【課題】 引出し電極と圧電素子とを一以上積層した積層圧電体群をアクチュエータとしても、力検出センサとしても機能できるようにする。
【解決手段】 給電用の電極２と、共通電極６と、信号検出用の電極８と、給電用の電極２と共通電極６との間に接合された第１の圧電素子３と、共通電極６と信号検出用の電極８との間に接合された第２の圧電素子７とを備え、給電用の電極２と共通電極６との間には所定の電圧が供給され、検出用の電極８からは、外力に基づく力検出信号が取り出されるものである。この構成によって、圧電バイモルフ型のアクチュエータと、力検出センサとを複合した圧電複合装置を提供することができる。 （もっと読む）