【課題】マスタクロックジェネレータと、光発振器と、光増幅器と、前記光増幅器に光学的に接続された励起半導体レーザと、前記半導体レーザの駆動部とを備えた高パワーパルス光発生装置において、出力パルス光が被照射体で反射し、戻り光として高パワーパルス光発生装置に入射して励起半導体レーザに到達した際の励起半導体レーザの破損を防ぐ。
【解決手段】マスタクロックジェネレータからのマスタクロックと、光発振器からの発振パルス光および駆動部からのパルス状駆動電流との同期をとるとともに、駆動電流パルスの立ち上がりのタイミングを制御するための制御部を設け、戻り光が励起半導体レーザに到達した際に、前記励起半導体レーザがレーザ発振状態にならないように制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 高出力レーザー光を空間に出射し、目標に照射するレーザ照射装置においては、大気中にレーザ光を伝播させるため、大気の揺らぎの影響を補正する大気補償装置が必要であった。
【解決手段】 照射対象にレーザ光を照射し、照射対象表面にて反射した反射光を反射光受信器にて受信し、大気補償信号処理部にて大気による歪みを受けた光波面を検出する。大気補償信号処理部では検出した波面を反転させた波面形状を出力させるよう制御信号を各光移相器へ出力し、信号を受けた各光移相器が各光路のレーザ光位相を変化させることにより、合成後の高出力レーザ光波面形状が変化し、照射対象へ照射される。この制御を繰り返すことによって大気の影響を補正し、常に照射対象上でレーザ光の集光スポットの拡大を抑制することができ、遠距離における対象にも十分な照射効果を与えることができる。 （もっと読む）

極紫外光システムは、増幅光ビームを生成する駆動レーザシステムと、ターゲット位置でターゲット材料を生成するように構成されたターゲット材料送出システムと、駆動レーザシステムから出射された増幅光ビームを受け取り、かつ増幅光ビームをターゲット位置に向けて誘導するように構成されたビーム送出システムと、計測システムとを含む。ビーム送出システムは、ターゲット位置に増幅光ビームを集束させるように構成かつ配置された収束レンズを含む。計測システムは、収束レンズから反射した増幅光ビームの一部分と収束レンズから反射した案内レーザビームの一部分とを集光するように構成された集光システムを含む。集光システムは、これらの部分を光学的に分離するように構成された二色性光デバイスを含む。 （もっと読む）

【課題】高出力化を実現するレーザー光源装置を提供する。
【解決手段】本発明のレーザー光源装置は、基台１１と、発光部２２を有する第１発光素子（第１半導体レーザー素子１２）と、発光部２３を有する第２発光素子（第２半導体レーザー素子１３）と、第１発光素子と第２発光素子との間の光路上に配置され、各発光素子から射出された基本波長のレーザー光の少なくとも一部を所定の変換波長のレーザー光に変換する波長変換素子１６と、基台１１に支持され、波長変換素子１６を保持する保持部材２６とを備え、第１発光素子及び第２発光素子は、互いに一方の発光素子の発光部から射出されたレーザー光が他の発光素子の発光部に入射するように配置され、保持部材２６は、基台１１に対して、互いに直交する任意の２つの軸を中心とする各回転動作における回転角度が調整可能とされている。 （もっと読む）

【課題】直線偏光レーザ光で異方性を生じない加工を、簡素な構成で実現すること。
【解決手段】偏波面を直線に保持した直線偏光レーザ光を照射する偏波面保持ファイバ２が設けられた加工ヘッド３と、偏波面保持ファイバ２から出射された直線偏光レーザ光が照射される被加工物を載置する加工テーブル４と、直線偏光レーザ光の光軸Ｒに交差する二次元方向に、加工ヘッド３と加工テーブル４とを相対移動させる移動手段８と、直線偏光レーザ光の光軸Ｒを中心に偏波面保持ファイバ２を回転させる回転手段と、移動手段８の駆動に応じて前記回転手段を駆動し、加工ヘッド３と加工テーブル４との相対的な移動方向に対して直線偏光レーザ光の偏光方向を一定に維持する制御手段５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】放電時のノイズで過電流と誤判断し、高電圧電源４を構成するスイッチング素子のゲート信号などを誤って停止させ、レーザ発振装置およびレーザ加工機の継続使用を阻害するという課題を有していた。
【解決手段】放電電流比較器１１の比較結果において放電電流検出器９の検出値Ｃが放電電流下限設定器１０の設定値Ｄ以下の場合で、かつ出力電流比較器７の比較結果において出力電流検出器５の検出値Ａが出力電流上限値設定器６の設定値Ｂ以上の場合に、高電圧電源の出力を停止する。 （もっと読む）

