【解決手段】 レーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、レーザガスを放電管３内と連通路４ｂとの間で循環させるガス循環通路４と、上記連通路４ｂ内に設けられてレーザガスを循環させるクロスフローファン９とを備えている。上記クロスフローファン９は連通路４ｂ内に斜めに配置されている。これにより連通路４ｂ内はクロスフローファン９によって上流側の流入部４ｂ−ｉと下流側の流出部４ｂ−ｏとに区画され、レーザガスはクロスフローファン内を介して流入部から流出部へ流通されるようになる。
【効果】 クロスフローファン９を連通路４ｂ内に斜めに配置することにより、大きなスペースを必要とすることなくクロスフローファン９を循環通路４内に設けることができる。 （もっと読む）

【課題】高効率に高電圧短パルスを負荷に印加可能な高電圧パルス発生装置、及びこれを用いた放電励起ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】高電圧パルスを発生するパルス発生回路２４と、発生した高電圧パルスを圧縮するパルス圧縮回路２５とを備え、パルス発生回路２４及びパルス圧縮回路２５を構成する要素部品のうち、少なくとも一部が絶縁性冷媒に満たされた容器中に設置され、容器中に設置された要素部品と容器の外部に設置された要素部品との間が、電流導入端子４４を介して電気的に接続される高電圧パルス発生装置において、電流導入端子４４が、高圧側及び接地側の通電部材５７、５８を備え、前記高圧側及び接地側の通電部材５７、５８のうち少なくとも一方が面形状となっている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で小型・安価に構成することができ、安定して長寿命に動作するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】ガラスで構成されたレーザ管にＨｅ−Ｎｅガスが封入されてなる発振器と、その発振器に具備され、内部にＨｅガスを収蔵し、そのＨｅガスをレーザ管に補給することができる補給タンクとを有するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置において、レーザ管（管孔１２）の内部空間と補給タンク６１の内部空間とをガラスの隔壁６４を隔てて隣接させ、レーザ管の内部のＨｅガスの分圧と補給タンク６１の内部のＨｅガスの分圧との差により、隔壁６４を透過して補給タンク６１からレーザ管へ供給される単位時間当たりのＨｅガスの量を発振器から外部へ漏出する単位時間当たりのＨｅガスの量と等しくする。 （もっと読む）

【課題】低ガス圧使用時における出力特性が改善される放電励起エキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】一対の主放電電極１０２、１０２と、回転軸１０４を有し前記一対の主放電電極間１０２、１０２にレーザガス流を作り出す貫流ファン１０３と、該貫流ファン１０３の該回転軸１０４に対して回転駆動力を付与するモータ１１２と、該モータ１１２に駆動用交流電圧を供給するインバータ１３１と、該レーザチャンバ１０１内のレーザガス圧を検出するガス圧力センサ１２１と、少なくとも該ガス圧力センサ１２１からのレーザガス圧力検出信号を受信し、かつ、該モータ１１２を所定の回転数で回転させるための駆動用交流電圧をインバータ１３１に発生させる速度指令信号を発信するコントローラー１３０と、からなる放電励起エキシマレーザ装置１００であって、該コントローラー１３０は、該レーザガス圧力検出信号に応じた速度指令信号を発信する。 （もっと読む）

