【課題】混合ガスの濃度および流量を高速かつ正確に制御できる混合ガス流量制御装置を提供する。
【解決手段】各原料ガス供給源１ａ〜１ｄに原料ガス供給管路２ａ〜２ｄが接続され、原料ガス供給管路にガス混合管路３が接続される。各原料ガス供給管路に第１の流量制御バルブ４ａ〜４ｄが設けられる。ガス混合管路に第２の流量制御バルブ５の入口が接続される。ガス混合管路にオーバーフロー管路６が分岐接続される。第２の流量制御バルブの出口に混合ガス供給管路７が接続される。制御部８が、混合ガス供給管路に供給すべき混合ガスの濃度及び流量設定値に従って、第１の流量制御バルブの開度を調整すると同時に、第１の流量制御バルブの開度と第１の流量制御バルブの原料ガスに対するコンバージョンファクタとから算出した第２の流量制御バルブの混合ガスに対するコンバージョンファクタに基づき、第２の流量制御バルブの開度を調整する。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量測定機構、又は当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置に流路ＭＬ上に設けられた流体抵抗４と、前記流体抵抗４の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ３と、前記流体抵抗４に対して前記圧力センサ３が設けられていない側の圧力を算出する圧力算出部６と、前記測定圧力値と、前記圧力算出部６で算出された算出圧力値と、に基づいて流量を算出する流量算出部７と、前記測定流量値と、算出流量値と、に基づいて当該測定流量値の異常を診断する異常診断部８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】煩雑な操作を行うことなく複数のガス種に対して流量制御を行うことが可能な流量制御装置を提供することである。
【解決手段】ガス通路２８に流れるガス流量を制御する流量制御装置３０において、主ガス管５０と、これに流れるガスの流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段５２と、流量を制御する流量制御弁機構５４と、外部より入力される流量指示信号Ｓｂと目標流量との関係を表すための、複数のガス種に対応した複数の換算データを記憶する換算データ記憶部５６と、外部より入力されるガス種選択信号Ｓａに基づいて複数の換算データから対応する換算データを選択すると共に流量指示信号Ｓｂに基づいて前記目標流量を求め、目標流量と流量信号とに基づいて流量制御弁機構を制御する流量制御本体５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】流量制御バルブに生じている異常を高い信頼性とともに診断することができ、例えば、流量制御バルブに異常が生じた場合には早急に適切なメンテナンス等を行うことができる流量制御装置及びそれに用いられる診断装置又は診断用プログラムを提供する。
【解決手段】第２測定流量値又は測定圧力値に基づいて第１測定流量値の異常を診断する第１測定流量診断部５と、前記第１測定流量診断部５が、前記第１測定流量値に異常が無いと診断している場合に、流量制御バルブ２の異常を診断するバルブ診断部６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置１００に、前記流路ＭＬ上に設けられた流体抵抗４と、流体抵抗の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ３と、前記測定流量値又は前記圧力センサで測定される測定圧力値に基づいて、前記流路ＭＬを流れる流体の状態が安定状態であるかどうかを判定する安定状態判定部５と、前記安定状態判定部５が流体の状態が安定状態であると判定している場合に、前記測定圧力値の変化量に基づいて前記測定流量値の異常を診断する異常診断部６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ１２４及びバルブ１２６が設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

【課題】弁体の作動安定性を向上しながらも、計量面の形状測定を可能とする弁体を備えた流量制御弁を提供する。
【解決手段】ＰＣＶバルブ４０は、ケース４２とバルブ体６０とスプリング６８とを備える。ケース４２のガス通路５０に形成された計量孔５３と、バルブ体６０の計量面６２とにより計量部６６が構成される。バルブ体６０の軸方向の移動により流量を制御する。バルブ体６０は、ガイド７０，８０を備える。前側のガイド７０は、計量面６２上に放射状に突出された複数のリブ部７２により構成される。後側のガイド８０は、バルブ体６０の後端部に鍔状に形成されかつ切欠部８４を有する鍔部６３により構成される。切欠部８４は、計量面６２の形状測定に際して基準となる基準面８４として形成される。 （もっと読む）

【課題】流体の温度の範囲や流体の種類の制限を受け難く、長期間に亘り安定的に作動する圧力補償型の流量制御弁を提供する。
【解決手段】流体入口２２及び流体出口２８を有するハウジング１４と、ハウジング内に往復動可能に配置されハウジングと共働してそれぞれ流体入口及び流体出口と連通する容積可変の第一の室３０及び第二の室３２を郭定する弁体２４と、弁体を第一の室の容積が減少する方向へ付勢する付勢手段としての圧縮コイルばね３６とを有する流量制御弁１０。弁体２４には第一及び第二の室を相互に連通接続する連通路３４が設けられており、弁体が圧縮コイルばねのばね力に抗して第一の室の容積を増大する方向へ移動すると、流体出口２８に接近し第二の室と流体出口との連通度合を低減し、これにより流量制御弁１０を通過する流体の流量が一定に維持される。 （もっと読む）

