【課題】常に安定で再現性のよい流量制御装置及び前記制御装置を備えたプロセス装置を提供する。
【解決手段】反応容器に反応ガスを供給する配管に流量制限器３６を備え、配管の流量制限器３６の上流側に可変コンダクタンスバルブ３２、配管の流量制限器３６の下流側に可変コンダクタンスバルブ３３を備える。流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３２間の圧力と流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３３間の圧力に基づいて、可変コンダクタンスバルブ３２と可変コンダクタンスバルブ３３を制御するバルブ制御装置３８を備える。バルブ制御装置３８は、流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３３間の圧力が一定となるように、可変コンダクタンスバルブ３３を制御し、配管に予め設定した流量の反応ガスが流れるように可変コンダクタンスバルブ３２を制御する。 （もっと読む）

【課題】 極めて小型の構成によって、加圧された流体を微小定流量の流量に制御、供給することを可能にする超小型減圧流量制御装置を提供する。
【解決手段】 超小型減圧流量制御装置１００は、流体を流して流体の圧力を低減させる第１微細流体流路１と、第１微細流体流路１に連結され、第１微細流体流路１からの流体を流すためのＮ本（Ｎは２以上の整数）の第２微細流体流路３と、各第２微細流体流路３にそれぞれ設けられたマイクロバルブ２と、各第２微細流体流路３からの流体を合流させて外部へ排出するための流体集積流路４とを備える。 （もっと読む）