【課題】単一又は複数の検査パラメータを変更するきわめて単純で直感的な方法を提供するグラフィックユーザインタフェースを提供する。
【解決手段】グラフィック表示は、設定された変更が最後の「Ｎ」個の部品を検査する際に適用されたとしたら監視又は検査結果がどのように変化するかを即時に示す。この遡及的でグラフィックな「見直し」は、即時の再検査を引き起こし、もし将来の生産が最近の過去の生産と類似している場合はに、将来の検査結果又はプロセス監視結果がどのようになるかを容易に推定できる。再検査の結果は、視覚化と共に即時に示され、理解と設定の最適化を容易にする。また、視覚化によって、それぞれの特定の検査に関連する他のデータが選択的に表示され、生産プロセスの追跡と最適化が容易となる。 （もっと読む）

【課題】生産効率を高めることができる、検査装置、処理装置、情報処理装置、対象物製造装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】検査装置は、検出部と、送信部と、受信部とを具備する。前記検出部は、処理装置により処理された対象物に不具合があるか否かを検出する。前記送信部は、前記検出部により検出された不具合情報を前記処理装置に送信する。前記受信部は、前記不具合情報に対応した改善策情報に基づいて前記処理装置により改善処理が行われ、前記改善処理の内容情報が前記処理装置から送信された場合、前記送信された内容情報を受信する。 （もっと読む）

【課題】流量制御バルブに生じている異常を高い信頼性とともに診断することができ、例えば、流量制御バルブに異常が生じた場合には早急に適切なメンテナンス等を行うことができる流量制御装置及びそれに用いられる診断装置又は診断用プログラムを提供する。
【解決手段】第２測定流量値又は測定圧力値に基づいて第１測定流量値の異常を診断する第１測定流量診断部５と、前記第１測定流量診断部５が、前記第１測定流量値に異常が無いと診断している場合に、流量制御バルブ２の異常を診断するバルブ診断部６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量測定機構、又は当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置に流路ＭＬ上に設けられた流体抵抗４と、前記流体抵抗４の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ３と、前記流体抵抗４に対して前記圧力センサ３が設けられていない側の圧力を算出する圧力算出部６と、前記測定圧力値と、前記圧力算出部６で算出された算出圧力値と、に基づいて流量を算出する流量算出部７と、前記測定流量値と、算出流量値と、に基づいて当該測定流量値の異常を診断する異常診断部８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高い確率で制御装置の異常を予知する技術を提供する。
【解決手段】監視装置（１１５）は、データ受信部（１０３）、受信時刻記憶部（１０６、１０７）、および状態情報算出部（１０９）を有している。データ受信部は、第１の制御装置から出力されるデータを受信する。受信時刻記憶部は、データ受信部がデータを受信した受信時刻を蓄積する。状態情報算出部は、受信時刻記憶部に蓄積された受信時刻に基づいて、第１の制御装置の状態に関する情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】
警報の種類毎に対応を分けることによって、効率良く監視及び故障復帰を行うことがで
きる監視制御システムを提供する。
【解決手段】
監視制御システムは、監視対象機器の異常情報を取得する異常情報取得手段と、異常情
報の内予め定められた種別の異常情報を第１の所定時間経過後に優先順位の高い端末に監
視対象機器の異常を通知する第１の異常情報通知手段と、第１の異常情報通知手段により
端末に通知されてから第２の所定時間経過後に故障復帰されているか否かを判断する故障
復帰判断手段と、故障復帰判断手段により故障復帰していないと判断されたとき、先に通
知された端末の次に優先順位の高い端末に監視対象機器の異常を通知する第２の異常情報
通知手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】複数のアラーム情報に対するリカバリ動作を効率的に実行することが可能な基板処理装置等を提供する。
【解決手段】複数のモジュール２を備えた基板処理装置１において、検出部４１ａ〜４１ｄは、モジュール２に対してインターロックをかける要因を検出して検出信号を出力し、インターロック管理部４２は前記検出信号を受け取って、前記要因を検出したことの親アラーム情報を出力すると共に、受け持ち範囲のモジュール２に対してインターロック動作のための信号を出力する。モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃは前記検出信号に基づいてモジュール２に対してインターロック動作を行い、インターロックが作動したことを子アラーム情報として出力する。アラーム管理部４０は、親アラーム情報及び子アラーム情報との親子関係を判断し、親子関係にあるアラーム情報同士についてはグループ化された表示を行う。 （もっと読む）

【課題】管理対象データに基づいて加重割合自体を可変することで、即応性を維持しつつ適切に異常を検出する。
【解決手段】異常検出装置１００の重み付け実行部１３０は、管理対象データと、管理対象データの移動平均値との差分の絶対値を引数とする任意の次数の単調増加関数によって、移動平均値における管理対象データの加重割合に重み付けを行う。移動平均値導出部１３２は、重み付けが行われた加重割合に基づいて管理対象データの移動平均値を導出する。累積和導出部１３４は、管理対象データと導出された移動平均値との差分に基づく値を、所定の上限値Ｍを上限として累積した正の累積和Ｓ_Ｈ（ｉ）、および、所定の下限値Ｎを下限として累積した負の累積和Ｓ_Ｌ（ｉ）のいずれか一方または両方を導出する。そして、異常判定部１３６は、累積和に応じて異常か否か判定する。 （もっと読む）