【課題】流路を構成する部材間の密閉性を高め、ハロゲン系ガスに対しても使用可能な耐腐食性を有するＭＥＭＳ型流量センサを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、流量センサ１０は、基材１１の表面と流路構成基材２１の裏面とが対向するように貼り合わせて、固定部材によって固定される。基材１１は、表面上の流路形成領域に、一対の感熱膜１２と、一対の感熱膜間の中間に位置するヒータ膜１３と、流路保護膜１５と、を有し、流路形成領域以外の領域上に、耐腐食性を有する金属保護膜を有する。流路構成基材２１の裏面の流路形成領域に形成される溝と、流路形成領域以外の他の領域と溝とを区切り、他の領域に比して突出する側壁構成部と、を有し、耐腐食性を有する材料によって構成される。流路構成基材２１の側壁構成部は、基材１１の金属保護膜上に位置するように圧着される。 （もっと読む）

【課題】単一のセンサを使って流量を制御できるフロー制御装置を提供すること。
【解決手段】制御装置（３０）は、フローを受け入れるための流入口（３２）；フローをフロー・システムの他の構成要素に導くための流出口（３４）；圧力低減エレメント（３６）；上流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント（３６）の上流の圧力センサ（３８）；下流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント（３６）の下流の圧力センサ（４０）；プロセッサ、メモリ、及び流体の流量を算定しバルブ制御信号を発生させるためのソフトウエア命令を包含させることが可能なコントローラ（４２）；ならびに、バルブ制御信号に反応して流体フローを調節する、ちょう型バルブ、油圧駆動バルブなどのバルブ（４４）を含む。 （もっと読む）

【課題】共通の体積流量計を用いて種類の異なるシールドガスの流量を制御することのできるシールドガス流量制御装置を提供する。
【解決手段】種類が異なるシールドガス３Ａ，３Ｂを供給する複数のシールドガス供給源３と、レーザ溶接加工位置へシールドガスを噴射するガス噴射ノズル１３と、当該ガス噴射ノズル１３と前記シールドガス供給源３とを接続した接続管路１４中に配置され、前記ガス噴射ノズル１３へのシールドガスの流量を制御するための体積流量計１１と、当該体積流量計１１に流入されるシールドガスの圧力を所望の圧力に制御自在の圧力制御弁９とを備え、前記体積流量計１１に対してシールドガスの流量を指令する流量指令制御部２９に、前記圧力制御弁９の設定圧とシールドガスのガス種とガス流量とを関連付けして格納した流量・圧力データテーブル３５を備えている。 （もっと読む）

【課題】小型で、かつ、流量制御の応答性が優れた流量制御装置を提供することである。
【解決手段】力が作用することによって変形する変形可能部を有する流体通路と、前記流体通路の前記変形可能部に、異なる方向から、力を作用させる力作用手段とを具備してなり、前記力作用手段は、チャンバ１０、１３と、該チャンバ１０、１３の少なくとも一部を構成する膜９，１２と、前記チャンバ１０、１３内の圧力を制御する圧力制御手段とを具備してなり、前記圧力制御手段による前記チャンバ１０、１３内の圧力変動による前記膜９，１２の変形によって、前記流体通路の前記変形可能部３には、異なる位置で、変形が起きるよう構成されてなり、前記流体通路の前記変形可能部３の変形度によって該流体通路を流れる流体の流量が制御される流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の二次側圧力の変動を低減して、流量制御機器から排出するガス流量を高精度に検定でき、測定用タンク内の圧力降下率を一定に維持する。
【解決手段】プロセスガス供給源からのガスを第１ライン遮断弁２２と第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由しプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスライン２と、共用ガス供給源からのガスを第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由し排出すべく、分岐接続された共用ガスライン１とを有し、共用ガスライン１には、共用遮断弁１２と測定用タンク１３と第１圧力センサ１４１と圧力調整弁１５とを備え、第１ライン遮断弁２２及び共用遮断弁１２を弁閉したとき、測定用タンク１３内におけるガスの圧力降下を第１圧力センサ１４１により測定し流量制御機器２４の流量検定を行うガス流量検定システムにおいて、圧力調整弁１５は、該圧力調整弁１５の二次側圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】流量測定装置１０や流量制御装置１００においてコンパクト性を損なうことなく、流量測定精度を向上させる。
【解決手段】
測定対象流体が流れる流体抵抗部材３と、対象流体が導かれる感圧面に貼り付けられた抵抗素子２Ｂの電気抵抗値の変化から流体抵抗部材３の上流側圧力を測定することが可能であるとともに抵抗素子２Ｂの温度による電気抵抗値の変化から前記感圧面の温度を測定することが可能な上流側圧力センサ２１と、流体抵抗部材３を流れる対象流体の温度を測定可能な位置に配置された温度検知手段８と、上流側圧力センサ２１で測定された上流側流路の圧力及び前記流体抵抗部材の圧力−流量特性に加えて、上流側圧力センサ２１で測定された圧力センサ温度及び温度検知手段８で測定された流体抵抗部材３における対象流体温度に少なくとも基づいて、当該対象流体の流量を算出する流量算出部９とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】格段に優れた応答性を得ることができてガス濃度の安定化が図れ、しかも、従来のパネル型形状をそのまま維持できる集積型ガスパネル装置を提供する。
【解決手段】集積型ガスパネル装置１のパネル体２を、少なくとも主流路Ｒ２を形成する主流路用ブロック体３２と、枝流路Ｒ１を形成する枝流路用ブロック体３１とからなるものにし、その主流路用ブロック体３２を中心として左右両側に対向するように前記枝流路用ブロック体３１を配置する。 （もっと読む）