【課題】本発明のＥＵＶ光源装置は、熱によって変化する、レーザ光の波面を適切に補正する。
【解決手段】レーザ発振器２０から出力されるレーザ光を増幅させるための増幅システム３０内に、少なくとも一つ以上の波面補正器３４と、センサ３６とを設ける。センサ３６は、レーザ光の角度（方向）や波面の曲率の変化を検出して出力する。波面補正コントローラ（WFC-C）５０は、センサ３６の計測結果に基づいて、波面補正器３４に信号を出力する。波面補正器３４は、波面補正コントローラ（WFC-C）５０からの指示に従って、レーザ光の波面を所定の波面に修正する。チャンバ１０内にレーザ光を供給する集光システム４０内にも、別の波面補正器及びセンサを設けることができる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率を悪化させず、かつ、放電管の寿命が短くなることなく、放電管における放電を確実に起こさせること。
【解決手段】レーザ発振装置は、レーザ媒質２０と、レーザ媒質２０に励起光Ｅを照射する放電管１と、放電管１へ電力を供給する電源１０と、を備えている。電源１０は、放電管１にパルス状のプリパルス電力を印加した後、放電管１にプリパルス電力よりも大きな加工電力を印加して励起光Ｅを発生させ、レーザ媒質２０からレーザ光Ｌを発振させる。 （もっと読む）

【課題】レーザ持続時間が異なる場合であっても、レーザを安定して出力可能なミラー角度を設定する。
【解決手段】放電空間の両端に配置されたミラー（６、８）によりレーザを発振するレーザ発振器（１０）が、レーザ発振器を動作させるプログラムからレーザ出力指令と持続時間指令とを読取る読取手段（３５）と、読取手段により読取られたレーザ出力指令と持続時間指令とに基づいてミラーの角度指令値を決定するミラー角度決定手段（３６）と、ミラー角度決定手段により決定されたミラーの角度指令値に応じてミラーの角度を調節するミラー角度調節手段（１６、１８）とを含む。さらに、レーザ発振器を立上げてからレーザを出力した時間を積算してレーザ出力積算時間を算出する積算手段（２０）を具備し、積算手段により算出されたレーザ出力積算時間を持続時間に加算して新たな持続時間としてもよい。 （もっと読む）

【課題】
レーザの高出力化及び高繰り返し化を実現する２ステージレーザのパルスエネルギー制御を高精度に行い、パルスエネルギーを安定化させる。
【解決手段】
制御部は、今回パルスで動作させる増幅段の励起強度（充電電圧）を、今回パルスで目標とするパルスエネルギーと、前回パルスまでにその増幅段を動作させて出力したパルスエネルギーと、そのパルスエネルギーを出力したときにその増幅段に供給された励起強度と、を用いて求め、求めた励起強度が今回パルスで動作させる増幅段に供給されるように制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ装置を停止させ分解し、測定プローブを定期的に清掃する必要がなく、当該測定プローブによって冷却液の電気抵抗を常時正確に測定することができ、フィルタやイオン交換樹脂のメンテナンスを適切に行えるとともに、レーザ装置を省電力、小型化することができる。
【解決手段】レーザ装置は、レーザ媒質３２と、当該レーザ媒質３２を励起してレーザ光Ｌを発生させる励起光源３１と、レーザ媒質３２および励起光源３１を収容するとともに、冷却液Ｗが充填された励起チャンバ３５と、を備えている。励起チャンバ３５には、励起チャンバ３５から排出された冷却液Ｗを再び励起チャンバ３５に戻す循環ライン１が連結され、この循環ライン１には、冷却液Ｗの電気抵抗を測定する測定プローブ１０が設置されている。この測定プローブ１０は抗菌性を有している。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ自体に断線検知機能を持たせたファイバレーザ装置用光ファイバを提供する。
【解決手段】中実のコア２とクラッド３を備えて高出力のレーザ光を伝送するファイバレーザ装置用光ファイバ１において、クラッド３に隣接して金属層６が形成されているものである。 （もっと読む）

【課題】出射される基本波の発振波長を切り替えることができるファイバ装置、このファイバ装置と波長変換素子を組み合わせた波長変換装置及び、この波長変換装置を光源として用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】出射されるレーザの基本波５の発振波長を切り替え可能なファイバ装置である。レーザ活性物質を含み、少なくとも１つのファイバグレーティング２、４が形成されたファイバ３を有するレーザ共振器と、ファイバ３に励起光を入射するレーザ光源１とを備え、レーザ共振器から出射されるレーザの基本波５の発振波長が切り替え可能となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】安定かつ高出力でレーザ光を出力することが可能な技術を提供する。
【解決手段】レーザ発振器１は、レーザ光１０１の発振出力を制御するＱスイッチ素子５を有している。レーザ増幅器１１は、レーザ発振器１から出力されるレーザ光１０１を増幅してレーザ光１１１として出力する。レーザ増幅器１１は、レーザ光１１１の出力を制御するＱスイッチ素子１５を有している。トリガ信号発生部２１は、トリガ信号ＴＲ，ＤＴＲをＱスイッチドライバ２４，２５にそれぞれ出力する。Ｑスイッチドライバ２４はトリガ信号ＴＲが入力されるとＱスイッチ素子５をオン状態にし、Ｑスイッチドライバ２５はトリガ信号ＤＴＲが入力されるとＱスイッチ素子１５をオン状態にする。トリガ信号発生部２１は、トリガ信号ＴＲの出力タイミングをトリガ信号ＤＴＲの出力タイミングよりも早くする。 （もっと読む）

