【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ１２４及びバルブ１２６が設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

【課題】液体流量制御装置の制御可能総流量範囲を広くすること。
【解決手段】第１の流量制御ユニット２１Ａは、小流量の第１の制御可能流量範囲を有する第１の流量制御弁２３Ａを有しており、第２の流量制御ユニット２１Ｂは、大流量の第２の制御流量範囲を有する第２の流量制御弁２３Ｂを有しており、第１および第２の制御流量範囲には重複範囲がある。総流量の要求値の変化に応じて、第１および第２の流量制御ユニットの一方または両方に液体が流れる。第１および第２の流量制御ユニットを流れる液体の合計流量を増大させてゆく過程においては、第１および第２の流量制御ユニットの一方を流れる流量を固定しつつ他方を流れる流量を増大させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、応答速度に優れた分流制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】単一の流路を流通するガスを複数の２次流路に夫々設けられた流量検出器および制御弁と、前記制御弁を操作するための情報が記憶された記憶手段を備え、前記流量検出器が検出した実流量に対応する検出信号が入力されるとともに前記２次流路における指令された目標分流比および前記検出信号に基づき、分流比の制御が開始された後の実分流比の立ち上がり時における立上初期、立上初期に引き続く立上中期、立上中期に引き続く立上終期の各時期で、前記制御弁の開度を操作する弁開度信号値を算出し、当該弁開度信号値を開度信号として前記制御弁に出力する制御部とを有する分流制御装置である。 （もっと読む）

【課題】コストを低減した制御装置により、粘性の低い液体と粘性の高い液体とを混合する場合であっても所望の比率で混合することができる。
【解決手段】複数の液体供給源Ｔ１，Ｔ２に接続する給液配管ＳＰ１，ＳＰ２を分岐させ、分岐管路を複数の混合タンクＭＴ１，ＭＴ２に接続して第１液体と混合用液体とからなる液体を供給可能とし、混合タンクに供給された第１液体の積算流量を測定し、この測定値から混合タンクに供給することが必要な液体の積算流量を算出し混合用液体の理論上の必要量を求め、混合タンクに供給された混合用液体の積算流量を測定し、この測定値と混合用液体の理論上の必要量とから混合用液体の不足量を算出し、混合用液体の積算流量の測定値が混合用液体の理論上の必要量に対し不足する場合には、予め求めておいた混合用液体の不足量に対する流量制御弁の弁開度に基づいて流量制御弁の弁開度を制御し混合用液体を混合タンクに供給する。 （もっと読む）

【課題】 水供給に何らかの異常が生じても高温の湯のみが誤って流出することが無く、安全性を確保できる混合弁システムを提供する。
【解決手段】 湯減圧弁３０の湯側隔壁部３２が、水減圧弁２０の二次側水流路１２における水の圧力を受けて湯側弁体３１を移動可能として配設され、二次側水流路１２に水が正常に流入しない場合には、湯側隔壁部３２に十分な水圧が加わらないことで、湯側弁体３１が湯側弁ばね３３の付勢に伴い移動して、一次側湯流路１３と二次側湯流路１４との間を閉鎖することから、水が水減圧弁２０に達しないような異常状態では、湯側弁体３１を直ちに湯の流路を閉鎖する位置まで移動させて、湯減圧弁３０から混合弁４１、４２への湯の流入を抑えられ、誤って高温の湯が混合弁４１、４２から下流側に流出する事態を防止でき、安全を確保できる。 （もっと読む）

【課題】フロートの流路内壁面への接触によるパーティクルの発生を防止することができる流量計およびマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】ケーシング１１の内側には下方から上方に向けて流体を流す鉛直方向に沿った流路１２が形成される。流路１２の一部はテーパ管１５によってテーパ面１６とされている。流路１２内には棒磁石２１を内蔵するフロート２０が収容される。ケーシング１１の外周面にはリング形状の永久磁石である下部リング磁石３０および上部リング磁石３５が周設される。下部リング磁石３０および上部リング磁石３５の双方からフロート２０の棒磁石２１の下端および上端のそれぞれに同じ磁極の反発力による斥力が及ぼされる。これにより、流体の有無に関わらず、フロート２０が流路内壁面に接触することが常に防止され、その結果パーティクルの発生をも防止することができる。 （もっと読む）

