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Fターム[5G067DA00]の内容

静電気の除去 (2,756) | 静電気の除去 (1,623)

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【課題】 ガラス基板やウェーハの表面の帯電を効果的に除去する除電装置を提供する。
【解決手段】 除電装置7は搬送方向と直交する方向を長手方向としたスリット状の開口を有するノズル8をガラス基板Wの上方と下方に配置して構成され、スリット状の開口を分離板9で2つに分け、一方を帯電した微細な水滴mの噴出口10とし、他方を除電を行った後の水滴mの吸引口11とし、噴出口10の上流側には粒径10μm以下の水滴を生成する超音波振動装置と、この超音波振動装置によって生成された微細な水滴を帯電させるための電極が配置されている。 (もっと読む)


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