Array ( [0] => 半導体の洗浄、乾燥 [1] => 気体による洗浄 [2] => 洗浄媒体の種類 [3] => 蒸気 ) 気体による洗浄 | 洗浄媒体の種類 | 蒸気
説明

Fターム[5F157BG22]の内容

半導体の洗浄、乾燥 (54,359) | 気体による洗浄 (2,067) | 洗浄媒体の種類 (1,431) | 蒸気 (109)

Fターム[5F157BG22]の下位に属するFターム

水蒸気 (43)
フッ化水素 (21)
トリクロロエチレン
ウェット洗浄に近いもの (4)

Fターム[5F157BG22]に分類される特許