説明

Fターム[5F172CC09]の内容

レーザ (22,729) | 共振器構成 (570) | コの字型の折り返しを含む共振器 (18)

Fターム[5F172CC09]に分類される特許

1 - 18 / 18


【解決手段】 レーザ発振装置1は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管3と、レーザガスを放電管3内と連通路4bとの間で循環させるガス循環通路4と、上記連通路4b内に設けられてレーザガスを循環させるクロスフローファン9とを備えている。上記クロスフローファン9は連通路4b内に斜めに配置されている。これにより連通路4b内はクロスフローファン9によって上流側の流入部4b−iと下流側の流出部4b−oとに区画され、レーザガスはクロスフローファン内を介して流入部から流出部へ流通されるようになる。
【効果】 クロスフローファン9を連通路4b内に斜めに配置することにより、大きなスペースを必要とすることなくクロスフローファン9を循環通路4内に設けることができる。 (もっと読む)


【解決手段】 マイクロ波によってレーザガスを励起させてレーザ光Lを発振させるようにしたレーザ発振装置1は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管3と、フロントミラーとリヤミラーとから構成された共振器を有するレーザ発振器31A、31Bと、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生器15と、このマイクロ波発生器によって発生されたマイクロ波を上記放電管に導波する導波管17とを備えている。上記導波管17は、放電管3の外周面に螺旋状に配置してあり、この導波管に複数のスリットを設けてある。
【効果】 上記放電管3の外周面の略全体から放電管3の半径方向内方に向かってマイクロ波を放射して放電管3内に収容されるレーザガスを励起させることができるので、該レーザガスを効率的に励起することができる。 (もっと読む)


【課題】高出力ビームが得られ、エネルギー効率に優れたレーザ装置およびこれを用いたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、全反射ミラー11,部分反射ミラー12およびブリュースターウィンドウ13を含むレーザ発振器と、レーザ発振器から出力されたレーザ光を時間的に分配するための音響光学素子21と、ウィンドウ14,ミラー15,16および偏光回転ミラー17を含むレーザ増幅器などで構成される。レーザ光は、レーザ増幅器内に配置された放電励起ガス2を複数回通過する。 (もっと読む)


【課題】同じレーザ光源装置を用いて、加工精度を良好に保ちつつ、レーザ光のパルスエネルギーおよび繰返し周波数を変化させる。
【解決手段】シードLD151から射出されたレーザ光を、ファイバ増幅器153およびファイバ増幅器155により増幅した後、固体レーザ増幅器158により増幅する。制御部160は、固体レーザ増幅器158の固体レーザ媒質を励起する励起光をレーザ光に同期して固体レーザ媒質に照射するように制御するとともに、励起光の単位時間あたりのパワーが所定の値になるように、レーザ光の繰返し周波数に応じて励起光の強度を制御する。本発明は、例えば、レーザリペア装置に適用できる。 (もっと読む)


【課題】DUV光源のための高電力ガス放電レーザシステムを提供する。
【解決手段】方法及び装置は、線狭化パルスエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムを含むことができ、システムは、パルスのレーザ出力光ビームを含む出力を生成し、かつ第1のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバと第1の発振空洞内の線狭化モジュールとを含むことができるシードレーザ発振器と、シードレーザ発振器の出力を受け取ってシードレーザ発振器の出力を増幅し、パルスのレーザ出力光ビームを含むレーザシステム出力を形成する第2のガス放電エキシマ又は分子フッ素レーザチャンバに増幅利得媒体を収容し、かつリング電力増幅ステージを含むことができて、シードレーザ発振器の出力がこのリング電力増幅ステージの増幅利得媒体をループ毎に少なくとも2回通過するレーザ増幅ステージとを含むことができる。 (もっと読む)


【解決手段】 レーザガスの充満した励起領域Rに対し、共振器を、レーザ光の光軸上に設けられた出力鏡2と、上記励起領域を挟んで出力鏡2の反対側に設けられるとともに、光軸Cに対して傾斜するリング状の第1〜第3反射面3a〜3cの形成された第1反射手段3と、上記励起領域の出力鏡2側に設けられるとともに、貫通孔4aおよび、光軸Cに対して傾斜するリング状の第4、第5反射面4b、4cが形成された第2反射手段4とが設けられている。
励起領域Rを励起すると、出力鏡2で反射したレーザ光Lは、第1反射面3c、第2反射面3b、第4反射面4b、第5反射面4c、第3反射面3c、第3反射面3c、第5反射面4c、第4反射面4b、第2反射面3b、第1反射面3a、出力鏡2の順(図示(1)〜(6))で反射するようになっている。
【効果】 組立調整が容易で、かつ出力効率が高いレーザ発振器が得られる。 (もっと読む)


