【課題】ＳＲＡＭメモリセルを有する半導体装置において、その特性の向上を図る。
【解決手段】ＳＲＡＭを構成するアクセストランジスタＡｃｃ１が配置される活性領域ＡｃＰ１の下部において、絶縁層ＢＯＸを介して配置されたｐ型の半導体領域１Ｗの底部および側部が、ｎ型の半導体領域２Ｗと接するように配置し、ｐ型の半導体領域１Ｗをｎ型の半導体領域２Ｗでｐｎ分離し、アクセストランジスタＡｃｃ１のゲート電極Ｇ２とｐ型の半導体領域１Ｗを接続する。そして、この接続は、アクセストランジスタＡｃｃ１のゲート電極Ｇ２の上部からｐ型の半導体領域１Ｗの上部まで延在する一体の導電性膜であるシェアードプラグＳＰ１ｗによりなされる。これにより、アクセストランジスタＡｃｃ１がオン状態の場合において、バックゲートであるｐ型の半導体領域１Ｗの電位が同時に高くなり、トランジスタのオン電流を大きくできる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の特性の向上を図る。
【解決手段】本発明の半導体装置は、（ａ）素子分離領域ＳＴＩにより囲まれた半導体領域３よりなる活性領域Ａｃに配置されたＭＩＳＦＥＴと、（ｂ）活性領域Ａｃの下部に配置された絶縁層ＢＯＸとを有する。さらに、（ｃ）活性領域Ａｃの下部において、絶縁層ＢＯＸを介して配置されたｐ型の半導体領域１Ｗと、（ｄ）ｐ型の半導体領域１Ｗの下部に配置されたｐ型と逆導電型であるｎ型の第２半導体領域２Ｗと、を有する。そして、ｐ型の半導体領域１Ｗは、絶縁層ＢＯＸの下部から延在する接続領域ＣＡを有し、ｐ型の半導体領域１Ｗと、ＭＩＳＦＥＴのゲート電極Ｇとは、ゲート電極Ｇの上部から接続領域ＣＡの上部まで延在する一体の導電性膜であるシェアードプラグＳＰ１により接続されている。 （もっと読む）

【課題】高集積なＣＭＯＳ ＳＲＡＭを提供する。
【解決手段】第１の第１導電型半導体１３７と、第１の第１導電型半導体とは極性が異なる第１の第２導電型半導体１０４と、第１の第１導電型半導体と第１の第２導電型半導体との間に配置される第１の絶縁物１１２が一体となり基板に対して垂直に延びる１本の第１の柱と、
第１の第１導電型半導体の上に配置される第１の第２導電型高濃度半導体１８２と、第１の第１導電型半導体の下に配置される第２の第２導電型高濃度半導体１４１と、第１の第２導電型半導体の上に配置される第１の第１導電型高濃度半導体１８６と、第１の第２導電型半導体の下に配置される第２の第１導電型高濃度半導体１４３と、第１の柱を取り囲む第１のゲート絶縁物１７６と、第１のゲート絶縁物を取り囲む第１のゲート導電体１６７と、を有するインバータ５０１を用いてＳＲＡＭを構成する。 （もっと読む）

【課題】セル面積増大を抑制しつつゲート形成時のパターンずれによる特性低化を有効に防止し、さらに電源電圧供給線を低抵抗化する。
【解決手段】第１の電源電圧供給線ＶＤＤと第２の電源電圧供給線ＶＳＳとの間に電気的に直列接続されてゲートが共通に接続された第１導電型の駆動トランジスタＱｎ１,Ｑｎ２と第２導電型の負荷トランジスタＱｐ１,Ｑｐ２とからそれぞれが構成され、入力と出力が交叉して接続された２つのインバータをメモリセルごとに有する。第１の電源電圧供給線ＶＳＳと第２の電源電圧供給線ＶＳＳの少なくとも一方が、層間絶縁層の貫通溝内を導電材料で埋め込んだ溝配線からなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、従来のＳＲＡＭメモリセルでは、Ｐウエル領域の基板へのコンタクトをとるために、拡散層の形を鍵状に曲げる必要があった。このため、対称性が悪く微細化が困難であるという問題があった。
【解決手段】ＳＲＡＭセルを構成するインバータが形成されたＰウエル領域PW1、PW2が２つに分割されてＮウエル領域NW1の両側に配置され、トランジスタを形成する拡散層に曲がりがなく、配置方向が、ウエル境界線やビット線に平行に走るように形成される。アレイの途中には、基板への電源を供給するための領域が、メモリセル３２ローあるいは、６４ロー毎に、ワード線と平行に形成される。 （もっと読む）

