【課題】レーザ光源からの光を短パルス又は長パルスのいずれかに切り換えることができるレーザ光源駆動装置、レーザ発振器及びレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】第１電源スイッチ２０がオン、第２電源スイッチ２３がオフの状況下で、スイッチング素子２２がオン／オフされると、ＣＲ回路２７（コンデンサ２６）が充放電されることにより、ＣＲ回路２７を電源としてレーザダイオード７がレーザ光を短パルスで出力する。一方、第１電源スイッチ２０がオフ、第２電源スイッチ２３がオンの状況下で、スイッチング素子２２がオン／オフされると、主電源＋Ｖを電源としてレーザダイオード７がレーザ光を長パルスで出力する。このため、レーザ光のパルス幅を、短パルス又は長パルスのいずれかに切り換えることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】種レーザ光生成部と、光増幅部とを有するＭＯＰＡ方式レーザ光源装置を用い、発振形態をパルス発振あるいは連続発振に切り替えることを可能した前記光源装置のレーザ出力において、連続発振からパルス発振に切り替えた直後の出力レーザ光の第１ピークパワーが、適切に制御されるようにしたＭＯＰＡ方式レーザ光源装置を提供する。
【解決手段】種レーザ光を生成するための種レーザ光源と、前記種レーザ光を増幅するための光増幅器と、種レーザ光源を制御するための制御部とを有し、前記制御部により、種レーザ光源におけるパルス発振状態と連続発振状態の切り替えを制御するとともに、パルス発振状態と連続発振状態とで種レーザ光の平均パワーを異ならせるように制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィにおける集積回路製造のためのレーザ光源として線狭帯域化用途に使用されるＤＵＶガス放電レーザシステムにおける帯域幅の能動制御の技術を提供する。
【解決手段】光源により生成されたレーザ出力光パルスビームパルスの帯域幅を測定して帯域幅測定値を供給する帯域幅測定モジュールと、帯域幅測定値及び帯域幅設定値を受信して帯域幅誤差信号を供給する帯域幅誤差信号発生器と、帯域幅誤差に応答して細かい帯域幅補正アクチュエータ信号及び粗い帯域幅補正アクチュエータ信号を供給する能動帯域幅コントローラとを含むことができる、線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源帯域幅制御方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】不可視レーザ光の照射位置を正確に決めるとともに、可視レーザ光の損失を少なくする。
【解決手段】不可視レーザ光を発生し、デリバリファイバ３４を介して出力するファイバレーザ装置１において、可視レーザ光を発生する可視レーザ光源（可視光ＬＤ４０）と、発生された不可視レーザ光が出力される出力ファイバ３３とデリバリファイバ３４との接合部５１〜５７の近傍のクラッドに、可視レーザ光源４０によって発生された可視レーザ光を導入する導入部（出力ファイバ３３）と、加工対象物に対する不可視レーザ光の照射の位置決めを行う場合に、可視レーザ光源４０を駆動し、可視レーザ光をデリバリファイバ３４のクラッドを介して出射させ、当該加工対象物の加工位置に可視レーザ光を照射する駆動部（制御部２０）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光パルス間で発生するＡＳＥ光の発生を抑制可能なレーザ装置を提供すること。
【解決手段】実施形態のレーザ装置は、第１の波長帯域で発振するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器を所定の周波数でパルス動作させるレーザ駆動部と、前記レーザ発振器の光出力を増幅する光ファイバ増幅部と、前記光ファイバアンプ部の増幅用光ファイバに、第２の波長帯域の励起光を供給する励起光源と、前記増幅用光ファイバに、その励起準位のエネルギーを消費させる第３の波長帯域のエネルギー消費光を前記所定の周波数に同期して供給するエネルギー消費光源と、を有する。 （もっと読む）

【課題】特殊な導光装置を必要とせずデンタルチェアーで２．９μm帯のスムーズな治療を行える信頼性の高い医療用レーザ光源システムを提供する。
【解決手段】医療用レーザ光源システムを、励起レーザ光源装置と、長尺ファイバ導光装置と、小型２．９μｍ帯レーザデバイスとの少なくとも３つの主要要素部品で構成し、且つ、長尺ファイバ導光装置を石英ファイバで、小型２．９μｍ帯レーザデバイスを二六族半導体に遷移金属イオンをドープしたレーザ媒質で構成し、励起レーザ光源装置を、１ｋW以上のピークパワーで１００ｍJ以上の２．９μm帯のレーザ光を発振できる、波長域１．５〜２．２μｍの範囲の励起レーザパルス光を発振する固体レーザ発振器で構成した。さらに、光切替スイッチを搭載することで１台の励起レーザ光源装置より複数のデンタルチェアー治療器に２．９μｍ帯レーザ治療光を提供できる構成とした。 （もっと読む）

