【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台１１に設けられたレール１２の上にそれぞれ摺動可能に立設された第１のスライド部材２１と第２のスライド部材２２、但し、第１のスライド部材には、レールとの係合により第１のスライド部材を一時的に固定することのできる第１の仮固定機構３１が設けられており、また第２のスライド部材には、斜面２２ｃが設けられている；第１のスライド部材の側面２１ｂと第２のスライド部材の斜面２２ｃとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材２３、但し、対象物支持部材２３には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第２の仮固定機構３２が設けられている；そして、第２のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材４１を含む位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】屋根に作用する荷重を軽減可能で、且つ、設計自由度の高い太陽光パネルユニットを提供すること
【解決手段】回動軸（14）が設けられた太陽光パネル（11a,11b）と、太陽の向きに応じて太陽光パネル（11a,11b）を回動軸（14）の軸周りに回動させる駆動機構（20）とを備えている。駆動機構（20）は、空気圧によって屋根（R）と平行に伸縮変形するエアシリンダ（21,22）と、太陽光パネル（11a,11b）に連結され、エアシリンダ（21,22）の伸縮動作をその変位量よりも大きい変位量となるように屋根（R）の略鉛直方向の動作に変換して太陽光パネル（11a,11b）を回動させるリンク機構（30）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、位置決めの正確性を低下させずに処理速度を迅速化可能なワーク位置決め装置及び円柱状ワークの調芯装置を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明に係わるワーク移動装置は、ワークを一の方向に移動させるためのワーク移動装置であって、ワークを一面に載置する載置手段と、空気圧で押圧され一の方向に移動する推進部材を有するとともに推進部材の先端がワークを望む状態で配置された空気圧アクチュエータと、推進部材に取り付けられた圧電素子と、ワークに当接可能に圧電素子に取り付けられた衝撃体と、ワークの位置を検出する検出手段と、空気圧アクチュエータへ供給される空気の空気圧を調整する空気圧調整手段とを備え、空気圧調整手段は、位置検出手段の検出したワークの位置とワークが位置すべき所望の位置との偏差に基づいて前記一の方向に推進部材を押圧する場合の空気圧を調整することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】非線型特性によるサーボ弁の制御性低下を防止する。
【解決手段】中空のシリンダと、シリンダに収容されて、シリンダと共に一対の圧力室を形成しつつ、シリンダに対して相対移動するピストンと、一対の圧力室の各々を、作動流体の圧力源または排気部に対して連通または遮断させる一対の制御弁と、シリンダに対するピストンの位置を検出する位置検出器と、一対の圧力室の少なくとも一方から作動流体を排気させる排気弁と、位置検出器が検出する位置が所与の目標位置に近づくように、制御弁を制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】静止安定性を有する位置決め装置。
【解決手段】対象物を移動させる駆動力を発生する駆動部と、対象物を目標位置に向かって移動させるべく駆動部をサーボ制御する制御部と、対象物を、駆動力よりも大きな固定力で固定する固定部とを備え、移動した対象物が目標位置に到達した後、少なくとも固定部が対象物を固定するまで、制御部は、対象物が移動していた期間のサーボゲインよりも小さなサーボゲインでサーボ制御を継続する。上記位置決め装置において、浮上力を発生させて対象物を浮上させる浮上力発生部を更に備え、浮上力発生部が浮上力の発生を停止した後、少なくとも少なくとも固定部が対象物を固定するまで、制御部は、力発生部が対象物を浮上させていた期間のサーボゲインよりも小さなサーボゲインでサーボ制御を継続してもよい。 （もっと読む）

