【課題】処理液から引き上げられる複数の基板の全面を短時間で効率的に乾燥させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板保持具３３０は、基板Ｗの外周端部を保持する３本の保持アームｘ１，ｘ２，ｘ３を有する。中央に位置する保持アームｘ２は、外側に位置する保持アームｘ１，ｘ３よりも少し低い高さに配置される。中央の保持アームｘ２は、棒状保持枠４２２、帯状保持片４２１，４２３、ボルトおよびナットからなる。棒状保持枠４２２の一方側には帯状保持片４２１が取り付けられ、棒状保持枠４２２の他方側には帯状保持片４２３が取り付けられる。この保持アームｘ２においては、一方側の帯状保持片４２１が棒状保持枠４２２の下端部から下方に突出せず、他方側の帯状保持片４２３が棒状保持枠４２２の下端部から下方に所定の高さＤ突出する。基板Ｗの乾燥処理時には、一方側から他方側にドライエアが供給される。 （もっと読む）