【課題】単列構成で、パルスレーザ光の１パルス当り又は単位時間当りのエネルギーを抑えながら大きな出力を達成できる極端紫外光源用ドライバレーザを提供する。
【解決手段】このドライバレーザは、レーザ光をターゲットに照射することによりターゲットをプラズマ化して極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置において用いられるドライバレーザであって、レーザ媒質としてＣＯ_２を用いて、時間と共に強度が増加するパルスレーザ光を生成する発振段レーザ装置と、発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザ光を、時間と共に減少する増幅率で増幅することにより、レーザ光のパルス幅を伸長する少なくとも１つの増幅器を含む増幅段装置とを具備する。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザ発振装置１は、内部にレーザガスを収容する筒状の放電管３と、レーザガスを放電管３内と連通路４ｂとの間で循環させるガス循環通路４と、上記連通路４ｂ内に設けられてレーザガスを循環させるクロスフローファン９とを備えている。上記クロスフローファン９は連通路４ｂ内に斜めに配置されている。これにより連通路４ｂ内はクロスフローファン９によって上流側の流入部４ｂ−ｉと下流側の流出部４ｂ−ｏとに区画され、レーザガスはクロスフローファン内を介して流入部から流出部へ流通されるようになる。
【効果】 クロスフローファン９を連通路４ｂ内に斜めに配置することにより、大きなスペースを必要とすることなくクロスフローファン９を循環通路４内に設けることができる。 （もっと読む）

【課題】製造工数の削減を図り、より生産性に優れたレーザ発振器を提供する。
【解決手段】このレーザ発振器は、ダブルクラッドファイバからなる増幅用光ファイバ１２を備え、マスターオシレータ１から出射されるシード光をシングルモードファイバＳＭＦ１及び光結合部１１を介して増幅用光ファイバ１２の一端部に入射させることにより同シード光を増幅させる。そして、増幅されたレーザ光を増幅用光ファイバ１２の他端部からタップ１４のシングルモードファイバ１４ａ，１４ｂを介して第２の光増幅器ＰＡ２に入射させ、その出射端２からレーザ光を発振する。ここでは、光結合部１１のシングルモードファイバ１１ａ及び増幅用光ファイバ１２に、シングルモードファイバからなる第１及び第２の接続用光ファイバＦ１，Ｆ２をそれぞれ接続する。そして、第１及び第２の接続用光ファイバＦ１，Ｆ２、光結合部１１、及び増幅用光ファイバ１２をモジュール化する。 （もっと読む）

【課題】産業アプリケーションに適する全ファイバ型チャープパルス増幅レーザシステムを構築する。
【解決手段】モジュール式超高速パルスレーザシステムは、モジュールとして構築され、個々に予備テストされた構成要素で組み立てられる。個々のモジュールは、発振器、前置増幅器とパワー増幅器ステージ、非線形増幅器、及び伸長器と圧縮器を含む。個々のモジュールは、一般的に単純なファイバスプライスによって接続される。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を出力する。
【解決手段】マスタオシレータシステムは、光共振器の一方の共振器ミラーとして機能するグレーティングと、前記共振器ミラー間の光路上に配置された光学素子と、前記光学素子の姿勢を調節することで前記光共振器内を進行するレーザ光の前記グレーティングへの入射角を調節する姿勢制御機構と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 ガスレーザ装置は、レーザチャンバ１１と、レーザチャンバ１１の一方の側とその反対側に設置された光共振器と、レーザチャンバ内部に封入されたレーザガスと、レーザガスを励起する励起部と、レーザチャンバに設けられ、入射平面がフッ化カルシウム結晶の（１１１）結晶面に平行であり、励起されたレーザガスから発生するレーザ光の入射平面への入射角度は、２４．９°から６８．７３°の角度範囲内であり、フッ化カルシウム結晶が［１１１］軸を中心に回転され、真性複屈折が極小となる領域に設置される２つのウィンドウ１２，１３と、を備える ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】励起光や自然放出増幅光による光学部品や光ファイバの熱損傷が抑制されたファイバレーザ装置を提供する。
【解決手段】シード光源１０と、プリアンプ部２０と、メインアンプ部３０と、バッファ光ファイバ１６と、を有する。プリアンプ部２０は、第１の希土類元素が添加された第１の光ファイバ２２を有し、メインアンプ部３０は、第２の希土類元素および前記第１の希土類元素が添加された第２の光ファイバ３２を有する。バッファ光ファイバ１６は、プリアンプ部２０とメインアンプ部３０との間に配設され、前記第２の希土類元素が添加される。第２の光ファイバ３２内の前記第２の希土類元素に蓄積されたエネルギーにより放出された自然放出増幅光と、吸収されずに残った励起光とが、バッファ光ファイバ１６の前記第２の希土類元素に吸収される。 （もっと読む）