【課題】故障設備の近くに大容量の通信回線を敷設することなく、設備情報を短時間に携帯情報端末に伝送する故障復旧支援システムを提供する。
【解決手段】製鉄設備の故障を検出して故障信号を発生する故障検出手段と、前記故障信号を受信して故障設備情報を生成する故障情報処理手段と、製鉄所内の各工場の各設備部位に対応した設備情報を予め格納しておくデータ蓄積手段と、前記故障設備情報に基づいて故障した設備部位を判断し故障設備情報送信を発令する設備監視手段と、携帯情報端末を有し、データ蓄積手段と前記携帯情報端末との間は通信容量が１００Ｍｂｐｓ〜１０Ｇｂｐｓである通信回線で接続可能であり、設備監視手段の指令により故障設備情報の全てをデータ蓄積手段から携帯情報端末に短時間に伝送する故障復旧支援システム。 （もっと読む）

【課題】制御装置と情報表示装置とからなる制御システムにおいて、コントローラで実行しているプログラムの実行ブロックと関連付けた状態で駆動軸の負荷トルク情報を管理・取得し、それらの情報をプログラム表示に対応づけて表示させることにより、プログラムのどの部分の動きを行っている際に大きな負荷がかかっているのかを把握する。
【解決手段】コントローラで実行しているプログラムの現在実行ブロックに関連付けて駆動軸の負荷トルク情報を取得・管理するようにすると共に、任意の制限トルクを設定し、その設定値を超える箇所に関してはプログラムの状態表示を変更する。 （もっと読む）

【課題】
保守対象装置の不具合発生時に、保守支援Ｔｒｅｅを基に期待作業時間あるいは期待コストの算出を行い、最適な作業手順を提示する保守支援システムを提供する。
【解決手段】
本発明の保守支援システムは、不具合現象に対して復旧のために必要な処置作業の候補およびそれを特定するための診断作業の情報を含む保守支援Ｔｒｅｅ情報を管理する保守支援Ｔｒｅｅ情報管理部と、
上記保守支援Ｔｒｅｅ中において、過去の事例数や保守作業員の経験値や診断作業や各作業にかかるコスト情報を使い、作業コストあるいは作業時間の期待値が最小となる作業の開始点を算出する最適作業算出部と、
保守対象装置の復旧が完了するまで上記最適作業の算出を繰返すために、実行した作業の結果を反映して上記保守支援Ｔｒｅｅ情報を更新する診断作業実行部と、
を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被制御装置を模擬した装置模擬プログラムをダウンロードすることなく、制御プログラムの試験を可能とする。
【解決手段】 被制御装置を模擬した装置模擬プログラム30を有するパソコン３に接続されたコントローラ２に、被制御装置を制御する制御プログラム20、被制御装置に対して実際にデータを入出力する実Ｉ/Ｏ25、被制御装置に対して仮想的にデータを入出力する仮想Ｉ/Ｏ24、装置模擬プログラム30及び制御プログラム20のいずれか一方からの指令に応じて実Ｉ/Ｏ25と仮想Ｉ/Ｏ24とを切替えるＩ/Ｏ切替部23を備え、仮想Ｉ/Ｏ24からの指令を実行して値変化イベントが発生した場合、Ｉ/Ｏ切替部23が装置模擬プログラム30に値変化イベントを送信する。 （もっと読む）

【課題】制御プログラムの開発を効率的に行なうことができる開発支援方法を提供する。
【解決手段】開発支援方法は、実装基板製造装置に組み込まれた制御プログラムによって出力されるログをログファイルから読み出すログ取得ステップ（Ｓ１１）と、駆動部の状態を、ログ取得ステップで取得されたログに記述されている順に遷移させるようなテストシナリオを作成するテストシナリオ作成ステップ（Ｓ１２）と、テストシナリオ作成ステップで作成されたテストシナリオに沿って、制御プログラムをテスト実行するテスト実行ステップ（Ｓ１３）とを含む。 （もっと読む）

【課題】対象設備を複数備える装置構成においても、必要最小限の計測器により、リアルタイムに対象設備の稼動状態を診断することを目的とする。
【解決手段】全ての対象設備が消費する合計消費エネルギーおよび各対象設備の製造個数から、１時間あたりの各対象設備の固定エネルギーおよび比例エネルギーを算出し（ステップ２）、それらを用いて対象設備の稼動状態を診断することにより（ステップ３）、対象設備を複数備える装置構成においても、必要最小限の計測器により、リアルタイムに対象設備の稼動状態を診断することができる。 （もっと読む）

