Array ( [0] => 半導体の洗浄、乾燥 [1] => 構成要素細部 [2] => 吸排気構造 ) 半導体の洗浄、乾燥 | 構成要素細部 | 吸排気構造
説明

Fターム[5F157CF16]の内容

半導体の洗浄、乾燥 (54,359) | 構成要素細部 (6,182) | 吸排気構造 (450)

Fターム[5F157CF16]の下位に属するFターム

吸入口 (51)
排気口 (222)

Fターム[5F157CF16]に分類される特許