本明細書では、発振器キャビティ長L0を有して発振器経路を定める発振器と、発振器経路を含んで長さLcombinedを有する結合光キャビティを確立するために発振器に結合された多重通過光増幅器とを含むことができる装置を説明し、ここで、Lcombined=(N+x)×L0であり、「N」は整数、かつ「x」は、0.4と0.6の間の数である。 (もっと読む)


【課題】光学的なロスを増大させることなく、効果的に出力レーザ光のロングパルス化を図ることができ、所望の強度の出力レーザ光を得ることができる注入同期式放電励起レーザ装置及び注入同期式放電励起レーザ装置における同期制御方法を提供する。
【解決手段】発振段レーザ10と増幅段レーザ20とを備える注入同期式放電励起レーザ装置を設ける。増幅段レーザ20のレーザチャンバ21は、1つの光共振器と、該光共振器の光軸上に配置された複数の電極ペアである電極2a、2bと、上記電極ペアの放電タイミングを制御する同期コントローラ35とを備える。また、同期コントローラ35は、発振段レーザ10から出力されたシード光が増幅段レーザ20に注入されるのと同期して、電極2aを放電させて増幅発振させ、電極2aの放電から所定の遅延時間後、電極2aによる増幅発振が終了する前に、上記電極2bを放電させて、増幅発振させる。 (もっと読む)


【課題】多数のアンプユニットからなるレーザ装置を半導体製造ライン等の床面に配置するにあたり、フットプリントを低減し、光路長を短くし、光学素子群を1箇所に集中配置させ、光学素子群のメンテナンス時の作業効率を高め作業者の負担を減らすようにするとともに、振動等の影響を受け難くしレーザ出力を長期的に安定させる。
【解決手段】オシレータユニット11の筐体と少なくとも1つのアンプユニット21、22の筐体の最小面積の面を除く広い面積の各面11A、21A、22A同士は隣接しかつ対向するようにオシレータユニット11、アンプユニット21、22が配置されている。2つのアンプユニット23、24の筐体の最小面積の面を除く広い面積の各面23A、24A同士は隣接しかつ対向するように、アンプユニット23、24が配置されている。光学素子群31は、一体形成されたプレート32上に配置されて光学素子モジュール30が構成されている。 (もっと読む)


【課題】線状の変換波を出力するにあたって、所望の偏光以外の偏光による寄生発振を抑えると共に部品点数の増加を抑え、装置構成の簡易化を図る。
【解決手段】励起光源1と、一対の共振器ミラー5、11とを有し、共振器ミラー5,11により構成される共振器20内に、レーザ媒質6と波長変換素子10とを備える。横マルチモードパターンの光でレーザ媒質6が励起され、レーザ媒質6の発振により得られる線状の基本波を波長変換素子10に照射して線状の変換波を出力する。レーザ媒質6と波長変換素子10との間の共振光路に、光路を折り返す反射部8を設け、レーザ媒質6又は波長変換素子10の端面をブリュースター角以外の傾斜面とし、この傾斜面に偏光膜7を設ける。 (もっと読む)


【課題】 パルス幅が制御された高調波レーザビームを得ることができるパルスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 パルスレーザ装置は、光共振器と、光共振器内に配置されたレーザ媒質と、レーザ媒質を励起させる励起装置と、光共振器の品質因子Qが相対的に高い第1の状態と相対的に低い第2の状態とを切り換えるQスイッチと、光共振器内に配置され、非線形光学結晶を含み、第1の状態でレーザ媒質から放出された基本波が入射し、基本波の高調波を生成する波長変換素子と、波長変換素子の温度を変化させる温度調節器と、波長変換素子の温度と波長変換素子で生成される高調波のパルス幅との対応関係を記憶するとともに、目標パルス幅を記憶し、波長変換素子の温度が、上記対応関係から得られた目標パルス幅に対応する目標温度となるように、温度調節器を制御する制御装置とを有する。 (もっと読む)


【課題】波長依存性の平坦な増幅率が得られ、このため、時間的に短い超短パルス光が得られ、エネルギーが高く、かつピークパワーの大きい超短パルス光を得ることができる再生増幅器等を得る。
【解決手段】光学的に対向して配置された2つの反射鏡3、4から共振器を構成する再生増幅器であって、2つの反射鏡3、4の間で前記共振器の光軸上に配置され、利得を発生し、入射した光を増幅する固体レーザ媒質25と、反射鏡3及び固体レーザ媒質25の間で光軸上に配置された偏光子5と、反射鏡3及び偏光子5の間で光軸上に配置され、電圧印可により偏光方向の制御を行う偏光スイッチ8と、偏光子5及び固体レーザ媒質25の間で光軸上に配置され、波長依存性のある損失を与える利得平滑化手段41とを設け、固体レーザ媒質25が発生する増幅利得と利得平滑化手段41の損失を組合せた波長依存性の平坦な増幅利得により、前記偏光子から入射した光を増幅する。 (もっと読む)


