【課題】金属配線パターンの寄生抵抗を低減可能なダミーパターンの設計方法を提供する。
【解決手段】切り欠きパターン２を一及び逆方向に各所定値Δｘ１だけ縮小して縮小図形４を生成した後、各所定値Δｘ１だけ拡大してダミーパターン５を生成し、その外形を抽出して矩形図形６を生成した後、各所定値Δｘ１だけ縮小して縮小図形７を生成し、ダミーパターン５から縮小図形７を論理減算して切り欠き図形８及び矩形図形９を生成し、切り欠き図形８を抽出してダミーパターン５から論理減算して矩形図形１０を生成した後、各所定値Δｘ１だけ縮小して縮小図形１１を生成し、矩形図形１０から縮小図形１１を論理減算して第１，第２のビア配置領域１２，１３を生成し、各ビア配置領域１２，１３にビア１４をそれぞれ配置する。 （もっと読む）

【課題】複数の動作条件においてもタイミング制約を満たすように遅延時間を調整することを可能にする。
【解決手段】本発明に係る半導体装置の配線構造セルＨＳＣは、Ｍ３層に、プロセス基準値ｂを満たす矩形に形成されたＭ３層１９と、Ｍ３層１９からプロセス基準値ａを満たすよう離間し、口字型に形成されたＭ３層１２と、Ｍ３層１９の上にプロセス基準値を満たす矩形に形成されたＶＩＡ３層１５と、Ｍ４層にＶＩＡ３層１５に接して、プロセス基準値ｃを満たす幅で伸長した矩形に形成されたＭ４層１１と、Ｍ３層１９の下にＶＩＡ３層１５と同じ平面形状に形成されたＶＩＡ２層１６と、Ｍ２層にＶＩＡ２層１６に接して、Ｍ４層１１と同じ平面形状に形成されたＭ２層１３と、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の性能を向上させる。
【解決手段】半導体装置の設計フローは、プラグＰＧに接続された配線Ｍ１を含むチップレイアウトを設計するステップと、設計されたチップレイアウトにおけるプラグＰＧに対する配線Ｍ１のマージンを、プラグＰＧに対する配線Ｍ１のリセス量に応じて修正するステップとを有している。この修正ステップは、テストウエハに試験用プラグとそれに３次元的に接続された試験用配線とを含むテストパターンを形成するサブステップと、試験用配線の配線幅および配線密度と試験用プラグに対する試験用配線のリセス量との相関を調べるサブステップを有している。更に、得られた相関に基づいてプラグＰＧに対する配線Ｍ１のリセス量を予測するサブステップと、予測されたリセス量に応じてプラグＰＧに対する配線Ｍ１のマージンを修正するサブステップを有している。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＴＵＰ時間とＨＯＬＤ時間のどちらも満足させるタイミングの調整が可能な技術を提供する。
【解決手段】半導体集積回路の配置配線レイアウトを決定した後に、所定の信号線を伝搬するデータのタイミング情報に基づいて、タイミング違反を有する違反データの遅延情報を抽出する。その抽出された遅延情報に基づいて、タイミング違反を解消するための追加すべき容量値を算出する。また、違反データを伝搬する配線のレイアウト配置情報に基づいて、違反データを伝搬する配線の近傍の電源容量セルを検出する。また、算出された容量値に基づいて、検出された電源容量セルを、電源容量セルとレイアウト外形・電源／ＧＮＤ配線配置位置が同じ調整容量セルに置き換える。そして、置き換えた調整用容量セルのゲートと違反データを伝搬する配線とを接続して再配線を実行する。 （もっと読む）

【課題】ビアヒューズ素子の径を小さくし、ビアヒューズ素子を低電流で溶断することが可能な半導体回路装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】一方向に配置された複数の配線層と、前記複数の配線層のうちの少なくとも２つの前記配線層の間に設けられたビアヒューズ素子と、前記複数の配線層の配置方向に直交する平面内において前記ビアヒューズ素子に隣接する穴と、前記穴内に設けられた貫通ビアとを備えた半導体回路装置。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路に対し、ダミーパターン配置後に、ダミーパターンを使用したＥＣＯ（Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｃｈａｎｇｅ Ｏｒｄｅｒ）配線設計を行う。
【解決手段】配線設計装置は、半導体集積回路にダミーパターンを配置し、ダミーパターンをＥＣＯ配線に変更し、ダミーパターンの再配置及び電気的ショートを発生することなくＥＣＯ配線を行う。これにより、ＥＣＯ配線を行う時に、ダミーパターン再挿入や、既存配線とのショートを発生せずに、設計ＴＡＴ（Ｔｕｒｎ Ａｒｏｕｎｄ Ｔｉｍｅ）増を抑制することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ素子の列数増に伴うトリミング時間の伸長を抑制する。
【解決手段】ｘ方向に延伸する接地配線Ｇと、接地配線のｙ方向の一方側に設けられたヒューズ素子領域Ａにｘ方向に沿って３列に並べて配置され、かつそれぞれの一端が接地配線Ｇに共通に接続される複数のヒューズ素子と、ヒューズ素子領域Ａを挟んで接地配線Ｇの反対側に設けられ、ヒューズ素子領域Ａに配置された複数のヒューズ素子それぞれの他端と接続される救済回路とを備え、上記複数のヒューズ素子は、それぞれ1つの欠陥選択線を示すアドレス情報を記憶する複数のヒューズ素子グループに所定個ずつグループ化され、同一のヒューズ素子グループに属する所定個のヒューズ素子は、同一列に配置されることを特徴とする （もっと読む）

