説明

Fターム[5F071DD02]の内容

レーザ (1,524) | 電極以外の管構造 (104) | 磁界(消磁、シールド) (12)

Fターム[5F071DD02]の下位に属するFターム

Fターム[5F071DD02]に分類される特許

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【課題】
パルスパワーモジュールとレーザチャンバの何れが故障しているかを安全且つ短時間で判別できるようにする。
【解決手段】
レーザチャンバ内に形成される放電回路のピーキングコンデンサとパルスパワーモジュール内に形成される磁気パルス圧縮回路との間に流れる電流を電流センサで検出する。 (もっと読む)


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