【課題】 効率よく光出力化が可能な光増幅器およびMOPAレーザ装置を提供する。
【解決手段】 MOPAレーザ装置2は、レーザ光源31、光増幅器32、ビームエクスパンダ33、光学マスク34および光増幅器1Aを備える。レーザ光源31から出力された光は、光増幅器32,ビームエクスパンダ33および光学マスク34を経て、光増幅器1Aに入力される。光増幅器1Aに入力された光は、第1パスで光増幅モジュールA,Aの正順で増幅され、第2パスで光増幅モジュールA,Aの正順で増幅され、第2パスとは逆の経路となる第3パスで光増幅モジュールA,Aの逆順で増幅され、第1パスとは逆の経路となる第4パスで光増幅モジュールA,Aの逆順で増幅されて、出力される。第1パスと第2パスとでは、2個の光増幅モジュールA,Aそれぞれに含まれるスラブ型固体レーザ媒質内において異なる経路で光が伝搬する。 (もっと読む)


【課題】 回折光の発生を抑制してビームの高出力化及び高品質化を図ることができるレーザ発振器を提供する。
【解決手段】 レーザ発振器10は、出力鏡12、リア鏡14、2つの凹面鏡16及び18を有し、これらの鏡は協働してレーザビームプロファイル11を形成する。出力鏡12と凹面鏡16との間、及び凹面鏡18とリア鏡14との間にはそれぞれビームウェスト20及び22が形成される。またレーザ発振器10は、出力鏡12とビームウェスト20との略中間、及びビームウェスト20と凹面鏡16との略中間にそれぞれ配置される第1及び第2のアパーチャ24及び26を有し、さらに、凹面鏡18とビームウェスト22との略中間、及びビームウェスト22とリア鏡14との略中間にそれぞれ配置される第3及び第4のアパーチャ28及び30を有する。 (もっと読む)


平面的に延びそれらの平坦面が対向して位置する一対の電極間にレーザガス(LG)が存在するリボンレーザは、各々細長い放電室(3a〜3d)を形成する多数の電極対(2a〜2d)を有している。それらの放電室は、折返しミラ(26)を経て光学的に連結され、電極の平坦面に対して平行に延びる放電室の中央平面が共通平面内に位置するように、互いに並べて配置されている。各々互いに直接連結された隣接する放電室間においてレーザビームを案内すべく、少なくとも1つの導波体(30)を備えている。
(もっと読む)


【課題】 連続発振あるいはパルス発振においてトップハットパターンの分布や基本横モードパターンの出力分布を安定に得られるレーザ発振器を提案する。
【解決手段】 レーザ光が共振器を一周する際に、偏光を保持し、その横モードパターンが回転する光共振器を用いる。そのためには、像回転素子を含むリング共振器か、非平面型リング共振器か、斜交差直角プリズム共振器などである。偏光保持のために、半波長板か、ファラデー回転素子を用いる。また、従来のFP型共振器や平面型リング共振器の光路を交差させ、両者の光路を結合させてもよい。それには、ビームスプリッタを挿入するか、偏光子をビームスプリッタで置き換え、このビームスプリッタで結合する。さらに、上記のレーザ発振器からの左あるいは右回りの旋光性をもつレーザ光を、反射体で共振器内に戻し、そのレーザ発振を抑圧する。 (もっと読む)


少なくとも2つの増幅光ファイバセクション24、56、84、94と、増幅光ファイバセクション24、56、84、94に光ポンピングを行うためのポンピング手段とを含む光増幅器50、66を説明する。2つ以上の増幅光ファイバセクション24、56、84、94を使用中に実質的に直線に保持する光ファイバ支持手段、例えば、基板におけるチャネルまたはチャネル群20、26、42、44、54も設けられる。また、光ファイバ支持手段は、少なくとも2つの増幅光ファイバセクションの間で光を結合するための手段も含む。少なくとも1つの増幅光ファイバ24、56、84、94は、エルビウムドープファイバ増幅器EDFAをもたらすエルビウムドープコアを含むことができる。
(もっと読む)


好ましくは受動モード同期の短パルスレーザ装置(11)であって,レーザ結晶(14)と,ポンプビーム注入ミラー(M1)及びレーザビーム分離ミラーを形成するいくつかのミラー(M1〜M7,OC)とを含む共振器(12)を備え,また共振器長を増加させる多重反射望遠鏡(18)を備える。動作中,共振器(12)は特定波長周波数範囲で正の平均分散を有する。共振器(12)の正の平均分散は,共振器(12)の少なくともいくつかは分散ミラーとして具現化されているミラー(M1〜M7,OC)によって調整される。
(もっと読む)


1 - 18 / 18