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Fターム[5F071DD01]の内容

レーザ (1,524) | 電極以外の管構造 (104) | 管そのもの (13)

Fターム[5F071DD01]に分類される特許

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【解決手段】 マイクロ波によってレーザガスを励起させてレーザ光Lを発振させるようにしたレーザ発振装置1は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管3と、フロントミラーとリヤミラーとから構成された共振器を有するレーザ発振器31A、31Bと、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器15と、このマイクロ波発生器によって発生されたマイクロ波を上記放電管に導波する導波管17とを備えている。上記導波管17は、放電管3の外周面に螺旋状に配置してあり、この導波管に複数のスリットを設けてある。
【効果】 上記放電管3の外周面の略全体から放電管3の半径方向内方に向かってマイクロ波を放射して放電管3内に収容されるレーザガスを励起させることができるので、該レーザガスを効率的に励起することができる。 (もっと読む)


【解決手段】 レーザ発振装置1は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管3と、レーザガスを放電管3内と連通路4bとの間で循環させるガス循環通路4と、上記連通路4b内に設けられてレーザガスを循環させるクロスフローファン9とを備えている。上記クロスフローファン9は連通路4b内に斜めに配置されている。これにより連通路4b内はクロスフローファン9によって上流側の流入部4b−iと下流側の流出部4b−oとに区画され、レーザガスはクロスフローファン内を介して流入部から流出部へ流通されるようになる。
【効果】 クロスフローファン9を連通路4b内に斜めに配置することにより、大きなスペースを必要とすることなくクロスフローファン9を循環通路4内に設けることができる。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で小型・安価に構成することができ、安定して長寿命に動作するHe−Neガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】ガラスで構成されたレーザ管にHe−Neガスが封入されてなる発振器と、その発振器に具備され、内部にHeガスを収蔵し、そのHeガスをレーザ管に補給することができる補給タンクとを有するHe−Neガスレーザ装置において、レーザ管(管孔12)の内部空間と補給タンク61の内部空間とをガラスの隔壁64を隔てて隣接させ、レーザ管の内部のHeガスの分圧と補給タンク61の内部のHeガスの分圧との差により、隔壁64を透過して補給タンク61からレーザ管へ供給される単位時間当たりのHeガスの量を発振器から外部へ漏出する単位時間当たりのHeガスの量と等しくする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、循環ポンプを使用せず、厚板切断に優れ、メンテナンス性にも優れたガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】内部にレーザガスを配置した少なくとも2つの放電管25,26と、放電管25,26に設けた電極21〜24と、電極21〜24に放電の電力を供給する高圧電源31,32を備え、放電管25,26をレーザ光の進行方向に並列に並べ、放電管25,26の間にレーザガスを通す流路として平行平板41を設け、平行平板41の内部に冷媒を配置するとともに高圧電源31,32は放電管25,26の電極21〜24を交互に放電する。 (もっと読む)


【課題】送風機や熱交換器など光共振器構成部分以外の構成を最小限とし、かつ最適なフレネル数を得て最適なレーザビームを取り出すことができるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機を提供することを目的とする。
【解決手段】導波路型共振器におけるフレネル数が1以上となる構成を持つスラブレーザ共振器1を複数備え、複数のスラブレーザ共振器1a〜1dを積層し、これら複数のスラブレーザ共振器1a〜1dのレーザ射出口を隣り合うように配置したものである。 (もっと読む)


【解決手段】 レーザ発振器1は、レーザガスのガス通路12の途中に流路切り換え手段27を備えている。レーザ光Lを発振しない状態では流路切り換え手段27の流路切り換え板35によりレーザガスがフィルタ32を通過するようにガス通路12を循環させる。そのため、レーザガス中のパーティクル30はフィルタ32によって効率的に捕捉される。他方、レーザ光Lを発振しない時には、図3に示すように流路切り換え板35によりレーザガスがフィルタ32を通過しないようにしてガス通路12内を循環させる。
【効果】 レーザガス中のパーティクル30を効率的に捕捉することができる。 (もっと読む)