【課題】電磁弁からの放熱を適切に行うことのできるガス供給ユニット及びガス供給装置を提供する。
【解決手段】ガス供給ユニット１１は、内部に流路の設けられた流路ブロック２０と、流路を流通するガスの流通状態を変更する複数の電磁弁５０（５０Ａ）とを備えている。各電磁弁５０はコイル５２とコイル５２の外周に配置されたケース５３とを有している。流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、複数の電磁弁５０が搭載された上面２０ａを有している。複数の電磁弁５０は、上面２０ａの長手方向に沿って直列に配置されている。ガス供給ユニット１１は、複数の電磁弁５０の各ケース５３に跨るようにして上面２０ａの長手方向に沿って延びて各ケース５３に当接される平板部３１と、流路ブロック２０の上面２０ａに平板部３１を繋ぐ固定部３２とを有する伝熱プレート３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】複雑なプロセスガスを供給することができ、床占有面積を小さくすることができるガス供給装置を提供すること。
【解決手段】第１ライン及び第２ラインを持つガス供給装置で、第１ラインは第１マスフローコントローラＭＢに接続されており、第２ラインは第２マスフローコントローラＭＣに接続されており、第１ラインは第１弁ＶＢ３及び第２弁ＶＢ２を有し、第２ラインは第３弁ＶＣ３及び第４弁ＶＣ２を有し、４種類のガスＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを供給する供給ポートと接続しているガス供給装置において、ガスＡとガスＢは同じガスＧＡＳ６であること、第１弁ＶＢ３及び第３弁ＶＣ３はガスＧＡＳ６を供給する供給ポートと接続していること、第２弁ＶＢ２はガスＧＡＳ５を供給する供給ポートと接続していること、第４弁ＶＣ２はガスＧＡＳ８を供給する供給ポートと接続している。 （もっと読む）

本発明は、連結部を通る１つ以上の流入流と１つ以上の流出流との間で、連結部を通るガス流量を制御する方法及び装置に関する。本方法は、流入質量流量測定値の総計を流出質量流量測定値の総計と比較して、バイアス成分を加算して、バイアス質量流量不均衡値を供給することにより得られるバイアス質量流量不均衡値を使用する。流入流及び流出流（１２、１４、１６、１８、２０）のうちの少なくとも１つの流量は、バイアス質量流量不均衡値をゼロに向けて移動させるように調整される。更に、連結部圧力測定値（ＰＣ）が供給され、連結部圧力測定値（ＰＣ）は、圧力設定点（ＰＳＰ）からの連結部圧力測定値（ＰＣ）の変化に応答して、圧力設定点（ＰＳＰ）からの連結部圧力測定値（ＰＣ）の変化を軽減するようにバイアス成分を調整するために使用される。 （もっと読む）

【課題】 定期的な再校正を必要としない液体量の供給と液体流速の両方を測定及び制御する方法が必要である。
【解決手段】 ある1種類の液体を特定量だけ又は一定流速で供給する方法が開示されている。本発明の一の態様によると、吸入口と排出口との間での高低差は、調節可能な管集合体によって維持される。オーバーフロー集合体が供されることで、如何なるあふれ出た液体も容器へは入り込まず、かつ液体は特定のレベルに維持される。バルブは吸入口に供される。かつバルブは、オーバーフロー集合体内で液体があふれ出ていることをセンサが検知するときには閉じることができる。 （もっと読む）

【課題】プロセス流体の流れを受け取る流体入口および複数の流体出口を含む流体流れ制御システム。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

本開示は、フローレギュレータを用いて、冷却板などの複数のヒートシンクを通して冷却流体を調節し分配するシステムおよび方法を提供し、フローレギュレータはオリフィス上流の流量のばらつきに関係なく個々の冷却板によって必要とされる流量をさらに分配し得る１つまたは複数の個々のオリフィスとともに総流量を設定する。オリフィスはオリフィスを支持する本体を含むオリフィスホルダーに結合することができ、冷却板の入口に結合（直接的または間接的に）されてもよい。一般に、フローレギュレータは、冷却流体が流れる複数のオリフィスおよび管路と結合される。関係するシステム構成部品は、モジュールとして組み立てられて、ポンプ、コンプレッサ、またはその他の冷却流体用圧力源など、他のシステム構成部品を含む冷却システムの中に設置され得る。
（もっと読む）

