【課題】アライメント精度を高めて、磁気センサとしての磁場感度を高めるとともに、そのばらつきを低減して、安定した磁気特性を有する磁気センサの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板３１上に複数の磁気抵抗効果素子を形成する素子形成工程と、磁気抵抗効果素子を形成したシリコン基板３１をマグネットアレイ４８に重ね、磁気抵抗効果素子に磁界を付与した状態で熱処理することにより、磁気抵抗効果素子を規則化する規則化熱処理工程とを備え、素子形成工程では、シリコン基板３１の一部にアライメントマーク３２を形成しておき、規則化熱処理工程では、マグネットアレイ４８にシリコン基板３１を重ね合わせ、赤外線光学系５１によって赤外線を照射し、シリコン基板３１を透過した赤外線によりマグネットアレイ４８のアライメントマーク４６を撮像しながらそのアライメントマーク４６にシリコン基板３１のアライメントマーク３２を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】磁化反転の際の反転電流をより低減することが可能な磁気抵抗素子を単純なプロセスで製造することを可能にする。
【解決手段】基板上に下部電極膜を形成する工程と、下部電極膜上に、磁化の向きが固着された磁化固着層となる第１磁性層と、トンネルバリア層と、磁化の向きが可変の磁化自由層となる第２磁性層との積層構造を有する積層膜を形成する工程と、積層膜上に第１上部電極膜を形成する工程と、第１上部電極膜をパターニングし、第１上部電極を形成する工程と、第１上部電極をマスクとして積層膜の第２磁性層までをパターニングする工程と、第１上部電極を覆うように絶縁膜を形成する工程と、第１上部電極の上面を露出させる工程と、第１上部電極を覆うように第２上部電極膜を形成する工程と、第２上部電極膜をパターニングし、第２上部電極を形成する工程と、第２上部電極をマスクとして下部電極膜までを自己整合的に加工する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】磁気抵抗効果素子を含むメモリセルのサイズを縮小する。
【解決手段】磁気記憶装置の製造方法は、コンタクトプラグ１３および第１の絶縁層１１上に、磁気抵抗効果素子１０を形成する工程と、上部電極層１６上に、第１の方向に延在する第１のマスク層１８を形成する工程と、上部電極層１６を第１のマスク層１８を用いてエッチングする工程と、上部電極層１６および非磁性層１５上に保護膜２０を形成する工程と、保護膜２０上に第２のマスク層２１を形成する工程と、第２の方向に延在するように、第２のマスク層２１上にレジスト層２２を形成する工程と、第２のマスク層２１をレジスト層２２を用いてエッチングし、上部電極層１６の側部に側壁部２１Ａを形成する工程と、非磁性層１５および下部電極層１４を、第２のマスク層２１および側壁部２１Ａを用いてエッチングする工程とを含む。 （もっと読む）