【課題】複動型シリンダを有するアクチュエータの動作を安定させる。
【解決手段】中空のシリンダと、シリンダに収容されて、シリンダと共に一対の圧力室を形成しつつ、シリンダに対して相対移動するピストンと、一対の圧力室の各々を、作動流体の圧力源または排出部に対して連通または遮断させる一対の制御弁と、シリンダに対するピストンの位置を検出する位置検出器と、一対の圧力室の各々における作動流体の圧力を個別に検出する一対の圧力検出器と、位置検出器が検出する位置が所与の目標位置に近づき、且つ、圧力検出器が検出する圧力の平均が所与の目標圧力に近づくように、制御弁を制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】多段階の位置決めが可能であり、故障や停電等の電気系統のトラブルが発生した際の復旧が極めて容易な汎用位置決めテーブルを提供する。
【解決手段】汎用位置決めテーブル１は、一方向に摺動可能なテーブル１１と、当該一方向と平行をなす軸を中心に回転可能なシャフト１３１と、シャフト１３１の側面上に設けられた、摺動するテーブル１１を停止させるための複数のストッパ１３２と、を備えている。ここで、摺動するテーブル１１は、複数のストッパ１３２のうちシャフト１３１の回転により切り替え可能な一のストッパ１３２に当接することで停止させられる。 （もっと読む）

【課題】複数のスライド部が同期してスライド駆動可能なスライド駆動装置を提供する。
【解決手段】スライド駆動装置１では、可動プレート１０６とスライドブロック１１におけるフランジ１１３、１１４との間にワイヤ１３１、１３２が張設されている。また、可動プレート１０６とスライドブロック１２におけるフランジ１２３、１２４との間にワイヤ１４１、１４２が張設されている。ワイヤ１３１、１３２、１４１、１４２は、プーリ１５１〜１５３、１６１〜１６３などを介して張設されている。可動プレート１０６が一の方向に移動するとき、ワイヤ１３１、１４１およびワイヤ１３２、１４２の一方に引っ張り力が作用し、他方が送出されることにより、可動プレート１０６の移動量に応じたストロークをもってスライドブロック１１、１２がＹ軸方向にスライドする。 （もっと読む）

【課題】 ステージの移動に伴う反力を質量体を駆動して軽減させつつ、質量体の移動ストロークの縮小を図る。
【解決手段】 質量体を駆動する慣性力付与機構を有する位置決め装置であって、慣性力付与機構は、ステージの移動に伴って発生する反力を軽減するための信号を生成して出力する反力補償制御系と、質量体の位置を計測する位置計測手段の出力に基づいて、蓄積された複数の質量体の相対距離を低減するための信号を生成して出力する位置補償制御系と、位置補償制御系の出力の一部を選択して出力する選択手段とを備え、選択手段の出力に基づいて質量体の駆動が制御される。 （もっと読む）

【課題】ｘｙθ移動機構において、ｘ移動、ｙ移動、θ回転の間の干渉による誤差を抑制することである。
【解決手段】テーブル移動装置１０は、テーブル移動機構１００と、制御回路２０とを含んで構成される。制御回路２０は、指令取得部２２と、指令データにｘ位置等をフィードバックするための減算器２４と、指令データについて制御された出力である移動指令値等に変換する制御アルゴリズム部２６と、ｘ移動、ｙ移動、θ回転の間の相互干渉を除去する処理を行う補正部２８と、補正された移動指令値等を個々の気体圧制御アクチュエータの電流駆動指令に変換してテーブル移動機構１００に供給する駆動信号変換部３０と、テーブル移動機構１００からの各センサのデータをｘ座標、ｙ座標、回転角度θに変換して減算器２４に入力する位置情報変換部３２を含む。 （もっと読む）