【課題】 簡単，安定的かつ無駄なく燃料ガスの供給制御を行える方法を提供する。
【解決手段】 燃料ガスを供給源から消費者に供給する燃料ガス供給装置における燃料ガスの供給制御方法において、タンクから前記消費者に送出される燃料ガスの流量を検出する工程と、燃料ガスの供給源から前記タンクに供給される燃料ガスの流量を検出する工程と、前記消費者に供給される燃料ガスの流量に変化が生じたときに、前記燃料ガスの流量の変化から前記タンク内の燃料ガスの圧力変化を予測する工程と、予測された圧力の変化量から、供給側の各燃料ガスの流量の変化量を予測する工程と、予測された供給側の燃料ガスの変化量に基づき、供給側の前記各燃料ガスの流量を調整する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】流量比可変型ガス分流供給装置を小型化低コスト化すると共に、流量比の調整を簡単且つ高精度で出来るようにする。
【解決手段】流量制御装置６から供給された流量Ｑのガスを第１分流管路１及び第２分流管路２へ所定の流量Ｑで分流させ、両分流管路１、２から流量Ｑのガスをチャンバ内へ供給するように、前記第１分流管路１に第１オリフィス３を介設し、また、前記第２分流管路２を複数の分岐管路２ａ〜２ｎを並列状に直結した管路としてオリフィス４ａ〜４ｎ介設すると共に、前記分岐回路の全部又は一部に開閉バルブＶｂ〜Ｖｎを介設し、当該開閉バルブＶｂ〜Ｖｎの開又は閉により第２分流管路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積Ｓ２ｏを調整することにより、前記第１分流回路１の第１オリフィス３と前記第２分流路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積との比に等しい流量比でもって、各分流管路１、２へ流量Ｑのガス流を分流させる。 （もっと読む）

【課題】 配水区域の予測される需要量より、各配水場の複数の配水ポンプによる最適な水配計画を立案する。
【解決手段】 配水区域３３についての需要量予測パターンを基に、各配水場１８，２３，２８にて配水ポンプの組合せ毎に作成されるポンプ運転特性と配水区域３３の目標末端圧力パターンより、この目標末端圧力パターンを満たす配水ポンプの組合せを考慮して各配水場１８，２３，２８の配水流量パターンを作成する。次に、その各配水場１８，２３，２８の配水流量パターンより、各配水場の現在時間帯の配水流量値を抽出する。抽出された配水流量値を各配水場の配水ポンプの運転を制御する制御装置２２，２７，３２に対し送信し、各配水場１８，２３，２８の配水ポンプ２１，２６，３１の運転を制御する。 （もっと読む）

単一の質量流量を少なくとも二つの流れライン（１２２ａ、１２２ｂ）に分割するための流量比率制御装置（１０６）を含むガス送出システム用の反対称最適制御アルゴリズムを提供する。各流れラインは、流量計（１２４）及びバルブ（１２６）を含む。流量比率制御装置の両バルブは、単一の入力信号出力ＳＩＳＯ制御装置と、インバーターと、二つの線型飽和器とを含む反対称最適制御装置によって、比率フィードバックループを通して制御される。ＳＩＳＯ制御装置の出力を、二つのバルブに加えられる前に分割し変更する。二つのバルブ制御コマンドは、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置に対し、実際上、反対称である。これらの二つのバルブコマンドが、夫々の線型飽和器を、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置で二つの飽和限度の一方として通過するため、一方のバルブが、任意の時期に、許容可能な最大バルブコンダクタンス位置に保持されると同時に、他方のバルブが、流量比率を維持するように能動的に制御されるという正味の効果が得られる。
（もっと読む）

【課題】 生産用装置の稼働状況に応じて冷却水を供給することで冷却水の供給動力を省くことができるとともに、容易且つ安価に生産用装置に組み込むことができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】 生産用装置の一部をなすドライポンプ１１に供給された冷却水を回収する回収管Ｐ２には、冷却水の温度を検出する冷却水温度検出部２１及び流量連続制御バルブ２３が設けられている。バルブコントローラ２２は、ドライポンプ１１の動作を制御するドライポンプコントローラ２４からドライポンプ１１の動作開始を示す旨の状態信号Ｓ２が出力された場合に、予め設定されたプログラムに従って流量連続制御バルブ２３の開口度を制御する。また、状態信号Ｓ２が出力されてから所定時間経過後は、冷却水温度検出部２１の検出結果に基づいて流量連続制御バルブ２３の開口度を制御する。 （もっと読む）