【課題】小流量の流量制御と大流量の流量制御とを高精度に達成する流量制御装置を実現する。
【解決手段】流体通路１０は、バイパス流路１６とセンサ用流路１２，１４を備える。センサ用流路１２等は、バイパス流路１６を流れる前の流体から一部を分岐させ、その後、バイパス流路１６を流れた流体に合流させる。センサ用流路１４は、センサ用流路１２と等しい流路断面と、より長い流路とを有する。流量センサユニット３０は、各センサ用流路について、上流側抵抗器と下流側抵抗器と出力部を備える。上流側抵抗器３１２，３２２は、センサ用流路１２内の流体を加熱する。下流側抵抗器３１４，３２４は、上流側抵抗器３１２，３２２よりも下流に設けられ流体によって温度が変化する。出力部３１６，３１８は、上流側と下流側抵抗器の抵抗の差に応じた信号を出力する。センサ用流路１２，１４は、流体を分岐させる地点から流体を合流させる地点までの距離が等しい。 （もっと読む）

【課題】応答性の良い流量制御を、容易な設定で実現する。
【解決手段】流量制御装置１００において、コンパレータ４０は、流量の指令値信号Ｖｉ１と、センサ出力信号Ｖｓに応じた信号Ｖｉ２との比較に基づき第１の制御電圧Ｖｒｅｆを出力する。フィードバック電流生成部３０は、センサ出力信号Ｖｓと、指令値信号Ｖｉ１に応じた信号Ｖｉ２と、の差に応じたフィードバック電流Ｉｆｂを生成する。フィードバック電圧生成部５０は抵抗器である。フィードフォワード電流生成部２０は、指令値信号Ｖｉ１に応じてフィードフォワード電流Ｉｆｆを生成する。合成部６０は、フィードバック電流Ｉｆｂとフィードフォワード電流Ｉｆｆの和に応じた電圧をフィードバック電圧Ｖｆｂに加算した電圧である第２の制御電圧Ｖｄｒｖ＊を生成する。弁部９０は、第１の制御電圧Ｖｒｅｆと第２の制御電圧Ｖｄｒｖ＊に応じて制御される、流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁周りの隙間にゴミを噛み込んだときに、そのゴミ噛み状態を容易に解除して正常な状態に復帰させることのできるパイロット式の流量調節弁装置を提供することを目的とする。
【解決手段】パイロット式の流量調節弁装置２２において、主弁３８の開方向の最大移動量を制限する主弁３８のストッパ１０１を設けるとともに、主弁３８が最大移動量まで移動した後、パイロット弁６０を主弁３８の最大移動量に対応する位置から更に開方向に移動可能とするパイロット弁６０の移動空間Ｋを設けておき、最大流量での吐水時に主弁３８を制限以上に移動させず、パイロット弁６０だけを更に開方向に移動させてパイロット弁隙間を大とし、噛み込んだゴミを下流側へと流し出すようにする。 （もっと読む）

【課題】基本機能を犠牲にすることなく、確実に、調節弁の開度制御の速応性や整定性などの制御性を向上させる。
【解決手段】供給電流Ｉが取り得る電流の範囲を複数の電流範囲に区分し、この電流範囲の区分毎に基本機能回路部７が実施する調節弁２の開度制御の制御形態（単ループ制御、二重ループ制御など）を定めたテーブルＴＢ１をメモリ５に格納しておく。ＣＰＵ４は、供給電流Ｉの実際値を検出し、基本機能回路部７に振り向けることが可能な余剰電流があるか否かを判断する。この場合、４ｍＡを超える供給電流を余剰電流とみなし、その余剰電流を基本機能回路部７に配分するように、電流調整部８へ指令を送る。また、供給電流Ｉの区分に応じ、テーブルＴＢ１に定められている制御形態で開度制御を実施するように、基本機能回路部７に指示する。 （もっと読む）

【課題】開又は閉指令を、開度に対応した時間、出力することで、弁を目標開度に操作する場合、目標開度近くで開／閉方向の反転動作を頻繁に繰り返すことなく、目標開度とすることが可能な弁開度制御システムを提供する
【解決手段】弁１１を所望の開度に開閉制御する弁開度制御システムであって、弁１１の開閉速度に基づき、設定された所望の目標開度に達するまでの開又は閉指令の出力時間を出力時間演算手段１７で求め、 この出力時間の間、出力手段と１８により弁１１に開又は閉指令を出力する。この際、弁１１の実測開度を開度制御手段１９に入力し、この実測開度と目標開度との差が、予め設定した不感帯の範囲に入ると、弁１１に対する開又は閉指令の出力を停止させる。 （もっと読む）