【課題】 真空容器の内部に存在する気化した有機物や浮遊した微細な粉塵が部分反射鏡の表面に付着し、それに伴う熱吸収率の上昇によって、レーザ光の特性が変化するのを防ぐ炭酸ガスレーザ発振器を得る。
【解決手段】 レーザ媒質が部分反射鏡の表面に近づいてくる流入経路を完全に覆うように、レーザ光が通るための開口を有した形状の部品を部分反射鏡の電極側の面近傍に配置するとともに、当該開口の内面を多孔質型アルマイトとし、さらに流入するレーザ媒質より温度が低くなるように当該部品を冷却したものである。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、レーザガスを放電管３内と連通路４ｂとの間で循環させるガス循環通路４と、上記連通路４ｂ内に設けられてレーザガスを循環させるクロスフローファン９とを備えている。上記クロスフローファン９は連通路４ｂ内に斜めに配置されている。これにより連通路４ｂ内はクロスフローファン９によって上流側の流入部４ｂ−ｉと下流側の流出部４ｂ−ｏとに区画され、レーザガスはクロスフローファン内を介して流入部から流出部へ流通されるようになる。
【効果】 クロスフローファン９を連通路４ｂ内に斜めに配置することにより、大きなスペースを必要とすることなくクロスフローファン９を循環通路４内に設けることができる。 （もっと読む）

【課題】約４，０００Ｈｚ又はそれ以上のパルス繰返し率及び約５ｍＪ以上のパルスエネルギーで高品質パルスレーザ光を生成することができるシード光注入モジュール放電ガスレーザシステムを提供する。
【解決手段】２つの別個の放電室を備え、その一方は、第２の放電室で増幅される超狭帯域シード光を生成する主発振器の一部である。２つの放電室は別個に制御することができ、主発振器内の波長パラメータの最適化及び増幅室内のパルスエネルギーパラメータの最適化を可能にする。ＡｒＦレーザエキシマレーザシステムの好適な実施形態は、ＭＯＰＡとして構成され、特に集積回路リソグラフィの光源として使用されるように設計される。 （もっと読む）

【課題】 簡便な構成によりアルカリ封入セルを加熱することができる加熱部材付きアルカリ封入セル及びアルカリレーザ装置を提供すること。
【解決手段】内部にアルカリ金属蒸気Ｇを封入したアルカリ封入セルは、第１及び第２の加熱部材１１、１２を備える。アルカリ封入セル１０は、互いに対向する第１及び第２の端面１０ａ、１０ｂ、並びに両端面１０ａ、１０ｂを連結する側面１０ｃを有する。第１及び第２の加熱部材１１、１２はそれぞれ、被覆部１１Ｂ、１２Ｂ及び延設部１１Ｃ、１２Ｃを有する。被覆部１１Ｂ、１２Ｂの内部には、アルカリ封入セル１０の一部が挿入されている。一方、延設部１１Ｃ、１２Ｃは、アルカリ封入セル１０から離れる方向に向かって伸びている。第１及び第２の加熱部材１１、１２は、第１及び第２の端面１０ａ、１０ｂの対向方向に間隔ｄ_０で離間して配置されている。 （もっと読む）