Fターム[5F071DD02]の内容
Fターム[5F071DD02]の下位に属するFターム
磁界の付与 (11)
Fターム[5F071DD02]に分類される特許
1 - 1 / 1
放電励起式ガスレーザ装置およびその故障箇所判別方法
【課題】
パルスパワーモジュールとレーザチャンバの何れが故障しているかを安全且つ短時間で判別できるようにする。
【解決手段】
レーザチャンバ内に形成される放電回路のピーキングコンデンサとパルスパワーモジュール内に形成される磁気パルス圧縮回路との間に流れる電流を電流センサで検出する。
(もっと読む)
1 - 1 / 1
[ Back to top ]