【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ１２４及びバルブ１２６が設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

デバイスの出力に応じてヒステリシスを特徴付ける方法が、第１の入力信号範囲にわたる入力信号をデバイスに適用すること（ステップ）を含み、その入力信号は、第１の入力信号範囲に依拠する第１の出力値範囲を伴う第１の出力を有するデバイスの機能を誘発する。その入力信号を第２の入力信号範囲にわたってそのデバイスにさらに適用し、その入力信号は、（ｉ）第２の入力信号範囲および（ｉｉ）デバイスのヒステリシスに依拠する第２の出力値範囲を伴う第２の出力を有するようにデバイスの機能を誘発する。次いで、第１の出力値範囲および第２の出力値範囲にわたり、第２の入力信号範囲と第１の入力信号範囲との差を測定する。質量流量コントローラバルブおよび質量流量コントローラを動作させる方法も意図されている。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置が相互干渉することなく設定器で設定された正確な流量を得ることができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路の開閉を調節するソレノイドバルブ２０と、このバルブを駆動するバルブ駆動回路２１を有する流量制御装置であって、入力されるアナログ電圧値またはアナログ電流値を所定のデジタル値またはアナログ値に変換して伝達するアナログ入力回路２３と、この入力回路から伝達されたデジタル値またはアナログ値を、設定された流量に応じた指示信号を出力する制御部２２と、制御部とバルブ駆動回路を電気的に絶縁すると共に、制御部からの指示信号をバルブ駆動回路へ伝達する信号伝達部と、アナログ入力回路及び制御部とを電気的に絶縁すると共に、アナログ入力回路及び制御部へ電源供給する絶縁型電源回路と、バルブ駆動回路へ電源供給する非絶縁型電源回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れるプロセスガスの流量制御の検定処理を行なうことができる流量制御装置及びその検定方法を提供する。
【解決手段】 流路４の流量を流量設定値になるように流量を制御しているときに、プロセスガスの流量検出値と、圧力検出値と、流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報とから構成される検定サンプリング情報の所定数を収集してこの流量設定値と関連付けて記憶する。そして、検定サンプリング情報として記憶された所定数の流量検出値とバルブ駆動制御情報について、その関連を示す関連係数（Ａ）を順次求め、この関連係数（Ａ）の値が予め設定した閾値の範囲を超えていると、新たに入力した流量検出値に基づいて求めてバルブ駆動制御情報と、予め検定処理用に登録したバルブ特性情報テーブルＫ１を参照して求めた基準となるバルブ駆動制御情報との差異量を求め、この差異量を検定情報としている。 （もっと読む）

【課題】流量センサ部自体にサーマルサイフォン現象対策を行わなくてもこれを防止できる集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構を提供する。
【解決手段】一対のセンサコイルからなる流量センサ１０が水平姿勢状態で本体ブロック１に設けられているマスフローコントローラ３と流体供給ラインＬの一部を構成するバルブ等とを繋ぐ繋ぎ流路ｔ_２，ｔ_３，ｔ_７，ｔ_８を有する複数の基板９１〜９４とを備えた集積タイプのマスフローコントローラにおいて、前記マスフローコントローラ３の前記基板９１〜９４への取付姿勢の変更に伴い前記流量センサ部１０においてサーマルサイフォン現象が生ずるのを回避すべく、前記基板９１〜９４とは異なる繋ぎ流路Ｎ_１，Ｎ_２を有する取替基板８０を設ける。 （もっと読む）

【課題】バルブを駆動するネジ部に生ずる咬み込みの問題を解消するとともに、装置の小型化を図ること。
【解決手段】バルブに連結されたステッピングモータ５と、ステッピングモータ５を制御するモータ制御装置６とを備え、モータ制御装置６は、パルスモータへ駆動パルスを与えるモータ制御部６６と、パルスモータ５に与えられた駆動パルス数をカウントするカウント部６７と、モータ制御部６７の駆動電源６１の電圧低下を検出する電圧低下検出部６５と、電圧低下検出部６５により電圧低下が検出された場合に、カウント部６７のカウント値を不揮発性メモリ６４に書き込む書き込み部６８とを具備するバルブ制御装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】各ラインの流体を任意の比率で混合させ、脈動した流体も流量制御することができ、コンパクトな構成で狭いスペースに設置可能であり、設置における配管及び配線接続が容易である流体混合装置の提供。
【解決手段】２つの供給ラインがそれぞれ第一、第二流体制御弁と、各ラインの実流量を計測し信号を出力する各流量計測器と、各流体制御弁を制御するための指令信号を出力する各制御部とを具備し、２つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる。第一流体制御弁は制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御し、第２流体制御弁は流路の開口面積を変化させて流体の流量を制御する。例えば、半導体製造用の洗浄液を得るためにフッ化水素酸または塩酸が１に対して純水が１０〜２００の比率で混合される。 （もっと読む）

【課題】流入量予測部の流入量予測モデルへの入力変数の個数を減少させることができ、この流入量予測部における流入量の予測を容易なものとすることができ、かつ流入水の水質を予測することができる雨水排水支援システムおよび雨水排水支援方法を提供する。
【解決手段】複数地点の降雨量を計測する降雨量計測部１０と、計測された降雨量時系列データの行列に対して線形写像を行う線形写像部４１とを備えている。流入量予測部４２は、線形写像データを用いて雨水流入量を予測する。雨水排水支援システムは、非線形ハマーシュタインモデルを用いたシステム同定手法により流入水質を予測する。雨水排水制御システムは、ポンプ施設に対して水が流入する所定の上流地点における水位を検出する検出手段と、予め設定されている雨水ポンプの起動水位および停止水位の少なくとも一方を水の流下状況に応じて変更する変更手段とを備えている。 （もっと読む）