【課題】使用時におけるレーザ光線の誤った照射によりユーザの手が負傷するおそれを減少させる。
【解決手段】レーザ光線（１８）を生成するレーザ（１６）用の制御システムは、ユーザの手（２６）の位置を感知するセンサ（４６）と、感知されたユーザの手（２６）の位置に基づいてレーザ（１６）の動作を制御する制御装置（２０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバ伝送方式においてレーザ加工ヘッド側のレーザ出力状態や加工状態等をインライン方式でモニタリングしてレーザ加工の生産管理、品質管理、生産効率を向上させること。
【解決手段】 レーザ加工機本体１０内のレーザ発振器１０ａで生成されたレーザ光ＬＢは、光ファイバ１４を通ってレーザ加工ヘッド１２より被加工物Ｗの加工点ＷＰに向けて集光照射される。レーザ加工ヘッド１２の上面には、レーザ伝送用の光ファイバ１４、モニタリング用のレーザ光検出器２０、反射光検出器２２及びＣＣＤカメラ２４が取り付けられている。モニタ装置本体１６は、レーザ光検出器２０、反射光検出器２２及びＣＣＤカメラ２４より光強度検出信号Ｓ_L，Ｓ_R及び画像信号Ｓ_Vを受け取り、、加工点ＷＰにおけるレーザ光ＬＢのレーザ出力状態や、加工点ＷＰにおける加工状態等に関するモニタリング情報をディスプレイ１６ｂに表示出力する。 （もっと読む）

【目的】 高精度の安定化レーザ装置には制御回路にコンパレータと積分器から構成される補正装置がついていた。この補正装置は積分器による大きな遅れ要素のため必ず発振を起こすので信号のラインに交流やランダムノイズを重ね発振を抑えていたが重ね方が難しく、発振を止めるための素子の選定などに多大の時間を要していた。さらに重ね方に不合理性がありそのため、制御の目的値の誤差および誤差の分散（ばらつき）が大きかった。発振を止めるに要する時間を短縮すると共に、上記制御の目的値の誤差および誤差の分散を小さくする。
【構成】 上記補正装置を振幅が可変である正弦波発振器とオフセットが小さい演算増幅器と正確な限界電圧を持つ電圧リミッターとを組み合わせて合成増幅器を作りこの合成増幅器の出力を積分する構成とした。高精度の安定化レーザ装置が耐えられる環境温度の範囲を拡げるため、同じような補正装置を二個用いた。 （もっと読む）

【課題】 フェムト秒レーザーの出力を安定化させる。
【解決方法】
再生増幅器と光検出器と制御部分と可変減衰器を有するフェムト秒レーザー装置において、可変減衰器は再生増幅器の出力光を制御できるように設置され、該光検出器は該再生増幅器と該可変減衰器の間に設置されており、該光検出器は該再生増幅器の出力光を検出し検出結果を制御部分に伝送し、該制御部分は所定の目標値と該検出結果との差に応じて該可変減衰を制御して出力を安定させるレーザー装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成により、励起光源の寿命推定可能なレーザ発振器を提供する。
【解決手段】励起光源１０と、励起光源１０に電流を供給する電源３０と、励起光源１０から照射された励起光によってレーザ光を出力するレーザ結晶２０と、レーザ結晶２０により生じたレーザ光を受光し、そのレーザ光の強度に対応した信号を出力するパワーセンサ４０と、レーザ発振器の稼動時間を保存するメモリ６０と、パワーセンサ４０が出力した信号が予め定められた条件を満たす場合に電源３０が励起光源１０に供給している電流値と、メモリ６０に保存された稼動時間とを用いて、励起光源１０の寿命を推定するプロセッサ５０とを有するレーザ発振器（１００、２００、３００）を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プッシュプル型光学的ポンピングの物理現象に基づく自己変調レーザーシステムに関する原子時計や原子磁力計を作るための方法と装置を提供する。
【解決手段】原子蒸気セルは、レーザーキャビティー内に設置されることを必要としており、適切な条件下で、自発的なプッシュプル型光学的ポンピングがレーザーキャビティー内で起こる。これにより、レーザービームは超微細共鳴振動に変調される。高速光検出器を有することで、変調レーザー信号は電気信号に変換され、それにより、原子時計の時刻を刻む信号または磁力計の信号として用いられる。自己変調レーザーシステムは超微細共鳴振動に発信器の振動を同期させるために局部発振器およびマイクロ波回路を使用せず、それゆえ従来のシステムよりコンパクトにでき、少ない電源消費にすることができる。本発明は、時間測定および磁場測定の応用として役立つ。 （もっと読む）