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Fターム[5H307BB05]の内容

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【課題】単一のセンサを使って流量を制御できるフロー制御装置を提供すること。
【解決手段】制御装置(30)は、フローを受け入れるための流入口(32);フローをフロー・システムの他の構成要素に導くための流出口(34);圧力低減エレメント(36);上流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント(36)の上流の圧力センサ(38);下流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント(36)の下流の圧力センサ(40);プロセッサ、メモリ、及び流体の流量を算定しバルブ制御信号を発生させるためのソフトウエア命令を包含させることが可能なコントローラ(42);ならびに、バルブ制御信号に反応して流体フローを調節する、ちょう型バルブ、油圧駆動バルブなどのバルブ(44)を含む。 (もっと読む)


【課題】小型で、かつ、流量制御の応答性が優れた流量制御装置を提供することである。
【解決手段】力が作用することによって変形する変形可能部を有する流体通路と、前記流体通路の前記変形可能部に、異なる方向から、力を作用させる力作用手段とを具備してなり、前記力作用手段は、チャンバ10、13と、該チャンバ10、13の少なくとも一部を構成する膜9,12と、前記チャンバ10、13内の圧力を制御する圧力制御手段とを具備してなり、前記圧力制御手段による前記チャンバ10、13内の圧力変動による前記膜9,12の変形によって、前記流体通路の前記変形可能部3には、異なる位置で、変形が起きるよう構成されてなり、前記流体通路の前記変形可能部3の変形度によって該流体通路を流れる流体の流量が制御される流量制御装置。 (もっと読む)


【課題】刺激感応物質を制御流体に含有させ、該制御流体に瞬間的な刺激を与えることによって、該制御流体と合流させた被制御流体の流れを高速且つ高精度に制御する方法等を提供すること。
【解決手段】主流路と副流路に分岐した被制御流体流路を有するマイクロシステムにおいて被制御流体の流れを制御する方法であって、刺激感応物質を含む制御流体を合流させ、合流後に該被制御流体と並行する該制御流体に刺激を与えることによって主流路における被制御流体の流量を一時的に制御し、それによって該被制御流体の副流路における流量を間接的に制御する方法、及び該方法を用いるマイクロシステム。 (もっと読む)


【課題】圧力脈動によって反応器中での化学反応(選択性、反応機構、副生成物の生成等)に悪影響を生じない送出システムと制御方法を提供する。
【解決手段】流体Aを静的ミキサ1へと送り込むための送出システムであって、所定の圧力の前記流体Aを含んだタンク2と、前記静的ミキサ1とタンク2とを接続する流路3と、前記流路3内に設けられ、前記タンク2から前記容器中への前記流体Aのフローを制御する制御バルブ4と;前記流体Aの目標流量SP_Q及び前記流体Aの実際の流量PV_Qを受けるための、並びに、バルブ位置を表す前記制御バルブ4への制御シグナルMV_Lを出力して前記流量を調節するための制御器6とを具備する。 (もっと読む)


【課題】異なる液温の液体が収容された2つのタンクにおける急激かつ大幅な液位変化をなくして液体の温度調整を容易にすると共に、該装置をコンパクトかつ安価に設置できるようにする。
【解決手段】第1の液体F1が収容された外部タンク1の内部に、第2の液体F2が収容された内部タンク2を設置し、外部タンク1の内部又は内部タンク2の内部に下限液位センサ28又は25を配設し、該液位センサ28,25が液体の液位の低下を検出したとき第1の開閉弁24又は第2の開閉弁27を開放することにより、液位が上昇したタンク内の液体の一部を、外部タンク用液体循環路5及び内部タンク用液体循環路6を通じて液位が低下したタンク内に補給し、それによって両タンク1,2内の液位の変動を吸収する。 (もっと読む)


【課題】払出側の容器から受入側の容器に流体を移送する際に、流体圧力及び流体流量を常時安定させ、流体品質の悪化を防止する。
【解決手段】本プロセス制御システムは、移送管3を介して所定の流体を容器1から容器2に移送するものである。本システムには、上流側に流量調節設備4が、下流側に圧力調節設備5が設けられている。また、本システムには、流体の流量を検出する流量センサ7、流量制御装置8、流体の圧力を検出する圧力センサ12、容器2内にある流体の液量レベルを検出する液量レベルセンサ14、圧力制御装置13が備えられている。流量制御装置8は、流量センサ7の検出値に基づいて流量調節設備4を制御する。また、圧力制御装置13は、圧力センサ12及び液量レベルセンサ14の各検出値に基づいて圧力調節設備5を制御する。 (もっと読む)


