【課題】煩雑な操作を行うことなく複数のガス種に対して流量制御を行うことが可能な流量制御装置を提供することである。
【解決手段】ガス通路２８に流れるガス流量を制御する流量制御装置３０において、主ガス管５０と、これに流れるガスの流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段５２と、流量を制御する流量制御弁機構５４と、外部より入力される流量指示信号Ｓｂと目標流量との関係を表すための、複数のガス種に対応した複数の換算データを記憶する換算データ記憶部５６と、外部より入力されるガス種選択信号Ｓａに基づいて複数の換算データから対応する換算データを選択すると共に流量指示信号Ｓｂに基づいて前記目標流量を求め、目標流量と流量信号とに基づいて流量制御弁機構を制御する流量制御本体５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置１００に、前記流路ＭＬ上に設けられた流体抵抗４と、流体抵抗の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ３と、前記測定流量値又は前記圧力センサで測定される測定圧力値に基づいて、前記流路ＭＬを流れる流体の状態が安定状態であるかどうかを判定する安定状態判定部５と、前記安定状態判定部５が流体の状態が安定状態であると判定している場合に、前記測定圧力値の変化量に基づいて前記測定流量値の異常を診断する異常診断部６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ１２４及びバルブ１２６が設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ占有面積の小さいコンパクトな構成で二次流路２への流体の流量分配が可能な流量制御システム１００を構築する。
【解決手段】
仮想平面と平行に延伸する一次流路１と、前記仮想平面方向から視て前記一次流路１と交差するとともに、その交差ポイントにおいて前記一次流路１と接続されて該一次流路１を流れる流体の一部が流れ込むように構成された複数の二次流路２と、前記交差ポイントに設定された設置領域４に配置され、前記一次流路１から二次流路２に流れ込む流体流量の割合を定める流体抵抗素子３とを設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 開閉弁の異常が生じても、装置を停止することなく、できるだけ目標の設定流量に近い流量で運転すること。
【解決手段】 複数の異なる設定流量（または設定関連指標）に対応して開閉弁９Ａ〜９Ｃを異なる開閉パターンに制御する流量調節装置であって、開閉異常が生じている開閉弁９Ａ〜９Ｃを特定する異常特定制御と、開閉異常が生じている開閉弁９Ａ〜９Ｃの開閉状態を含み、かつ正常時の開閉パターンに対応する設定流量（または設定関連指標）に近いバックアップ設定流量（またはバックアップ設定関連指標）の開閉パターンにより、開閉弁９Ａ〜９Ｃを制御するバックアップ制御とを行う。 （もっと読む）

【課題】流量測定装置１０や流量制御装置１００においてコンパクト性を損なうことなく、流量測定精度を向上させる。
【解決手段】
測定対象流体が流れる流体抵抗部材３と、対象流体が導かれる感圧面に貼り付けられた抵抗素子２Ｂの電気抵抗値の変化から流体抵抗部材３の上流側圧力を測定することが可能であるとともに抵抗素子２Ｂの温度による電気抵抗値の変化から前記感圧面の温度を測定することが可能な上流側圧力センサ２１と、流体抵抗部材３を流れる対象流体の温度を測定可能な位置に配置された温度検知手段８と、上流側圧力センサ２１で測定された上流側流路の圧力及び前記流体抵抗部材の圧力−流量特性に加えて、上流側圧力センサ２１で測定された圧力センサ温度及び温度検知手段８で測定された流体抵抗部材３における対象流体温度に少なくとも基づいて、当該対象流体の流量を算出する流量算出部９とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】小流量の流量制御と大流量の流量制御とを高精度に達成する流量制御装置を実現する。
【解決手段】流体通路１０は、バイパス流路１６とセンサ用流路１２，１４を備える。センサ用流路１２等は、バイパス流路１６を流れる前の流体から一部を分岐させ、その後、バイパス流路１６を流れた流体に合流させる。センサ用流路１４は、センサ用流路１２と等しい流路断面と、より長い流路とを有する。流量センサユニット３０は、各センサ用流路について、上流側抵抗器と下流側抵抗器と出力部を備える。上流側抵抗器３１２，３２２は、センサ用流路１２内の流体を加熱する。下流側抵抗器３１４，３２４は、上流側抵抗器３１２，３２２よりも下流に設けられ流体によって温度が変化する。出力部３１６，３１８は、上流側と下流側抵抗器の抵抗の差に応じた信号を出力する。センサ用流路１２，１４は、流体を分岐させる地点から流体を合流させる地点までの距離が等しい。 （もっと読む）

