源線から供給される第１の電源電位と第２の電源線から供給される第２の電源電位との間の電源電圧で動作する第１の回路素子とを備える。 （もっと読む）

【課題】多層配線構造を有する半導体装置にダミーパタンを配線空隙に効率よく製造容易的に形成する。
【解決手段】多層配線構造の半導体装置において、狭い配線空隙（Ａｒｅａ＿Ｓ１）に、広い配線空隙（Ａｒｅａ＿Ｓ２）に形成されたダミーパタン（２２，２３）と異なる向きのダミーパタン（２１）が形成されている。 （もっと読む）