コーティングされるべき基板(１１６)上に照射するイオン源(１３２)或いは(２１８)が、ＭＯＣＶＤ、ＰＶＤ或いは超伝導体素材の調整のためのその他の処理を強化するのに用いられる。
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【課題】従来の方法で前駆溶液を作るのに必要なコストよりも遥かに安価な前駆溶液を製造できる超伝導酸化物を用いる有機金属蒸着用の前駆溶液の製造方法、及びこのような前駆溶液を用いて超伝導伝導体を作る製造方法を提供する。
【解決手段】超伝導原料粉末をＴＦＡ溶液に溶かした後に熱板内で溶融させる段階と、粉末が完全に溶解されて溶液が透明になると前記熱板内の温度を上げて溶液を蒸発させ、粘性のあるゼリー状になるまで加熱を続ける段階と、前記溶液の流動性が完全になくなると加熱を中断して前記溶液を冷却する段階と、常温で固まったゼリー状の化合物をメチルアルコールに溶かして超伝導原料粉末-ＴＦＡ前駆溶液を得る段階と、を含む超伝導酸化物を用いる有機金属蒸着用の前駆溶液の製造方法；及びこのような前駆溶液を用いて超伝導伝導体を作る製造方法である。 （もっと読む）

酸化物膜を成長させるための方法であって、中間酸化物材料の膜（１２０）の表面上に反応ガス混合物（６０，７０）を入射することと、膜（１２０）の表面に隣接する領域（８０）から生成ガスの少なくとも一部を除去することとを含む。反応ガス混合物（６０，７０）は、膜（１２０）の表面に対して少なくとも約５度の角度で膜（１２０）の表面に入射し、膜は、最大約７００トル（９１ｋＰａ）の全圧力を有するリアクタ（１００）の一部（１５０，１６０，１７０）内に位置している。酸化物は、バッファ材料および超電導体材料からなるグループから選択される。
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