【課題】複数の流体機器ユニットとそれらにセットで取り付けられる外部流体機器とを効率よくコンパクトに配置可能な流体機構を提供する。
【解決手段】各流体機器ユニットの長手方向側面同士を密着させて配置するとともに、外部流体機器Ｖ１、Ｖ２を、流体機器ユニットの幅方向外側に並べて配置するようにした。さらに、外部流体機器Ｖ１、Ｖ２と流体機器ユニットとを接続する流入経路９ｃ及び流出経路９ｄにおいて、短い流入経路９ｃは長い流出経路９ｄに接続するようにした。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ占有面積の小さいコンパクトな構成で二次流路２への流体の流量分配が可能な流量制御システム１００を構築する。
【解決手段】
仮想平面と平行に延伸する一次流路１と、前記仮想平面方向から視て前記一次流路１と交差するとともに、その交差ポイントにおいて前記一次流路１と接続されて該一次流路１を流れる流体の一部が流れ込むように構成された複数の二次流路２と、前記交差ポイントに設定された設置領域４に配置され、前記一次流路１から二次流路２に流れ込む流体流量の割合を定める流体抵抗素子３とを設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】小型で、かつ、流量制御の応答性が優れた流量制御装置を提供することである。
【解決手段】力が作用することによって変形する変形可能部を有する流体通路と、前記流体通路の前記変形可能部に、異なる方向から、力を作用させる力作用手段とを具備してなり、前記力作用手段は、チャンバ１０、１３と、該チャンバ１０、１３の少なくとも一部を構成する膜９，１２と、前記チャンバ１０、１３内の圧力を制御する圧力制御手段とを具備してなり、前記圧力制御手段による前記チャンバ１０、１３内の圧力変動による前記膜９，１２の変形によって、前記流体通路の前記変形可能部３には、異なる位置で、変形が起きるよう構成されてなり、前記流体通路の前記変形可能部３の変形度によって該流体通路を流れる流体の流量が制御される流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】流量測定装置１０や流量制御装置１００においてコンパクト性を損なうことなく、流量測定精度を向上させる。
【解決手段】
測定対象流体が流れる流体抵抗部材３と、対象流体が導かれる感圧面に貼り付けられた抵抗素子２Ｂの電気抵抗値の変化から流体抵抗部材３の上流側圧力を測定することが可能であるとともに抵抗素子２Ｂの温度による電気抵抗値の変化から前記感圧面の温度を測定することが可能な上流側圧力センサ２１と、流体抵抗部材３を流れる対象流体の温度を測定可能な位置に配置された温度検知手段８と、上流側圧力センサ２１で測定された上流側流路の圧力及び前記流体抵抗部材の圧力−流量特性に加えて、上流側圧力センサ２１で測定された圧力センサ温度及び温度検知手段８で測定された流体抵抗部材３における対象流体温度に少なくとも基づいて、当該対象流体の流量を算出する流量算出部９とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】格段に優れた応答性を得ることができてガス濃度の安定化が図れ、しかも、従来のパネル型形状をそのまま維持できる集積型ガスパネル装置を提供する。
【解決手段】集積型ガスパネル装置１のパネル体２を、少なくとも主流路Ｒ２を形成する主流路用ブロック体３２と、枝流路Ｒ１を形成する枝流路用ブロック体３１とからなるものにし、その主流路用ブロック体３２を中心として左右両側に対向するように前記枝流路用ブロック体３１を配置する。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

【課題】従来の流量調節装置では、流体の流れ方向がケーシング内において略９０度屈曲するため流動抵抗が増し、そのためケーシングの内部空間を大きくしないと流量を確保できない。また、流量調節機構を駆動するためのモータがケーシングの上部に載置されるため、流量調節装置全体としては更に大型化するという不具合が生じる。
【解決手段】モータのロータをケーシング内に配設すると共に、ロータを挟んで対向する位置に上記流入部と流出部とを各々設けてガスがロータを配設した部分を通過するように構成し、上記流量調節部を流入部と流出部とのいずれか一方に設けた。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化と腐食性ガスに対する耐腐食性を兼ね備えたマスフローコントローラシステムを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラシステム５００は、腐食性ガスが導入され、前記腐食性ガスに対する耐腐食性処理が施された第１マスフローコントローラ１００と、非腐食性ガスが導入される第２マスフローコントローラ２００と、前記第１マスフローコントローラに複数種類の腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第１ガス配管３１、３２、３３と、前記第２マスフローコントローラに複数種類の非腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第２ガス配管３４、３５、３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 バルブとリミットスイッチとを合わせた流体制御器のコンパクト化が可能な流体制御器を提供する。
【解決手段】 バルブ6は、ケーシング21の開口から突出する突出部を有しバルブ6の開閉に伴って直線移動してリミットスイッチ7に当接する移動部材としてのピストン26を有している。リミットスイッチ7は、ピストン26に臨まされて、リミットスイッチ位置決め手段8を介して位置調整可能に取り付けられている。リミットスイッチ位置決め手段8は、ボディ2に固定された第１のボルト42と、リミットスイッチ7に固定された第２のボルト43と、両ボルト42,43を連結する連結ねじ44とを有しており、第１のボルト42と第２のボルト43とでピッチが異なるものとされている。 （もっと読む）