本発明は、レーザービームを発生するためのレーザー発振器（１）、レーザービームを通すレーザーヘッド（３）、レーザー発振器（１）とレーザーヘッド（３）との間でレーザービームを伝えるための光学路（２）、およびメインガスパイプ（８）を介して流体を流通可能にレーザーヘッド（３）へ接続されたガス供給源（９）を有するレーザー機械設備に関する。さらに、第２パイプ（１８）が上記ガス供給源（９）をレーザー発振器（１）へ流体を流通可能に接続する。それゆえに、上記設備は、レーザー発振器（１）およびヘッド（３）に共通のガス供給源を有する。ガスは、好ましくは、窒素である。
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【課題】本発明は、送風機や熱交換器を配置するレーザガスの循環路を削減できるレーザ発振装置を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザガス２を内部に配置した放電管１を備え、放電管１の中心軸に対して略直角方向に放電管１を振動させる振動手段１３と、放電管１の外周の少なくとも一部を覆うように冷却部として設けた冷媒通路１４を有することにより、放電管１内に拡散したレーザガス２の分子を冷媒通路１４で効率よく冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】 小型軽量かつ安価で気密構造を必要とせず、また放電電極容器が破損しにくく取り扱いが容易であり、放電電極容器内部での水漏れや結露を防止した放電電極を備えたレーザ発振器を得る。
【解決手段】 放電箱１２は、放電電極２が設けられた面だけに破損しやすい無機絶縁物を配置し、その他の面は破損しにくい無機金属で構成されているため、組立の際には放電電極２の面だけを注意すればよく、取り扱いが容易となる。また、絶縁物１６を放電箱１２の内部に充填することで、放電箱１２の内部と外部に大きな圧力差が生じないため、容器１１には厚みの薄い無期金属の板材を用いても強度を確保できる。 （もっと読む）

【課題】 レーザガスの圧力を高くすることにより、レーザ出力を高めることができるが、レーザガスの圧力を高くすると、放電開始電圧が上昇するため、出力電圧の高い電源を用いなければならない。
【解決手段】 誘電体からなるレーザ容器が、レーザガスを収容する放電空間を画定する。レーザ容器の放電空間に面する表面に沿って沿面放電を生じさせる電極が配置されている。 （もっと読む）

【課題】省エネルギー化を促進するとともに、装置の小型化を促進することができるガスレーザ装置用温度調節装置を提供すること。
【解決手段】精度の高い温度調節を必要とする放電部１１ａ〜１４ａと放電部１１ａ〜１４ａに比して低い精度の温度調節を必要とし放電部１１ａ〜１４ａに比して高い温度の温度調節を許容する電源部１１ｂ〜１４ｂとを有した複数のレーザ装置を温度調節するガスレーザ装置用温度調節装置であって、各放電部１１ａ〜１４ａを温度調節する冷却水を生成するチラー３２と、各電源部１１ｂ〜１４ｂを温度調節する冷却水を生成するチラー３１と、チラー３２と各放電部１１ａ〜１４ａとを並列接続する配管Ｌ２と、チラー３１と各電源部１１ｂ〜１４ｂとを並列接続する配管Ｌ１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】送風機、熱交換器、ガス配管は、ガスレーザ発振装置を構成する部品の多くを占めていて体積の小型化ならびに材料費の低コスト化の大きな障害になっていた。
【解決手段】内部にレーザガスを配置した筐体１９と、前記筐体１９の内部に対向配置した放電電極２３、２４と、前記放電電極２３、２４よりも筐体１９の外側でレーザの光軸２０方向に対向配置した部分反射鏡２６と反射鏡２５を備え、前記筐体１９は、その内部に前記放電電極２３、２４によるレーザガスへの放電空間２１よりも大なる直径の空間を有し、前記放電空間２１の方向に延びる冷却フィン２７を前記レーザの光軸２０方向に間隔を開けて複数設け、かつ冷却媒体の通路を設けたことにより、放電によるガス温度上昇ならびに冷却による温度降下でガスの対流を発生させ、レーザガスの循環を可能にした。 （もっと読む）