【課題】ガスレーザ共振器において、複数の放電管を互いに連結する放電管連結ホルダ自体の熱変形、及びガスレーザ共振器の移動に伴って放電管連結ホルダに加わる加速度を考慮する。
【解決手段】レーザ共振器10は、軸線方向へ整列する2つの放電管1a、2a、1b、2b、1c、2cをそれぞれに有する3つの放電管列3A、3B、3Cと、各放電管列の放電管を互いに連結して支持する放電管連結ホルダ5と、放電管1cの一端に配置される出力鏡11を備えるエンドプレート15と、放電管2aの一端に配置されるリア鏡12を備えるエンドプレート16と、両端がそれぞれエンドプレート15、16に固定された4本の支持棒21〜24とを備える。放電管連結ホルダ5は、クランプ(剛性部材)25を介して下側の支持棒21、22に固定され、クランプ(弾性部材)26、27を介して上側の支持棒23、24に連結される。 (もっと読む)


【課題】スループットの向上を図ることである。
【解決手段】ガス放電レーザ装置が開示される。1つの実施形態において、ガス放電レーザ装置は、放電チャンバが設けられたガスレーザと、弁部材を介して放電チャンバに制御可能に流体連結されたガス貯蔵チャンバとを含み、ガス貯蔵チャンバは、弁部材がガス貯蔵チャンバを放電チャンバと流体連結の状態にさせるように制御されたときにはガスが放電チャンバから取り除かれるように、放電チャンバの中よりも低い圧力をその中に有するように構成される。 (もっと読む)


【課題】前記ガス合流部において、ガス流を安定させ、より安定したレーザ出力または経時変化の少ないレーザビームモードが得られるガスレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】第1励起部3a及び第2励起部3bを通過したレーザガスは、それぞれテーパ状の第1及び第2ガス流路61a及び61b内に導かれ、ガス合流部23の中央点51付近にて合流し、1つの流れとなってガス流路62内に進む。ここで、励起部3aからのガス流はガス流路61a内の偏向子70aによって矢印80aのように偏向されてガス合流部23内の−X方向寄りを通り、励起部3bからのガス流はガス流路61b内の偏向子70bによって矢印80bのように偏向されて+X方向寄りを通る。 (もっと読む)


従来設けられたものよりもいっそうコンパクトな構造体になるようにして電極と少なくとも1つの側壁とによって形成することのできるレーザ導波管。電極における突出部によって、いっそう容易なレーザ始動が可能になり、また、分割型の側壁によって、側壁のいっそう容易な組立が可能になり、製造コストが削減される。
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【課題】 従来のAFGLOは、DT内でのレーザガス流が、DTの中心部あるいは外周部のどちらかに偏ってしまう傾向がある。そのため、均一なガス流は実現出来ていない。したがって、エネルギー効率をより高めることができないという課題が有った。
【解決手段】 放電管のレーザガス入り口近傍の、前記レーザガス流路のガス流方向に対して垂直方向の幅をB、前記放電管の内径をAとした時、
1.1A < B < 1.7A
とすることにより、DT内のレーザガス流を均一化でき、大幅なレーザ発振効率の向上およびレーザ出力の増大を実現できる。 (もっと読む)


【解決手段】 本実施例におけるレーザ発振器1のレーザチューブ2には、複数の電極4がそれぞれ電極支持手段21によって着脱自在に設けられており、この電極支持手段は電極を保持する蓋部材22、シール部材23、ストッパ部材24によって構成されている。
上記蓋部材には上記レーザチューブに形成された筒状部2cの開口部2eを封止するように筒状部よりも大径の大径部22aが形成され、この大径部には上記ストッパ部材のナット部24aが螺合し、また大径部とストッパ部材に設けられたフランジ部24bとの間で上記シール部材を圧縮するようになっている。
また上記フランジ部には大径部に向けてテーパ形状24cが形成されており、このテーパ形状によりシール部材は縮径方向に圧縮され、電極支持手段を筒状部に固定することができる。
【効果】 レーザ発振器の製造コスト及びランニングコストを低減することができる。 (もっと読む)


【課題】 パルスレーザ装置において発生する汚染物質(コンタミ)を簡単な構成で確実に捕集する。
【解決手段】 パルスレーザ装置は、内部空間が規定されたチャンバ11と、内部空間に配置され内部空間においてガスを予め定められた循環方向に循環させる循環装置23及びガスに応じて放電を発生させてレーザ発振を行う放電部21及び22とを有しており、レーザ発振の際不可避的にコンタミが発生する。このコンタミを捕集するため、チャンバの外壁内面に、循環方向の上流に向かってコンタミの捕集口が形成された捕集器24を取り付けて、遠心力によって、チャンバの外壁内面に沿って流れるコンタミを捕集する。 (もっと読む)


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