Fターム［5F103PP16］の内容
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Fターム［5F103PP16］に分類される特許
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赤外ＬＥＤ用のエピタキシャルウエハおよび赤外ＬＥＤ
【課題】特性を向上できる赤外ＬＥＤ用のエピタキシャルウエハおよび赤外ＬＥＤを提供する。
【解決手段】赤外ＬＥＤ用のエピタキシャルウエハ１ｃは、主表面１１ａと、主表面１１ａと反対側の裏面１１ｂとを有するＡｌxＧａ(1-x)Ａｓ層（０≦ｘ≦１）を含むＡｌyＧａ(1-y)Ａｓ基板（０≦ｙ≦１）と、ＡｌxＧａ(1-x)Ａｓ層の主表面１１ａ上に形成され、かつ活性層を含むエピタキシャル層２０とを備える。ＡｌxＧａ(1-x)Ａｓ層において、主表面１１ａのＡｌの組成比ｘは、裏面１１ｂのＡｌの組成比ｘよりも低い。ＡｌxＧａ(1-x)Ａｓ層において、主表面１１ａの不純物濃度は、裏面１１ｂの不純物濃度よりも高い。
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