【課題】レーザガスの混合比不良が発生した場合でも放電開始電圧を上昇させずに放電を円滑にし、安定したレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】ガス圧力検出手段３５からの信号を入力し、ガス供給手段２１からのガス供給量とガス排気手段３３からのガス排出量と高電圧電源８を制御する放電制御手段３６を設け、放電制御手段３６は、高電圧電源８の放電を開始する前にガス供給手段２１からのガス供給よりもガス排気手段３３からのガス排気量を増加させて運転ガス圧を所定の圧力まで低下させて高電圧電源８に放電を開始させ、放電を開始した後、ガス供給手段２１からのガス供給よりもガス排気手段３３からのガス排気量を減少させて運転ガス圧に復帰させることにより、安定したレーザ出力の制御を行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】従来のガスレーザ発振装置では、送風手段の円周振れが発生しやすいためレーザガス流の流量を増加させることができず、小型で大出力のガスレーザ発振装置を得られない。
【解決手段】本発明のガスレーザ発振装置において、レーザガスを送風する送風手段に、先端に翼車部を設けるとともに前記送風手段を構成する部材のうち最も膨張率の小さい材料で形成される回転軸と、前記回転軸を回転させる駆動部と、前記回転軸に結合された上部軸受および下部軸受と、前記下部軸受の外周部を固定する抑え板とを備えたるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置で不純物を除去し希ガスを再利用することのできる不純物除去装置を提供すること。
【解決手段】不純物除去装置は、エキシマレーザー発振装置１０から排出される希ガスに混合したフッ素およびフッ素化合物を除去する第１の処理装置２１と、第１の処理装置で生成する酸素を除去する第２の処理装置２３と、エキシマレーザー発振装置１０から排出される希ガスを循環させ、エキシマレーザー発振装置１０に戻す循環装置２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】導波管を多段配置した構成において、半透鏡、反射鏡及び全反射鏡による反射損失を低減してレーザ光の出力効率を向上する。また、装置自体を小型化する。
【解決手段】導波管を複数の分割導波管とする。各分割導波管は、互いに連続するように一方の端部を近接させて折り返し状となるように傾斜配置する。分割導波管相互の接続箇所に、互いの光軸が一致するようにレーザ光を反射する中間反射鏡を設ける。 （もっと読む）

【課題】低ガス圧使用時における出力特性が改善される放電励起エキシマレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザチャンバ１０１内に配置されレーザ光の発振を可能とする放電を得るための一対の主放電電極１０２、１０２と、回転軸１０４を有し前記一対の主放電電極間１０２、１０２にレーザガス流を作り出す貫流ファン１０３と、回転駆動力を付与するモータ１１２と、該モータ１１２に駆動用交流電圧を供給するインバータ１３１と、該レーザチャンバ１０１内のガス圧力センサ１２１からのレーザガス圧力検出信号を受信し、かつ、該モータ１１２を所定の回転数で回転させるための駆動用交流電圧をインバータ１３１に発生させる速度指令信号を発信するコントローラー１３０と、からなる放電励起エキシマレーザ装置１００であって、該コントローラー１３０は、該レーザガス圧力検出信号に応じた速度指令信号を発信することを特徴とする。 （もっと読む）

従来設けられたものよりもいっそうコンパクトな構造体になるようにして電極と少なくとも１つの側壁とによって形成することのできるレーザ導波管。電極における突出部によって、いっそう容易なレーザ始動が可能になり、また、分割型の側壁によって、側壁のいっそう容易な組立が可能になり、製造コストが削減される。
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【課題】Ｈｅ−Ｎｅレーザの周波数安定化装置を簡単化する。
【解決手段】単極性定電圧電源装置１の電圧が正確に２４Ｖであればプラス、マイナス１２Ｖの双極性電源が得られるが、レギュレータ４の出力Ｏが正確にマイナス１２Ｖになるには時間がかかるので、周波数安定のための電子回路３の０ＶであるべきグランドＧの電位は２４Ｖとなり片電源となり、能動電子素子は破壊される可能性をもつ。この現象を防止するため単極性定電圧電源装置１のプラス、マイナスの端子の間に、二つの抵抗等のインピータンス２を直列にしたものを接続し直列の中点を電子回路３の０Ｖであるべき点Ｇに接続する。 （もっと読む）