【課題】パターンの微細化、特に、ＳＲＡＭのセル面積を縮小するためには、隣接ゲートの端部間距離を縮小することが重要となる。しかし、２８ｎｍテクノロジノードにおいては、ＡｒＦによる単一回露光でパターンを転写することは、一般に困難である。従って、通常、複数回の露光、エッチング等を繰り返すことによって、微細パターンを形成しているが、ゲートスタック材にＨｉｇｈ−ｋ絶縁膜やメタル電極部材が使用されているため、酸化耐性やウエットエッチ耐性が低い等の問題がある。
【解決手段】本願発明は、メモリ領域におけるｈｉｇｈ−ｋゲート絶縁膜およびメタル電極膜を有するゲート積層膜のパターニングにおいて、最初に、第１のレジスト膜を用いて、隣接ゲート電極間切断領域のエッチングを実行し不要になった第１のレジスト膜を除去した後、第２のレジスト膜を用いて、ライン＆スペースパターンのエッチングを実行するものである。 （もっと読む）

【課題】セル面積増大を抑制しつつゲート形成時のパターンずれによる特性低化を有効に防止し、さらに電源電圧供給線を低抵抗化する。
【解決手段】第１の電源電圧供給線ＶＤＤと第２の電源電圧供給線ＶＳＳとの間に電気的に直列接続されてゲートが共通に接続された第１導電型の駆動トランジスタＱｎ１,Ｑｎ２と第２導電型の負荷トランジスタＱｐ１,Ｑｐ２とからそれぞれが構成され、入力と出力が交叉して接続された２つのインバータをメモリセルごとに有する。第１の電源電圧供給線ＶＳＳと第２の電源電圧供給線ＶＳＳの少なくとも一方が、層間絶縁層の貫通溝内を導電材料で埋め込んだ溝配線からなる。 （もっと読む）

【課題】シェアードコンタクトの接触不良を防止して、半導体装置の製造歩留まりを向上させることのできる技術を提供する。
【解決手段】高密度版回路における電界効果トランジスタＴｒ３のゲート電極Ｇ３と電界効果トランジスタＴｒ４のゲート電極Ｇ４とのピッチは、高速版回路における電界効果トランジスタＴｒ１のゲート電極Ｇ１と電界効果トランジスタＴｒ２のゲート電極Ｇ２のピッチよりも小さいが、シェアードコンタクトホールＳＣが達する部分のゲート電極Ｇ３に切欠を設けることにより、シェアードコンタクトホールＳＣと不純物領域Ｓ／Ｄとの接触面積を広くする。 （もっと読む）

【課題】第１の導電型の共通ウェルが形成された半導体基板と、前記半導体基板上の前記共通ウェルに行列状に配列されたメモリセルよりなり、列方向に整列して共通のビット線に接続される一群のメモリセルがメモリセルカラムを形成するメモリセルアレイからなるスタティックランダムアクセスメモリにおいて、隣接カラム群間のソフトエラーの伝搬を抑制する。
【解決手段】隣接する第１および第２のカラム群において、前記第１のカラム群ＣＧ_１で選択される一のメモリセルカラムの第１導電型ウェルＰＷ（０１）と、第２カラム群ＣＧ_２で同時に選択されるメモリセルカラムの第１導電型ウェルＰＷ（０５）は、いずれか一方が、共通ウェル１１から、第２導電型の深いウェルＤＮＷ_１により遮断されており、前記第２導電型の深いウェルＤＮＷ_１は、行方向に測った場合の一つのカラム群の寸法を超えない寸法を有する。 （もっと読む）

【課題】低電源電圧下においても、安定かつ高速に動作する半導体記憶装置を実現する。
【解決手段】メモリセル列ごとにアレイ電源線（ＡＲＶＤ）およびダウン電源線（ＤＷＶＤ）を配置する。ダウン電源線は、読出し時に接地に結合され、書込み時にフローティング状態とされる。書込み時、選択列のアレイ電源線への電源電圧の供給を停止するとともに該アレイ電源線を対応のダウン電源線に接続する。電源系統を複雑化することなく、低電源電圧下においても安定にデータの書込／読出を行うことのできる半導体記憶装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ノードコンタクト構造体を有する半導体素子と、その製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板の上に形成されソース／ドレイン領域を有するバルクモストランジスタを備える。該バルクモストランジスタ上に層間絶縁膜が形成され、該層間絶縁膜上にソース／ドレイン領域を有する薄膜トランジスタが形成される。該バルクモストランジスタのソース／ドレイン領域上に半導体プラグが形成され、該半導体プラグは該層間絶縁膜の少なくとも一部を介して延長される。該薄膜トランジスタのソース／ドレイン領域及び該半導体プラグは金属プラグと接触し、該金属プラグは該層間絶縁膜の少なくとも一部を介して延長される。該半導体プラグ及び該金属プラグは多層のプラグを構成する。 （もっと読む）