【課題】マスフローコントローラの流量制御バルブのより長期間の使用を可能にするとともに、流量設定値を減少させた場合に実流量をより正確に制御可能にする。
【解決手段】流量センサ部2と、その流量センサ部2の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ3と、流量測定値と流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ3へのフィードバック制御値を算出する算出部6と、フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ3に出力する開度制御信号出力部7とを備えており、前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値を、流量設定値を所定量以上減少させた時点から所定期間である減少変化期間において、減少前の設定流量値と減少後の設定流量値との変化分を用いて得られる演算値が小さくなれば大きな値が算出される関数を用いて算出している。 (もっと読む)


【課題】液体流量制御装置の制御可能総流量範囲を広くすること。
【解決手段】第1の流量制御ユニット21Aは、小流量の第1の制御可能流量範囲を有する第1の流量制御弁23Aを有しており、第2の流量制御ユニット21Bは、大流量の第2の制御流量範囲を有する第2の流量制御弁23Bを有しており、第1および第2の制御流量範囲には重複範囲がある。総流量の要求値の変化に応じて、第1および第2の流量制御ユニットの一方または両方に液体が流れる。第1および第2の流量制御ユニットを流れる液体の合計流量を増大させてゆく過程においては、第1および第2の流量制御ユニットの一方を流れる流量を固定しつつ他方を流れる流量を増大させる。 (もっと読む)


【課題】流れ特性を変更可能なスクリーンノズルを提供する。
【解決手段】可変流量制御ノズル50は、頭部52、筒部54およびバルブ56を備えている。頭部は、開口部22に隣接して配置され、頭部の内部に流入し流出する流体流れの通路のためのスクリーン60を有している。筒部は、頭部から開口部を通って延び、そこに頭部を固定している。筒部の流路は、頭部の内部と開口部の反対側とを連絡している。通路に配置されたバルブは、通路から頭部の内部への第1の流体流れを許容する第1の状態と、内部から通路への第2の流体流れを許容する第2の状態とを有する。第2の流体流れは、第1の流体流れよりも大きくし得る。筒部は、互いが異なる内径を有する第1および第2の筒部材70,80を備えていてよく、バルブは、筒部材内の位置間で移動可能なボール90を使用することができる。 (もっと読む)


【課題】洗浄等による液体の置換を容易かつ完全に実施できるダメージ軽減対策を施した圧力センサを提供する。
【解決手段】流体主流路11を流れる液体の圧力を検出する圧力センサ10において、流体主流路11の直管部から分岐した位置に圧力計測空間部12を設けて圧力計測部4を設置し、さらに、流体主流路11と圧力計測空間部12との間については、流体主流路11より管径の細い導入管13及び流出管14を介して接続されている。 (もっと読む)


【課題】制限フロー構成要素によって生成される圧力低下に基づいて、フロー速度を測定するための流体フロー測定および制御デバイスを提供する。
【解決手段】本発明のデバイスは、流体入り口および流体出口を有する比例フローバルブ10、ならびにこの比例バルブ10を調節するためのアクチュエータ17を備える。この制限フロー要素15は、この比例フローバルブ10と連絡状態にある流体入り口および流体出口を備え、制限フロー構成要素の流体入り口と出口との間での圧力低下を生成する。このデバイスはまた、圧力低下を測定するための手段24,25、圧力低下に基づいてフロー速度を計算するための手段16、ならびに測定された圧力低下に応じて比例フローバルブ10を通じて流体のフローを制御するために圧力低下測定手段24,25、およびアクチュエータ17と連絡する制御手段(示さず)を備える。 (もっと読む)


【課題】ガス種等の試料流体の変更にも特別な手間を必要とせずに柔軟に対応することができ、しかも、精度良く流量を測定することができるといった、優れたマスフローメータ等を提供する。
【解決手段】流路1を流れる試料流体Gの流量を検知するセンサ部2と、流体ごとに定められ、前記センサ部2からの出力値に基づいて流量を定めるための流量特性関数であって、指定された試料流体に固有の流量特性関数Kと、その流量特性関数とは独立した、複数の試料流体に対して共通のパラメータであり、マスフローメータごとの器差を補正するための器差補正パラメータαとを設定する設定部4cと、前記流量特性関数Kと前記器差補正パラメータαとに基づいて、前記試料流体Gの流量を算出する流量算出部4dとを具備するように構成した。 (もっと読む)


【課題】一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる(なくす)ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる差圧式流量計を提供するとともに、この差圧式流量計を用いた流量コントローラを提供すること。
【解決手段】圧力測定を行う流体が流れる流体主流路12が形成されたボディ24と、前記流体主流路12に対して直列に配置されるとともに、前記ボディ24に保持される2つの圧力センサ21A,21Bとを備え、前記2つの圧力センサ21A,21Bの下方に位置する前記ボディ24に形成された凹所内に、熱伝導性に優れた材料からなる温度バランサー27が収容されている。 (もっと読む)