【課題】外乱オブザーバを用いることにより制御精度を向上させるとともに、ワインドアップ現象を防止する。
【解決手段】位置決め制御システム１０は、制御対象Ｐのシリンダ１２の進退量Ｙから外乱Ｄを推定してフィードバックを行う外乱オブザーバ４６と、該外乱オブザーバ４６によるフィードバックループ内に設けられた飽和要素４８及び低域通過要素Ｑと、飽和要素４８の飽和値Ｌを偏差εに基づいて変化させる飽和値変更部５０とを有する。飽和要素４８は正帰還のマイナーループ７０内の前向き通路に設けられている。低域通過要素Ｑは正帰還のマイナーループ７０内のフィードバック通路に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 設置位置の調整の手間がなく簡単に移動対象物の位置を検知することができるインパクト駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】 インパクト駆動アクチュエータ１００は、パルス電圧の印加により急峻な変形を起こし、衝撃的な慣性力を移動対象物２１に与えて移動対象物２１を移動させる積層型圧電素子１１０と、該圧電素子１１０を移動対象物２１に接触させるエアシリンダ１２０と、圧電素子１１０と一体的に設けられて移動対象物２１の位置を検知する接触式の変位センサ１４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】テーブルの気体制御回転移動において、気体制御アクチュエータの先端部と移動対象物との間に気体を導入したときの先端部における実効負荷力を向上させることである。
【解決手段】テーブル５０を駆動する気体制御アクチュエータ２００は、案内部２０２に案内されてその軸方向に移動可能な第１可動体２０４と、その先端の曲面座で底面が支持される第２可動体２０６とを含む。案内部２０２の底部には、供給口ＣＰ１から駆動気体圧が導かれる。テーブル５０のタンク５６からは、絞り部５８、軸側伝達気体供給路６０を介して、矩形軸５４の気体受面２０８と第２可動体２０６の先端面２１０との間の隙間に、駆動気体圧より高い伝達気体圧を有する気体が供給される。 （もっと読む）

軸を有するスラット（２０６）と、スラット（２０６）に配置された複数のマイクロホイール（２０４）であって、各マイクロホイール（２０４）は第１のステータウェーハ（２０８）と、第２のステータウェーハ（２１０）と、第１および第２のステータウェーハの間に配置されたロータウェーハ（２１２）とを有し、第１および第２のステータウェーハ（２０８、２１０）はロータウェーハ（２１２）をスピンさせる構成とされる複数のマイクロホイール（２０４）と、スラット（２０６）に接続されかつスラット（２０６）を少なくとも部分的に軸中心に回転させる構成とされるアクチュエータ（１０４）とを含むビークル制御システム（２００）が提供される。
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【課題】 ヨーイング、ピッチング及びローリング、コギング、速度制御におけるループゲイン、デッドタイム発生回路に起因する位置決め精度向上の障害要因に対応した補正手段を備えた、複数のスライダ部を有するＸＹステージを実現する。
【解決手段】 格子プラテン上のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
独立に位置制御される複数のスライダ部を有し、これらスライダ部の夫々は、スライダ部をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する位置制御手段と、スライダ部のＺ軸まわりのヨーイングを補正するヨーイング補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 弾性体アクチュエータで駆動される可動機構を応答性良くかつ位置決め精度良く制御できる弾性体アクチュエータ駆動型可動機構の制御装置及び方法を提供する。
【解決手段】 流体圧駆動アクチュエータ１の内部圧力を圧力計測手段９で計測し、流体圧駆動アクチュエータにより発生する駆動トルクをトルクセンサー７で計測し、可動機構の変位量を計測し、変位の目標値と計測値とが入力されて位置誤差を位置誤差補償手段１２で補償し、位置誤差補償手段の出力と駆動トルクの計測値とが入力されて駆動トルク誤差を駆動トルク誤差補償手段２５で補償し、駆動トルク誤差補償手段の出力と圧力差の計測値とが入力され圧力差誤差を圧力差誤差補償手段１５で補償する。 （もっと読む）

【課題】 スライダ部の加速時、減速時、定速移動時の振動発生時にピッチング及びローリングを抑制する機能を具備したＸＹステージを実現する。
【解決手段】 スライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、スライダ部のピッチング角速度を検出するための信号を出力する第１のＺ軸センサと、スライダ部のローリング角速度を検出するための信号を出力する第２のＺ軸センサとを有することを特徴とするＸＹステージである。 （もっと読む）