【課題】小型且つ軽量な構成で、カソード側電極に供給される酸化剤ガスの流量調整を行うとともに、消費電力を良好に低減させることを可能にする。
【解決手段】燃料電池システム１０は、燃料電池スタック１４から使用済みの前記酸化剤ガスを排出するオフガス供給配管４０に設けられ、前記燃料電池スタック１４に供給される前記酸化剤ガスの圧力を調整する圧力調整装置４２を備える。圧力調整装置４２は、油圧シリンダ４６と、前記油圧シリンダ４６の作用下に、オフガス供給配管４０の流れ方向と交差する方向に進退するとともに、前記オフガス供給配管４０を閉塞可能な弁部材４８と、前記弁部材４８を前記油圧シリンダ４６による押圧方向とは逆方向に押圧するリターンスプリング５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら大流量の流量制御弁を提供する。
【解決手段】弁座面４０１を有する弁座部材４と、弁座面４０１に着座する着座面６０１を有する弁体部材６と、を具備し、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流入口が形成され、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流出口が形成されており、それら流入口及び流出口が、着座状態において重ならないように形成され、入口が形成された部材の内部に、流入路及び流入口に連通する内部流入路４１が形成され、流出口が形成された部材の内部に、流出路及び流出口に連通する内部流出路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 コストを減少するとともに、スペースの減少も可能とした流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体制御装置1は、流体制御部2と流体導入部3とを有している。流体導入部3は、３つに分けられており、入口側に配置されてそれぞれ２×Ｎ／２個の開閉弁23からなる第１および第２入口側遮断開放部5,6と、４×Ｍ個の開閉弁23からなり、第１および第２入口側遮断開放部5,6と流体制御部2との間に配置された流体制御部側遮断開放部7とからなる。 （もっと読む）

【課題】機械的な手段以外の方法で流体の流量を調節することにより、装置全体を小型化する。
【解決手段】誘電体層２の中央に、流体が通過する貫通孔２ａが設けられる。電極層３ａ・３ｂは、誘電体層２の表裏に、貫通孔２ａの周囲に輪帯状に形成される。電極層３ａ・３ｂに電圧を印加して誘電体層２を変形させることにより、貫通孔２ａの開口径を変化させる。これにより、貫通孔２ａを通過する流体の流量を調節することができ、流量調節にあたり、従来のような機械的な手段を用いなくても済む。 （もっと読む）

