Fターム[5F103RR00]の内容
半導体装置を構成する物質の物理的析出 (6,900) | 目的、効果、機能 (718)
Fターム[5F103RR00]の下位に属するFターム
生産性向上 (93)
品質の安定化 (120)
特性向上 (192)
析出膜状態の改善・結晶性向上 (134)
信頼性向上 (26)
経済性向上・低コスト化 (70)
環境対策 (4)
その他の目的、効果、機能 (79)
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半導体装置を構成する物質の物理的析出 (6,900) | 目的、効果、機能 (718)
生産性向上 (93)
品質の安定化 (120)
特性向上 (192)
析出膜状態の改善・結晶性向上 (134)
信頼性向上 (26)
経済性向上・低コスト化 (70)
環境対策 (4)
その他の目的、効果、機能 (79)
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