【課題】グラフ上において、任意の基準点で複数の時系列データを容易に合わせる。
【解決手段】時系列データから抽出した部分時系列データを経過時間に基づいてプロットした比較グラフを作成し、ユーザからの比較グラフ上の所定の系列を経過時間軸方向に移動させる指示に基づいて、上記系列に対応する部分時系列データの経過時間をシフトし、シフトした経過時間に基づいて、部分時系列データをプロットして比較グラフを更新する。 （もっと読む）

【課題】あるセンサから故障などの異常データが検知された場合であっても、システムの一部又は全部を停止させずに稼動を確保する。
【解決手段】複数のセンサ４と、プロキシ３と、サーバ５とを備えるシステムに適用される方法であり、複数のセンサが、各対象を計測し、各一次計測値を得るステップと、サーバが、前記各一次計測値に基づいて、それらの相関を演算するステップと、プロキシが、前記各一次計測値と所定の関数とに基づいて、二次計測値の実測値を演算するステップと、サーバが、所定のタイミングで複数のセンサのうち一部のセンサを順次検証するステップと、サーバが、複数のセンサのうち検証対象の前記一部のセンサを除いた残りのセンサから得られる一次計測値と、相関とに基づいて、二次計測値の予測値を演算するステップと、少なくとも一部のセンサの検証中は、二次計測値の実測値に代わり、予測値を出力するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】計測データを集計するためのパラメータを、過去および未来を含む任意のタイミングについて設定することができるデータロガーシステムを得る。
【解決手段】計測されたプロセスデータを所定の周期で収集する計測データ収集部１１と、計測データ収集部１１で収集された計測データを、時系列に保存する計測データ保存ＤＢ１２と、計測データを集計するためのパラメータと、パラメータを有効にする期間を示す時系列情報とを併せて設定するパラメータ設定部１３と、パラメータに時系列情報を付加して保存するパラメータ保存ＤＢ１４と、計測データ保存ＤＢ１４に保存された計測データを、パラメータ保存ＤＢ１４に保存され、当該計測データの時系列に該当するパラメータに従って集計するデータ集計部１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】制御対象となる実機を用いることなく、制御プログラムのデバッグや動作確認が可能な制御プログラム開発支援装置を提供する。
【解決手段】
制御プログラムを実行するシミュレーション部２０と、コントローラユニット５０がアクセスするユニットの入力信号、出力信号およびバッファメモリの値の変動を模擬して記述するＩＯシナリオプログラム１２と、その起動条件の設定を行うＩＯシナリオ設定プログラム１３を実行するＩＯシナリオ実行部３０とを備え、シミュレーション部２０は、制御プログラムを実行して、仮想入力信号２３ａ、仮想出力信号２３ｂおよび仮想バッファメモリ２３ｃを作り出すデバイスシミュレーション部２３を有し、ＩＯシナリオ実行部３０は、トリガアクションの通知を受けて、ＩＯシナリオプログラム１２に基づいて、仮想入力信号２３ａ、仮想出力信号２３ｂおよび仮想バッファメモリ２３ｃの値の、読み出し、書き込み動作を行う。 （もっと読む）

【課題】ＦＡシステムや製造ラインなどの制御装置において、制約条件を満たした制御パラメータのパラメータ値の設定が容易な制御パラメータ設定装置を提供する。
【解決手段】複数の制御パラメータのパラメータ値を設定するパラメータ値設定部６と、パラメータ値設定部６を介して、複数の制御パラメータのうち、何れかが変更された場合に、互いに関連する制御パラメータ間で満たすべき制約条件を満たさない制御パラメータが少なくなるように個々のパラメータ値を確率的に変更することで、最終的に全ての制約条件を満たすパラメータ値の組を求める確率的制約充足解法を実行する確率的制約充足エンジン部５とを備え、確率的制約充足エンジン部５は、変更された制御パラメータに関連する他の制御パラメータのパラメータ値を変更する際には、所定の評価関数の評価値を増加させるように変更する。 （もっと読む）

【課題】操作性を向上したＰＬＣシステムを提供することである。
【解決手段】機器の動作を制御するＰＬＣ３２と、ＰＬＣ３２と通信回線を介して接続され、ＰＬＣ３２の保守を行う保守装置であるパソコン３４とを備えるＰＬＣシステム３０である。ＰＬＣ３２は、ＰＬＣ３２の動作状態に関する情報であって、ユーザがそのまま認識可能な情報を記憶する情報記憶手段と、ＰＬＣ３２の所定の動作状態を検出した際に、情報記憶手段により記憶した情報の中から、ＰＬＣ３２の所定の動作状態に該当する該当ＰＬＣ情報を発生異常情報格納領域３８ａへ格納する該当ＰＬＣ情報格納手段とを含む。パソコン３４は、該当ＰＬＣ情報格納手段により格納された該当ＰＬＣ情報を取得する該当ＰＬＣ情報取得手段と、該当ＰＬＣ情報取得手段により取得した該当ＰＬＣ情報を表示する情報表示手段とを含む。 （もっと読む）