【課題】半導体装置の歩留まりが低下することを抑制する。
【解決手段】配線パターンを示す配線パターンデータを取得する（ステップＳ１０）。次いで、配線パターンデータを解析して、第１方向パターン及び第２方向パターンを特定する（ステップＳ２０）。第１方向パターンは、第１の方向に延伸するパターンであり、第２方向パターンは、第１の方向に直交する方向に延伸するパターンである。次いで、第１方向パターと第２方向パターンの交点を検出する。そして、この交点から延伸するパターンのうち、ビア、コンタクト及び他のパターンのいずれにも接続していないパターンを不要パターンとして検出し、検出した不要パターンを除去する（ステップＳ３０）。そしてその後、設計した配線パターンに対して光近接効果補正を行う（ステップＳ４０）。 （もっと読む）

【課題】容量素子を有する半導体装置の性能を向上させる。
【解決手段】ＭＩＳＦＥＴ形成領域Ａ１の配線Ｍ１Ａと配線Ｍ２Ａとの間に位置する層間絶縁膜ＩＬ２Ａと、キャパシタ形成領域Ｂ１の導電膜Ｍ１Ｂと導電膜Ｍ２Ｂとの間に位置する層間絶縁膜ＩＬ２Ｂについて、層間絶縁膜ＩＬ２Ｂを、層間絶縁膜ＩＬ２Ａより誘電率の大きい膜[ε（ＩＬ２Ａ）＜ε（ＩＬ２Ｂ）]とする。また、導電膜Ｍ１Ｂと導電膜Ｍ２Ｂとは、層間絶縁膜ＩＬ２Ｂを介して対向し、導電膜Ｍ１Ｂには第１電位が印加され、導電膜Ｍ２Ｂには第１電位とは異なる第２電位が印加される。このように、縦方向に容量（Ｃｖ）を形成することで、耐圧劣化の問題を回避し、容量を構成する導電膜Ｍ１ＢとＭ２Ｂ間に高誘電率の絶縁膜を用いることで、容量を大きくする。 （もっと読む）

【課題】配線間の寄生容量を削減可能にした半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｘ方向に配列する複数のトランジスタについて、夫々が、対応するダミーゲートＤＧ１，ＤＧ２を挟む複数のソース拡散層Ｓ１，Ｓ２に接続する第２及び第３の金属配線Ｍ１２，Ｍ１３は、２つのＳ１，２つのＳ２に夫々接続する複数の第１のビアＶ１の両方を含む第１の幅Ｌ１と、Ｖ１を含まず、Ｌ１よりも短い第２の幅Ｌ２と、を有する。ドレイン拡散層Ｄ１に接続する第１の金属配線Ｍ１１と、Ｍ１２との間、並びにＭ１１及びＭ１３の間の夫々は、Ｌ１に対応する第１のギャップＳＰ１と、Ｌ２に対応する、Ｌ１よりも大きな第２のギャップＳＰ２と、を有する。好ましくは、Ｍ１１〜Ｍ１３の夫々と第２のビアＶ２を介して接続される第４〜第６の金属配線Ｍ２４〜Ｍ２６の夫々は、Ｌ１よりも短い第３の幅Ｌ３を有する。 （もっと読む）

【課題】抵抗体とヒューズ素子が並列に接続された半導体装置において、ヒューズ素子切断時に抵抗体への損傷がなく、抵抗体とヒューズ素子とを積層すること。
【解決手段】半導体基板上に第１の絶縁膜を介して形成された抵抗体を設け、抵抗体の上に第２の絶縁膜を介して形成された遮光層を設け、遮光層の上に第３の絶縁膜を介して形成されたヒューズ素子のヒューズ部を有し、抵抗体と遮光層とヒューズ部を重畳した半導体装置とする。 （もっと読む）

