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Fターム[5G303DA09]の内容

無機絶縁材料 (13,418) | 製造方法(処理方法)、製造装置 (468) | 製造装置 (1)

Fターム[5G303DA09]に分類される特許

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【課題】ウエハを加熱した後に冷却する際に、ウエハが急冷になることを防止し、ウエハの品質を保持するとともに、冷却時間を制御する。
【解決手段】ウエハ1に対して加熱しながら分極処理を行った後、ウエハ1を冷却する際、先ず、ヒータ23をオンにした状態で、冷却媒体が供給されていない冷却ブロック30を上昇させてヒータ23に接触させる。数十秒後、ヒータ23をオフにし、冷却媒体供給源5から供給パイプ310及び弁32を介して冷却媒体を冷却ブロック3に供給し、ヒータ23、スペーサ22及び一対の熱伝達板20,21を介してウエハ1を冷却する。供給量制御部42により、熱電対24で測定された温度から温度勾配が計算され、設定値を超える場合、供給パイプ310の弁32を閉め、設定値以下の場合、弁32を開ける。最後に、予め決められた温度まで下がると、空気又は窒素を供給し自然放冷を行う。 (もっと読む)


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