絶縁ゲート型電界効果トランジスタ (137,078)

目的 (9,335)
複合（回路要素） (3,149)
動作、用途、素子構造 (4,642)
基板材料 (9,253)
チャネル構造 (2,673)
チャネルの製造 (2,860)
ゲート絶縁膜 (8,730)
ゲート絶縁膜の製造 (6,009)
ゲート電極 (19,255)
ゲート電極及び側壁の製造 (21,161)
ソース、ドレイン領域及びＳＤ近傍領域 (10,828)
ソース・ドレイン電極 (8,852)
ソース・ドレイン領域、電極及びＳＤ近傍領域の製造 (13,929)
配線 (1,162)
素子分離構造 (5,334)
層間膜、保護膜 (4,863)
その他の領域、その他の素子構造及び製造 (630)
製造工程一般 (2,583)
同時工程 (1,387)
保護 (215)
シミュレーション (228)