【課題】ダイシングの際にクラック発生を抑制できる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板の上に形成された複数の配線層と、前記複数の配線層の間に配置されたビア層と、前記複数の配線層に形成された導電膜と、前記ビア層の上下の前記配線層の前記導電膜と接続するビアプラグＶ５とを有し、スクライブ領域３１は、チップ領域の外周であって前記半導体基板の縁に接して位置し、前記スクライブ領域３１は前記縁に接するパッド領域３３を有し、前記パッド領域３３は、前記複数の配線層の各々に、平面視において相互に重なって配置され、前記複数の配線層は、第１の配線層と第２の配線層を有し、前記第１の配線層の前記導電膜は、前記パッド領域３３の全面に形成された第１の導電パターン５５を有し、前記第２の配線層の前記導電膜は、前記パッド領域の一部に形成された第２の導電パターン５０を有する。 （もっと読む）

【課題】過電流に対して内部回路を保護する半導体集積回路装置を提供することを目的としている。
【解決手段】多層配線構造を有する半導体集積回路装置であって、半導体集積回路装置の内部にある内部回路と半導体集積回路装置の外部にある外部回路とを接続するために半導体集積回路装置の内部に設けられたパッドパターンにおいて、第１の配線層と、第１の配線層が形成されている層とは別の層に形成されている第２の配線層と、第１の配線層と第２の配線層を接続するビアと、を備え、第２の配線層にヒューズパターンが形成されており、ヒューズパターンを経由して内部回路と外部回路とを電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】配線層に形成される信号配線をなるべく迂回させずに配線できるように電源スタックビアが配置された半導体集積回路を提供すること。
【解決手段】半導体集積回路は、第１の方向に延伸された第１，第２の下層電源配線１１Ａ，１１Ｂと、第２の方向に延伸された第１，第２の上層電源配線１２Ａ，１２Ｂと、上層，下層電源配線を接続させる第１，第２接続部３Ａ，３Ｂと、を備え、第１，第２接続部は、第１，第２の接続用配線２６Ａ，２６Ｂと、第１，第２の位置変換用配線２７Ａ，２７Ｂと、第１，第２の上側ビア２８Ａ，２８Ｂと、を有して構成され、第１，第２の接続用配線は、第２の方向に沿った同一ライン上に配置され、第１，第２の位置変換用配線は、第１，第２の接続用配線を第２の方向に沿って延長した領域内に形成され、第１，第２の上側ビアは、第１の方向に沿った同一ライン上となる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】トリミングや冗長に用いられるヒューズを有する半導体装置に関し、安定且つ確実に溶断しうるヒューズを有する半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板上に、第１の絶縁膜を形成し、第１の絶縁膜上に、ヒューズを形成し、ヒューズが形成された半導体基板上に、第１の絶縁膜に接して第２の絶縁膜を形成し、ヒューズ上の第２の絶縁膜に、開口部を形成し、第２の絶縁膜上及び開口部内に第３の絶縁膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】高電圧が不要で安定した状態を得ること。
【解決手段】半導体装置１０に形成されたヒューズ素子１１は、概略的に、拡散領域２２と、拡散領域２２と一部重なるように拡散領域２２より上方に形成された導電体２５を含む。半導体装置１０の半導体基板２１には、拡散領域２２が形成されている。半導体基板２１には素子分離領域２３が形成されている。拡散領域２２を含む半導体基板２１上には絶縁膜２４が形成されている。絶縁膜２４上には、導電体２５が形成されている。導電体２５上には、カバー膜２６が形成されている。カバー膜２６は、導電体２５の上面及び側面を覆うように形成されている。カバー膜２６は、絶縁膜２４より高い引っ張り応力を持つ。 （もっと読む）

【課題】レイアウトパターン上で、直観的に回路素子を認識可能とし、回路素子間の信号の流れの把握を容易にする。
【解決手段】レイアウトパターン表示部４００により、格納部２００，３００内に格納されているブロック／セルという階層構造をもったデータを展開して、画面上にレイアウトパターンを表示する。条件設定部８００には、セル枠決定に用いる特定のレイヤーを示す情報がセル枠決定条件として設定されており、セル枠決定部６００は、個々のセルについて、当該特定のレイヤーに収録されている図形を抽出し、抽出した図形の論理和図形を形成し、この論理和図形の外接矩形をセル枠として求める。端子図形生成部５００は、求めたセル枠とセル間配線との交差位置に端子図形を生成する。レイアウトパターン表示部４００は、セル枠と端子図形をレイアウトパターン上に重畳表示する。 （もっと読む）