【課題】複雑なプロセスガスを供給することができ、床占有面積を小さくすることができるガス供給装置を提供すること。
【解決手段】第１ライン及び第２ラインを持つガス供給装置で、第１ラインは第１マスフローコントローラＭＢに接続されており、第２ラインは第２マスフローコントローラＭＣに接続されており、第１ラインは第１弁ＶＢ３及び第２弁ＶＢ２を有し、第２ラインは第３弁ＶＣ３及び第４弁ＶＣ２を有し、４種類のガスＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを供給する供給ポートと接続しているガス供給装置において、ガスＡとガスＢは同じガスＧＡＳ６であること、第１弁ＶＢ３及び第３弁ＶＣ３はガスＧＡＳ６を供給する供給ポートと接続していること、第２弁ＶＢ２はガスＧＡＳ５を供給する供給ポートと接続していること、第４弁ＶＣ２はガスＧＡＳ８を供給する供給ポートと接続している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガスフローメータの追加設置を行わずにシステムの小型化を図りつつ、ガス流量測定部に異常があった場合には、異常を検出して自己診断を行うこができる流量制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流体を供給する主配管１０と、
該主配管１０に並列に接続されたセンサ管２０と、
該センサ管２０を流れる前記流体の流量を独立して測定する第１の流量測定手段３０及び第２の流量測定手段４０と、
該第１の流量測定手段４０と該第２の流量測定手段４０の測定結果同士を比較し、該測定結果同士が等しいか否かを判定する比較回路５０と、
該測定結果同士が等しいときには、流量制御状態を維持し、該測定結果同士が等しくないときには、流量アラーム信号を出力する制御手段６０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、流体の圧力及び／又は流量を制御する方法に関する。この方法のため、パイプライン（１５）を流れる流体から流れエネルギーが引き出される。このエネルギーは、そのうちの少なくとも一部が電気エネルギーに変換され、流体の流量及び／又は圧力の電気制御（６５）に使用される。パイプライン（２０）における流体の流量及び／又は圧力を制御する装置は、流れる流体から流れエネルギーを引き出し、このエネルギーのうちの少なくとも一部を電気エネルギーに変換するように構成された、少なくとも１つの発電機（３５）を備える。本装置は、パイプライン（２０）における流体の流量及び／又は圧力を、発電機（３５）によって給電される電気駆動機構をもって制御する手段（６５）を備える。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置が相互干渉することなく設定器で設定された正確な流量を得ることができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路の開閉を調節するソレノイドバルブ２０と、このバルブを駆動するバルブ駆動回路２１を有する流量制御装置であって、入力されるアナログ電圧値またはアナログ電流値を所定のデジタル値またはアナログ値に変換して伝達するアナログ入力回路２３と、この入力回路から伝達されたデジタル値またはアナログ値を、設定された流量に応じた指示信号を出力する制御部２２と、制御部とバルブ駆動回路を電気的に絶縁すると共に、制御部からの指示信号をバルブ駆動回路へ伝達する信号伝達部と、アナログ入力回路及び制御部とを電気的に絶縁すると共に、アナログ入力回路及び制御部へ電源供給する絶縁型電源回路と、バルブ駆動回路へ電源供給する非絶縁型電源回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 流体制御弁を高温の圧力流体を供給する流体供給源と接続する場合に、外部に熱交換器を設けなくても、部材の熱膨張による影響がなく、圧力や流量を精度よく制御できる流体制御弁を提供することである。
【解決手段】 ボディ１に、弁部材１１，１３を組み込むとともに、この弁部材１１，１３に対して圧力流体を導く流入ポート７と、弁部材１１，１３によって圧力もしくは流量を制御された流体を流出させる流出ポート８と、流体供給源からの圧力流体を導く導入ポート６とを設け、上記導入ポート６と流入ポート７とを接続する冷却用迂回路９を、上記弁部材よりも外側におけるボディ１内に設ける。そして、この冷却用迂回路９を通過する過程で、高温の圧力流体がボディ１外の空気と熱交換して冷却されるようにした。 （もっと読む）

【課題】幅広い流量範囲で安定して精度良く流量を制御でき、コンパクトで、メンテナンスや部品交換が容易で、シール性が良い流体制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】計測器からの電気信号に基づいて流体制御配管部材の開度をＦＢ制御する制御部とを具備し、流体制御配管部材が、一端にチューブに水密された状態で挿着される挿入部と他端に接続部と中央に鍔部を有する第一、第二連結体と、中央に貫通孔が形成され貫通孔の一端に挿入部に挿着されたチューブが嵌着される拡径部が設けられた保持体を具備する。保持体の貫通孔にチューブを貫通させチューブ両端に第一連結体及び第二連結体の挿入部を挿着したものを保持体の拡径部に嵌着し、第二連結体の鍔部と保持体とが流体制御配管部材と計測器との間で圧接された状態で固定され、第二連結体の接続部と計測器の流体流入口または流体流出口が直接接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】 バルブ等の他の構成部材と同じベース取付け部を有することでガス供給ラインを小型化できる集積タイプのマスフローコントローラを提供することである。
【解決手段】 本体ブロック１に流体入口８ａと流体出口８ｂを形成し、これら流体入口８ａと流体出口８ｂを接続する流体流路１１中に制御バルブ３１を設け、更に、流体入口８ａと制御バルブ３１との間に、流体Ｇをバイパスさせるバイパス素子７と、流体Ｇの流量測定を行う流量センサ部１０とを並列的に設け、前記流量センサ部１０からの流量測定信号と流量設定信号とを比較制御回路において比較し、この比較制御回路から出力される制御信号に基づいて制御バルブ３１の開度を制御するようにしたマスフローコントローラ３であって、前記本体ブロック１内に前記バイパス素子７を設けるとともに、前記本体ブロック１の側面ｎに前記流量センサ部１０を設ける一方、前記本体ブロック１の上面ｓに前記制御バルブ３１を設けている。 （もっと読む）