【課題】共通出口を有する同心チャネルを通る流れを制御するための環状二系統流れ逆止弁を提供する。
【解決手段】環状二系統流れ逆止弁(10)は、同心チャネルを形成した外側本体(12)及び内側本体(14)と、外側チャネル(16)内に位置しかつ軸方向の可動域を有するバネ(22)作動環状ポペット弁(24)と、内側本体(14)を貫通して外側チャネル(16)を内側チャネル(18)に連結した開口部(44)とを含み、環状ポペット弁(24)の軸方向移動は、外側チャネル(16)内の該環状ポペット弁(24)の上流の流れの圧力によって制御され、また環状ポペット弁(24)の軸方向可動域は、少なくとも2つの軸方向位置、すなわち該環状ポペット弁(24)が開口部(44)を実質的に覆う閉鎖位置及び開口部(44)の少なくとも一部分が該環状ポペット弁(24)によって覆われてない開放位置を含む。 (もっと読む)


【課題】気体の検出圧力と目標圧力との偏差が大きくなった場合に偏差を迅速に小さくすることのできる圧力制御装置および圧力の制御された気体を用いる流量制御装置を提供する。
【解決手段】電空レギュレータ40は、エアの供給源に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される給気用電磁弁43と、電磁弁43の下流に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される排気用電磁弁44とを備える。エア通路35に導出されるエアの圧力センサ72による検出圧力を目標圧力にするために、電磁弁43,44を各周期において駆動するパルス信号をエアの検出圧力と目標圧力との偏差に基づいてPID演算により生成するともに、エアの検出圧力と目標圧力との偏差が判定値以上であることを条件に、電磁弁43,44が駆動される周期おいて偏差を小さくするように、PID演算により生成されるパルス信号を変更する。 (もっと読む)


【課題】機械的な手段以外の方法で流体の流量を調節することにより、装置全体を小型化する。
【解決手段】誘電体層2の中央に、流体が通過する貫通孔2aが設けられる。電極層3a・3bは、誘電体層2の表裏に、貫通孔2aの周囲に輪帯状に形成される。電極層3a・3bに電圧を印加して誘電体層2を変形させることにより、貫通孔2aの開口径を変化させる。これにより、貫通孔2aを通過する流体の流量を調節することができ、流量調節にあたり、従来のような機械的な手段を用いなくても済む。 (もっと読む)


【課題】制御系の相互干渉を低減するとともに、容易に制御系の調整を行うことができるプラントワイド多変数連携非干渉制御方法を提供する。
【解決手段】原料から目的物を生産するプロセスの制御を可能とする相互に干渉する要素を有する複数の操作弁と、プロセスの状態を表す変数を検知し、検知した値に応じた信号を操作弁に与える制御部とを備え、制御部からの信号を受けた各操作弁の弁開度操作により、プロセスの状態を制御するプラントの制御方法において、制御部は、操作弁の弁開度と、その弁開度に応じて変化するプロセスの状態を表す変数との関係を、定常状態での方程式で構築し、当該方程式により操作弁ごとに導出した解析解式に基づいて、操作弁の目標の弁開度であるCV値を算出し、検知した値に応じた操作弁の現状の弁開度であるCV値を算出するとともに、2つのCV値の偏差eを算出し、偏差eに基づいてプロセスの状態をフィードバック制御する。 (もっと読む)


【課題】流量制御弁に対する気体の供給および排出を制御することにより流量制御弁の操作圧を調整するレギュレータの腐食を抑制することのできる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置は、ダイアフラムを有してその一方の面に供給されるエアにより操作圧を印加して他方の面に接触する薬液の流量を調整するパイロットレギュレータ20と、パイロットレギュレータ20に対するエアの供給および排出を制御することにより操作圧を調整する電空レギュレータ18とを備える。流量制御装置は、パイロットレギュレータ20と電空レギュレータ18とを接続してエアを流通させるエア通路15と、電空レギュレータ18による操作圧の調整を可能としつつエア通路15からエアを排出させるオリフィス40とを備える。 (もっと読む)


【課題】実流量に合わせて適切な測定範囲を選択可能な流量計を提供する。
【解決手段】主流路11、主流路11に通じる少なくとも三以上の複数の孔4a, 4b, 6a, 6b、及び前記複数の孔4a, 4b, 6a, 6bを介して前記主流路11と連通する分流路25が設けられた流路保持体10と、複数の孔4a, 4b, 6a, 6bから選択された二つの被選択孔6a, 6b以外の複数の孔4a, 4bを閉塞する閉塞部材21Aと、分流路25を流れる流体の流量を検出する流れセンサ8と、被選択孔を検出する被選択孔検出機構9A, 9Bと、被選択孔に応じた、分流路25と主流路11の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び検出された被選択孔に応じた分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出モジュール300と、を備える。 (もっと読む)


【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 (もっと読む)


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