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Fターム[5F083AD12]の内容

半導体メモリ (164,393) | DRAM (5,853) | キャパシタ (3,513) | PN接合容量型(Hi−Cを含む) (4)

Fターム[5F083AD12]に分類される特許

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【課題】多くの半導体装置に必要な低温処理と両立しない高温操作を必要とするような欠点がない、半導体構造を提供することを目的とする。
【解決手段】下部誘電層(151)へ接合された基板(103)、および、下部電極(121)を通じて前記下部誘電層(151)と接合される垂直方向半導体装置(111)を含む半導体構造であって、前記垂直方向半導体装置(111)は、n−p−n層(124)を有する隔離構造(135)を含む。 (もっと読む)


【課題】良好な特性の半導体装置を良好な歩留りで製造可能な製造方法を提供する
【解決手段】半導体基板10A上に絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜上に感光性材料51を塗布する工程と、半導体基板10Aの周辺部に形成された感光性材料51を除去する工程と、感光性材料51に対してプリベイクを行い、感光性膜52を形成する工程と、感光性材料51が除去された領域と離間するように、感光性膜52に対して露光を行う工程と、露光された感光性膜52に対して現像を行うことにより、レジストパターンを形成する工程と、レジストパターンをマスクとして、絶縁膜にコンタクトホールを形成する工程と、コンタクトホール内にプラグ導電部を形成する工程と、プラグ導電部上に強誘電体キャパシタを形成する工程と、強誘電体キャパシタに対して、酸素雰囲気中で熱処理を行う工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】形状に限定されることなく、柔軟性ないし可撓性を有し、任意の形状の各種装置を作成することが可能な端面センサデバイス及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】線状体の端面に、対象からの情報を受容して他の情報として出力する受容部が形成されていることを特徴とする端面センサデバイス。線状体2001は、中止部に中心電極2007を有し、その外周は絶縁膜2008で覆われている。上記線状体2001を用意し、その端面にn型半導体層2004を形成する。次いで、n型半導体層2004上にp型半導体層2003を形成する。これにより、線状体2001の端面にpn接合の受容部(光センサ)が形成される。 (もっと読む)


【課題】ストレージノードからのリークを低減する。
【解決手段】書き込みトランジスタWT、転送トランジスタTT、アンプトランジスタATおよび電荷蓄積キャパシタ(ストレージ・キャパシタC1)を有し、書き込みトランジスタ書き込みトランジスタWTは、ソース・ドレイン領域の一方が書き込みビット線WBLに接続され、他方がアンプトランジスタATのゲートに接続され、ゲートが書き込みワード線WWLに接続され、転送トランジスタTTは、ソース・ドレイン領域の一方がアンプトランジスタATのゲートに接続され、他方がストレージ・キャパシタC1のストレージノード電極に接続され、ゲートが転送ゲート線TGに接続され、アンプトランジスタATのドレインが読み出しビット線RBLに接続され、ソースがコモンソース線CSLに接続されている。 (もっと読む)


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