【課題】異なる液温の液体が収容された２つのタンクにおける急激かつ大幅な液位変化をなくして液体の温度調整を容易にすると共に、該装置をコンパクトかつ安価に設置できるようにする。
【解決手段】第１の液体Ｆ１が収容された外部タンク１の内部に、第２の液体Ｆ２が収容された内部タンク２を設置し、外部タンク１の内部又は内部タンク２の内部に下限液位センサ２８又は２５を配設し、該液位センサ２８，２５が液体の液位の低下を検出したとき第１の開閉弁２４又は第２の開閉弁２７を開放することにより、液位が上昇したタンク内の液体の一部を、外部タンク用液体循環路５及び内部タンク用液体循環路６を通じて液位が低下したタンク内に補給し、それによって両タンク１，２内の液位の変動を吸収する。 （もっと読む）

【課題】払出側の容器から受入側の容器に流体を移送する際に、流体圧力及び流体流量を常時安定させ、流体品質の悪化を防止する。
【解決手段】本プロセス制御システムは、移送管３を介して所定の流体を容器１から容器２に移送するものである。本システムには、上流側に流量調節設備４が、下流側に圧力調節設備５が設けられている。また、本システムには、流体の流量を検出する流量センサ７、流量制御装置８、流体の圧力を検出する圧力センサ１２、容器２内にある流体の液量レベルを検出する液量レベルセンサ１４、圧力制御装置１３が備えられている。流量制御装置８は、流量センサ７の検出値に基づいて流量調節設備４を制御する。また、圧力制御装置１３は、圧力センサ１２及び液量レベルセンサ１４の各検出値に基づいて圧力調節設備５を制御する。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御器であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体に関する物理量を測定する流体測定部１、３と、前記流体測定部１で測定される物理量の測定値と、予め設定される設定値との偏差に基づいて前記流体制御バルブ２の開度をデジタル制御によって制御するバルブ制御器４と、を備えた流体制御装置１００であって、前記バルブ制御器４が、入力される値に対して所定の演算を施して前記流体制御バルブ２の開度の操作量に関連する値を出力する操作量演算部４１と、入力される値に対して速度型デジタル演算により位相遅れを補償した値を出力する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】腐食性ガスを対象とする流量制御器の流量校正を簡単に行え、安価で、流量制御精度が高く、耐食性を有する基準圧力式流量制御器を提供する。
【解決手段】オリフィスの上流側に設けたコントロール弁と，コントロール弁とオリフィス間に設けた圧力検出器と，圧力検出器の検出圧力から流量を演算すると共に、流量指令信号と前記演算した流量信号との差を制御信号として前記コントロール弁の駆動部へ出力する演算制御装置とから構成され、オリフィスの上流側圧力と下流側圧力との比を被制御流体の臨界圧比以下に保持した状態で前記コントロール弁の開閉によりオリフィス上流側圧力を調整してオリフィス下流側の流体流量を制御するようにした、圧力制御式流量基準器に用いる基準圧力式流量制御器に於いて、当該基準圧力式流量制御器の内部の流体が接する部分の全面に金メッキ皮膜を形成し、基準圧力式流量制御器を耐食性圧力式流量制御器９とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、応答速度に優れた分流制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】単一の流路を流通するガスを複数の２次流路に夫々設けられた流量検出器および制御弁と、前記制御弁を操作するための情報が記憶された記憶手段を備え、前記流量検出器が検出した実流量に対応する検出信号が入力されるとともに前記２次流路における指令された目標分流比および前記検出信号に基づき、分流比の制御が開始された後の実分流比の立ち上がり時における立上初期、立上初期に引き続く立上中期、立上中期に引き続く立上終期の各時期で、前記制御弁の開度を操作する弁開度信号値を算出し、当該弁開度信号値を開度信号として前記制御弁に出力する制御部とを有する分流制御装置である。 （もっと読む）

【課題】従来に比して速やかにガス流量を変化させることができるマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、マスフローコントローラ１００は、ガス流路構成部材１１０と、流量調整部１３０と、変位量記憶部１４４と、設定回路１４５と、を備える。流量調整部１３０は、ガス流路１１３中に配置され、ガスの流量を調整する弁１３１、および弁１３１の変位量を制御するアクチュエータ１３３を有する。変位量記憶部１４４は、処理手順を実行する前にガス流路１１３に処理手順で規定される流量のガスを流すときの弁１３１の変位量を処理手順ごとに求めた変位量情報を記憶する。設定回路１４５は、処理手順に対応する変位量を変位量記憶部１４４から取得して、取得した変位量に基づいてアクチュエータ１３３を制御する。 （もっと読む）