【課題】複数種類の回路構成をマスタスライス方式で対応可能なメモリセル専用のマスタスライス方式メモリセルを提供すること。
【解決手段】メモリユニットが２行２列に配置されてメモリセルを構成する。メモリユニットは、行方向に沿って並置され列方向に伸長される第１〜第３拡散層を備え、各拡散層で並列接続のトランジスタが構成される。第１および第２ワード線は第１〜第３拡散層の両端部外方に配置される。第１〜第３拡散層の第１コンタクト層とゲート層の第２コンタクト層との間、第１コンタクト層と第１／第２ワード線との間に、行方向に沿って第１のメタル配線領域が確保される。第１のメタル配線領域には、第２または第３メタル層の何れかが配線可能である。第１及び第２拡散層、第２及び第３拡散層の間には、列方向に沿って第２のメタル配線領域が確保される。第２のメタル配線領域には第３メタル層が配線可能である。 （もっと読む）

【課題】所定の整列関係を有する単位セルを含む半導体セル構造物を提供すること。
【解決手段】単位セルは、活性領域１４、１８、２４、２８、ゲートパターン３２、３４、３６、３８、ダミーパターン４２、４４、４６、４８、及び導電パターン９４を有する。ゲートパターン３２、３４、３６、３８は活性領域１４、１８、２４、２８と交差する。ダミーパターン４２、４４、４６、４８は単位セルを電気的に接続する。選択された単位セル内のダミーパターン４２、４４、４６、４８は、選択された単位セル内のゲートパターン３２、３４、３６、３８との間に対角的に配置される。導電パターン９４はダミーパターン４２、４４、４６、４８と電気的に接続する。これにより、半導体セル構造物は、行及び列に沿って互い突出しない単位セルを有することができる。上述した半導体セル構造物は半導体装置及び半導体モジュールに配置される。 （もっと読む）

【課題】ＳＲＡＭ回路の動作速度を向上させる。
【解決手段】駆動ＭＩＳＦＥＴと転送ＭＩＳＦＥＴとそれらの上部に形成された縦型ＭＩＳＦＥＴとでメモリセルを構成したＳＲＡＭにおいて、周辺回路を構成するＭＩＳＦＥＴ間の電気的接続を、メモリセルの縦型ＭＩＳＦＥＴ（ＳＶ_１、ＳＶ_２）よりも下部に形成されるプラグ２８および中間導電層４６、４７で行うとともに、縦型ＭＩＳＦＥＴ（ＳＶ_１、ＳＶ_２）よりも上部に形成されるプラグ、第１および第２金属配線層を用いて行うことにより、配線の自由度を向上でき、高集積化できる。また、ＭＩＳＦＥＴ間の接続抵抗を低減でき、回路の動作スピードを向上できる。 （もっと読む）

【課題】ＳＲＡＭを有する半導体装置の信頼性を向上させる。
【解決手段】シリコン基板１上に形成された６つのｎチャネル型トランジスタＱＮＡ１，ＱＮＡ２，ＱＮＡ３，ＱＮＡ４，ＱＮＤ１，ＱＮＤ２と、２つのｐチャネル型トランジスタＱＰＬ１，ＱＰＬ２とによって構成されるメモリセルＭＣ１を有する半導体装置である。シリコン基板１上には、行方向に見て、順に、第１ｐウェルＰＷ１、第１ｎウェルＮＷ１、第２ｐウェルＰＷ２、第２ｎウェルＮＷ２、および、第３ｐウェルＰＷ３が配置されている。第１および第２正相アクセストランジスタＱＮＡ１，ＱＮＡ２は第１ｐウェルＰＷ１に配置され、第１および第２ドライバトランジスタＱＮＤ１，ＱＮＤ２は第２ｐウェルＰＷ２に配置され、第１および第２逆相アクセストランジスタＱＮＡ３，ＱＮＡ４は第３ｐウェルＰＷ３に配置されている。 （もっと読む）