【課題】 簡便な回路で高い繰り返し周波数で動作するパルス幅の短いレーザー光を容易に得ることを可能とし、レーザー装置を大幅に小型化、高繰り返し化できる、微細加工や歯のアブレーション加工に使用される軸方向励起ガスレーザー装置を提供する。
【解決手段】 放電管２１の励起回路が、プライマリ一回路１１、プライマリ一回路に接続された昇圧トランス１２、一端が高圧整流ダイオード１３を介して昇圧トランスに、他端が昇圧トランスと放電管の一端に接続された蓄積キャパシター１４、蓄積キャパシターに接続された一端子と放電管の他端に接続された他端子と昇圧トランスによりトリガされるスイッチング作動子からなり、蓄積キャパシターに蓄えられた電荷を放電管の両端に印加する高電圧スイッチ、および放電管の両端の間に設けられたシャント回路からなる。 （もっと読む）

【課題】 安全で、しかも精度良くハロゲンを供給できると共に、レーザ装置全体の小型化、及び信頼性の向上が図れるエキシマレーザのガス供給装置を提供する。
【解決手段】 ハロゲン発生器のハロゲン吸蔵物質を所定の温度に制御して所定の分圧で発生させたハロゲンガスをハロゲンガス供給ラインを介してレーザチャンバ内に注入し、レーザチャンバ内のハロゲンガス分圧を制御するエキシマレーザ装置において、レーザチャンバ内を真空にする第１の真空引き手段と、ハロゲンガス供給ラインに設けられ、ハロゲンガスのレーザチャンバへの注入を開閉するハロゲン注入用バルブと、レーザガス交換時に、第１の真空引き手段を作動させてレーザチャンバ内を真空にした後、ハロゲン発生器で発生したハロゲンガスのレーザチャンバへの注入量を所定量に制御するために、ハロゲン注入用バルブを所定時間開ける指令を出力するガスコントローラとを備えた。 （もっと読む）

【課題】ハイパワー高出力パルス繰返し数高安定性ＵＶ光源、例えばＤＵＶ光の生成において用いられるガス放電レーザを提供する。
【解決手段】開示された場合の方法及び機器は、ハイパワー高繰返し数ガス放電レーザＵＶ光源を含むことができ、この光源は、垂直壁及び隣接する底部壁を含む内壁を含むガス放電チャンバと、内部垂直壁及び隣接する底部壁に隣接するガス流路を作り出すためのガス循環ファンと、内壁に沿うことができ、かつ少なくとも１つのメッシュ状スクリーン、例えば少なくとも２つの異なるゲージのメッシュ状スクリーンを含むことができる複数のメッシュ状スクリーンを含むことができる低ガス流量の領域に配置されたチャンバ内ダストトラップとを含むことができる。ダストトラップは、チャンバの底部内壁及び／又は内壁の垂直部分に沿って延びることができる。ダストトラップは、第１のゲージを有する第１のメッシュ状スクリーンと、第１のメッシュ状スクリーンと内壁の間にあり、第１のゲージよりも小さい第２のゲージを有する第２のメッシュ状スクリーンとを含むことができる。チャンバは、単一部分凹部と、互いに対して角度の付いた２つの区域を含むことができる複数部分凹部とを含む群から選択することができる、チャンバの垂直内壁及び底部壁の少なくとも一方にある複数のダスト収集凹部を含むことができる。ダストトラップは、主絶縁体の一部分とチャンバの内壁との間に配置された圧力トラップを含むことができる。チャンバは、渦制御ポケットを含むことができるファン遮断器を有する交差流ファンを含むガス循環ファンを含むことができる。チャンバは、柔軟部材を含むことができる予備電離管内の細長い開口部内の接地ロッドを収容する予備電離管を含む予備電離機構、自動予備電離遮断機構、予備電離開始制御機構、及び／又は集束要素を含むことができる。チャンバは、細長いバッフル板を含むことができ、このバッフル板は、複数のピラミッド状構造を含むことができ、この構造は、様々な個数のほぼピラミッド状の要素を含み、様々な個数のほぼピラミッド状の要素の群として配向され、かつ縦軸線に沿って及びそれと横断方向に配向されている。チャンバ内の音響共振はまた、レーザ放電のタイミングの中に人工的なジッターを導入し、パルス間周期をランダムに又はバースト内のパルスからパラスに反復するパターンで変化させることによっても低減することができる。 （もっと読む）