【課題】安定したパルスレーザ光のバーストパルスを生成する。
【解決手段】レーザ装置は、所定繰返し周波数のパルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも１つの増幅器と、前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも１つの光シャッタと、前記光シャッタを開閉動作させるコントローラと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光のスペクトル形状を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、少なくとも３つの波長ピークを含むスペクトルを持つレーザ光を出力可能なマスタオシレータと、各波長ピークのエネルギーを制御可能な多波長発振制御機構と、前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器による検出結果に基づいて前記多波長発振制御機構を制御する制御部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】マスタクロックジェネレータと、光発振器と、光増幅器と、前記光増幅器に光学的に接続された励起半導体レーザと、前記半導体レーザの駆動部とを備えた高パワーパルス光発生装置において、出力パルス光が被照射体で反射し、戻り光として高パワーパルス光発生装置に入射して励起半導体レーザに到達した際の励起半導体レーザの破損を防ぐ。
【解決手段】マスタクロックジェネレータからのマスタクロックと、光発振器からの発振パルス光および駆動部からのパルス状駆動電流との同期をとるとともに、駆動電流パルスの立ち上がりのタイミングを制御するための制御部を設け、戻り光が励起半導体レーザに到達した際に、前記励起半導体レーザがレーザ発振状態にならないように制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 好ましくない非線形性と利得飽和とが始まる前に、光ファイバー増幅器にエネルギーを蓄積する能力を大きくし、単一モード（ＳＭ）ファイバーで達成できるより大きいピーク強度およびパルス・エネルギーを発生させること。
【解決手段】 本発明の光学増幅装置は、回折限界に近いモードを持つ入力ビ−ムを発生させるレーザー源としてのファイバー発振器１０と、多重モードファイバー増幅器１２と、モード変換器１４と、ポンプ源２０とを有する。モード変換器１４は、入力ビームを受けて多重モードファイバー増幅器１２の基本モードに整合するように入力ビームのモードを変換し、多重モードファイバー増幅器１２に入力するモード変換された入力ビームを作り出す。ポンプ源２０は、多重モードファイバー増幅器１２を光学的にポンピングし、本質的に基本モードで増幅された強力な出力ビームを生成する。 （もっと読む）

【課題】モジュールの設置及びメンテナンスをしやすくする。
【解決手段】レーザ光を発振する発振器と、発振器を支持する支持部とを含む第１のモジュールと、レーザ光を伝送するビーム伝送器と、ビーム伝送器を支持する支持部とを含む第２のモジュールと、レーザ光を増幅する増幅器と、増幅器を支持する支持部とを含む第３のモジュールと、のうちの少なくとも２つのモジュールと、少なくとも２つのモジュールが載置されるフレームであって、少なくとも２つのモジュールの各々につき、支持部が載置されるマウントを含むフレームと、を含んでいてもよい。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】波長変換装置は、入射する第１のレーザ光を第２のレーザ光に波長変換して出力する波長変換部と、前記波長変換部を当該波長変換部の少なくとも１つの面側から冷却する冷却機構と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】出射するレーザ光の副波長帯成分を低減することができるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１０は、信号用レーザ光を出射する種光源２１と信号用レーザ光を増幅する予備増幅部２２とを備えた本体ユニット１１と、本体ユニット１１に接続され、予備増幅部２２にて増幅された予備増幅光を伝送するファイバケーブル１２（伝送用ファイバ３７）と、ファイバケーブル１２に接続され、該ファイバケーブル１２にて伝送されたレーザ光Ｌを外部に出射するレーザ出射部１３ａを有するヘッドユニット１３とを備える。そして、ヘッドユニット１３には、レーザ光Ｌの光軸上のファイバケーブル１２の出射側端部とレーザ出射部１３ａとの間にバンドパスフィルタ４８が設けられる。 （もっと読む）