Fターム[5F157BG22]の内容
Fターム[5F157BG22]の下位に属するFターム
水蒸気 (43)
フッ化水素 (21)
トリクロロエチレン
ウェット洗浄に近いもの (4)
Fターム[5F157BG22]に分類される特許
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ワークピース処理用シングルチャンバ
半導体ウェハを処理するためのプロセスチャンバ。プロセスチャンバは、少なくとも1つのロータを含む。このロータは、ウェハの受け入れおよび/または処理に適合する。また、プロセスチャンバの最上部には、チルト可能なリムも含む。このリムは、非傾斜位置から傾斜位置までチルトする。ウェハは、リムがその傾斜位置にあるとき、プロセスチャンバに取り入れら得るし、また、プロセスチャンバから取り出され得る。このプロセスチャンバは、チルト可能なリムより下で囲み、上向きに配置されたシュラウドを備え得るし、また、チルト可能なリムの内部に配置された排気口をさらに備え得る。
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