【課題】同一のレジストパターンにより、ドライエッチングおよびウエットエッチングを連続的に行なう際に、変質したレジスト表面層を剥がれなくするように改良された、半導体装置の製造方法を提供することを主要な目的とする。
【解決手段】半導体基板１の上に、絶縁膜２と導電層３を順次形成する。導電層３の上にレジストパターン４を形成する。レジストパターン４をマスクに用いて、導電層３をドライエッチングする。レジストパターン４の表層部を一部削る。レジストパターン４をマスクに用いて、絶縁膜２をウエットエッチングする。 （もっと読む）

【課題】回路構成を複雑化することなくソフトエラー低減化を図ったメモリセル構造を有する半導体記憶装置を得る。
【解決手段】ＮＭＯＳトランジスタＮ１及びＰＭＯＳトランジスタＰ１によるインバータＩ１（出力部が記憶端子Ｎａ）とＮＭＯＳトランジスタＮ２及びＰＭＯＳトランジスタＰ２によるインバータＩ２（出力部が記憶端子Ｎｂ）とが交叉接続され、さらにＮＭＯＳトランジスタＮ３及びＮ４が記憶端子Ｎａ及びＮｂにそれぞれ接続される。記憶端子Ｎａに一方電極が接続されるＮＭＯＳトランジスタＮ１及びＮ３はＰウエル領域ＰＷ０及びＰＷ１に分けて形成されるともに、記憶端子Ｎｂに一方電極が接続されるＮＭＯＳトランジスタＮ２及びＮ４はＰウエル領域ＰＷ１及びＰＷ０に分けて形成される。Ｐウエル領域ＰＷ０及びＰＷ１はＮウエル領域ＮＷを挟んで各々反対側に形成される。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極とプラグとの接続信頼性を向上することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明では、ＭＩＳＦＥＴのゲート電極Ｇ１を金属膜ＭＦ２とポリシリコン膜ＰＦ１の積層膜から構成するＭＩＰＳ電極を前提とする。そして、このＭＩＰＳ電極から構成されるゲート電極Ｇ１のゲート長に比べて、ゲートコンタクトホールＧＣＮＴ１の開口径を大きく形成する第１特徴点と、ゲート電極Ｇ１を構成する金属膜ＭＦ２の側面に凹部ＣＰ１を形成する第２特徴点により、さらなるゲート抵抗（寄生抵抗）の低減と、ゲート電極Ｇ１とゲートプラグＧＰＬＧ１との接続信頼性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＭにおけるメモリセル面積の縮小化を図る。
【解決手段】データ線（Ｄ０，Ｄ１）を第１記憶部（ＭＡ）及び第２記憶部（ＭＢ）とで共有し、また、第１比較データ線（ＣＤ０）に結合された第１トランジスタ（ＭＣ０）と、第１記憶部の記憶ノードに結合された第２トランジスタ（ＭＣＡ）とを直列接続して第１比較回路（１１）を形成し、第２比較データ線（ＣＤ１）に結合された第３トランジスタ（ＭＣ１）と、上記第２記憶部の記憶ノードに結合された第４トランジスタ（ＭＣＢ）とを直列接続して第２比較回路（１２）を形成することは、拡散層や配線層のレイアウトにおける対称性を向上させ、メモリセルをその中心を通る中心線に対して線対称となるレイアウトの容易化を達成する。それにより製造プロセス条件を最適化し易くなり、製造プロセスのばらつきが低減されてメモリセルの微細化が達成される。 （もっと読む）

【課題】半導体装置とその製造方法においてSRAMのセルサイズを縮小することを目的とする。
【解決手段】メモリセルCの活性領域３１ａ、３１ｂが画定されたシリコン基板３１と、素子分離絶縁膜３２上に形成され、第１の方向に延在するゲート電極３５と、シリコン基板３１とゲート電極３５の上に形成された第１の絶縁膜４２と、第１の絶縁膜４２を貫通し、ゲート電極３５と第１の活性領域３１ａに重なり、第１の方向に直交する第２の方向に延在する第１の銅プラグ４５ａと、第２の活性領域３５ｂ上の第１の絶縁膜４２を貫通する第２の銅プラグ４５ｂと、第１の絶縁膜４２上に形成された第２の絶縁膜４４と、第２の絶縁膜４４に埋め込まれ、第１の銅プラグ４５ａの側面４５ｘから第２の延在方向に後退して形成され、第１の銅プラグ４５ａの上面の一部のみを覆う銅配線４８ａとを有する半導体装置による。 （もっと読む）