【課題】小型化された校正ユニットにより、より迅速且つ高精度で行える、ビルドアップ（又はＲＯＲ）法による流量制御器の流量校正方法を提供する。
【解決手段】ガス供給路ＬにビルドアップタンクＢＴと開閉弁Ｖ_１及び開閉弁Ｖ_２と温度検出器Ｐｄ及び圧力検出器Ｔｄとから成る校正ユニット５を分岐状に連結し開閉弁Ｖ_２を真空排気装置に接続し、先ず各流量制御器の開閉弁Ｖｏ_１〜Ｖｏ_ｎ及びガス使用箇所の開閉弁Ｖ_０を閉鎖して開閉弁Ｖ_２及び開閉弁Ｖ_１を開放、次に被校正流量制御器の開閉弁のみを開放して設定流量のガスを校正ユニット５へ流入させ、時刻ｔ_０に於いてタンク内のガス温度及びガス圧力を計測し、その後開閉弁Ｖ_２を閉鎖してタンクＢＴ内のガスのビルドアップを行い、時刻ｔ_１に開閉弁Ｖ_１を閉鎖し、時刻ｔ_２にガス温度及びガス圧力を計測して各計測値からガス流量Ｑを演算して設定ガス流量と演算ガス流量Ｑとの対比により流量校正を行う。 （もっと読む）

【課題】流量センサを用いずとも、供給流路からの流量を所定の比率で分割することができ、且つ低価格化を実現できる流量比率制御装置Ａを提供する。
【解決手段】混合プロセスガスＧが流れる一つの供給パイプＰＸをその下流側で分流させた第１の分流路１ａ及び第２の分流路１ｂと、前記各分流路上にそれぞれ設けられ、且つ、導入口及び導出口を有しこれら導入出口間に各々の抵抗値と対応する差圧を発生させるとともにその抵抗値比が所定比の第１の抵抗体２ａ及び第２の抵抗体２ｂと、前記第１の分流路１ａ上にある前記第１の抵抗体２ａの下流側に設けられ該第１の分流路１ａを流れる流体の流量を制御するコントロールバルブ３と、前記第１の抵抗体２ａの導出口２ａ１の圧力値と前記第２の抵抗体２ｂの導出口２ｂ１の圧力値との差がゼロとなるように、前記コントロールバルブ３を開閉制御する制御部６と、を具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】精鉱装入量を脈動を防止し、計量スクリューコンベアの先端部に発生する精鉱の居着きを安定的に除去し、精鉱装入量の精度を向上させる。
【解決手段】インバータ１０およびモータ１２駆動の切出スクリューコンベア１と、重量測定装置３を有し、インバータ９およびモータ１１駆動の計量スクリューコンベア２とを備え、切出スクリューコンベア１により精鉱１３を切出し、切出した精鉱１３を計量スクリューコンベア２により製錬炉に装入し、重量測定装置３により装入する精鉱１３の重量を連続的に測定する精鉱装入装置（設備）において、切出スクリューコンベア１の回転数をＰＩＤ制御器７により制御し、精鉱装入量ｚを制御し、計量スクリューコンベア２の回転数をモータ１１の１００パーセントの全速運転とすることにより、両者のスクリューコンベア１、２を分散型制御とする。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、当該流量センサ部２の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差にＰＩＤ演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部７と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブに出力する開度制御信号出力部８と、を備え、前記算出部７が、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力又は流量設定値の少なくとも１つと、前記一次側圧力の時間変化量と、に基づいて変更する。 （もっと読む）

【課題】洗浄等による液体の置換を容易かつ完全に実施できるダメージ軽減対策を施した圧力センサを提供する。
【解決手段】流体主流路１１を流れる液体の圧力を検出する圧力センサ１０において、流体主流路１１の直管部から分岐した位置に圧力計測空間部１２を設けて圧力計測部４を設置し、さらに、流体主流路１１と圧力計測空間部１２との間については、流体主流路１１より管径の細い導入管１３及び流出管１４を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】コストを低減した制御装置により、粘性の低い液体と粘性の高い液体とを混合する場合であっても所望の比率で混合することができる。
【解決手段】複数の液体供給源Ｔ１，Ｔ２に接続する給液配管ＳＰ１，ＳＰ２を分岐させ、分岐管路を複数の混合タンクＭＴ１，ＭＴ２に接続して第１液体と混合用液体とからなる液体を供給可能とし、混合タンクに供給された第１液体の積算流量を測定し、この測定値から混合タンクに供給することが必要な液体の積算流量を算出し混合用液体の理論上の必要量を求め、混合タンクに供給された混合用液体の積算流量を測定し、この測定値と混合用液体の理論上の必要量とから混合用液体の不足量を算出し、混合用液体の積算流量の測定値が混合用液体の理論上の必要量に対し不足する場合には、予め求めておいた混合用液体の不足量に対する流量制御弁の弁開度に基づいて流量制御弁の弁開度を制御し混合用液体を混合タンクに供給する。 （もっと読む）

【課題】自己校正型のガス流量制御のための方法及び装置を提供する。
【解決手段】ガス流量は最初に、流量制限器の開口の量を高い精度に制御することによって設定される。なお、流量制限器を含む装置の設計は高い精度の達成に役立つ。その後、ガス流量は、流量制限器の上流における圧力降下率で測定され、必要なら、流量制限器の開口の量は、正確に所望の流量を得るように調整される。 （もっと読む）