【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適（ＭＡＯ）制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】ＭＡＯ制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ１２４及びバルブ１２６が設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたＳＩＳＯフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのＳＩＳＯ制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、ＭＡＯ制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ占有面積の小さいコンパクトな構成で二次流路２への流体の流量分配が可能な流量制御システム１００を構築する。
【解決手段】
仮想平面と平行に延伸する一次流路１と、前記仮想平面方向から視て前記一次流路１と交差するとともに、その交差ポイントにおいて前記一次流路１と接続されて該一次流路１を流れる流体の一部が流れ込むように構成された複数の二次流路２と、前記交差ポイントに設定された設置領域４に配置され、前記一次流路１から二次流路２に流れ込む流体流量の割合を定める流体抵抗素子３とを設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 開閉弁の異常が生じても、装置を停止することなく、できるだけ目標の設定流量に近い流量で運転すること。
【解決手段】 複数の異なる設定流量（または設定関連指標）に対応して開閉弁９Ａ〜９Ｃを異なる開閉パターンに制御する流量調節装置であって、開閉異常が生じている開閉弁９Ａ〜９Ｃを特定する異常特定制御と、開閉異常が生じている開閉弁９Ａ〜９Ｃの開閉状態を含み、かつ正常時の開閉パターンに対応する設定流量（または設定関連指標）に近いバックアップ設定流量（またはバックアップ設定関連指標）の開閉パターンにより、開閉弁９Ａ〜９Ｃを制御するバックアップ制御とを行う。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の二次側圧力の変動を低減して、流量制御機器から排出するガス流量を高精度に検定でき、測定用タンク内の圧力降下率を一定に維持する。
【解決手段】プロセスガス供給源からのガスを第１ライン遮断弁２２と第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由しプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスライン２と、共用ガス供給源からのガスを第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由し排出すべく、分岐接続された共用ガスライン１とを有し、共用ガスライン１には、共用遮断弁１２と測定用タンク１３と第１圧力センサ１４１と圧力調整弁１５とを備え、第１ライン遮断弁２２及び共用遮断弁１２を弁閉したとき、測定用タンク１３内におけるガスの圧力降下を第１圧力センサ１４１により測定し流量制御機器２４の流量検定を行うガス流量検定システムにおいて、圧力調整弁１５は、該圧力調整弁１５の二次側圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】格段に優れた応答性を得ることができてガス濃度の安定化が図れ、しかも、従来のパネル型形状をそのまま維持できる集積型ガスパネル装置を提供する。
【解決手段】集積型ガスパネル装置１のパネル体２を、少なくとも主流路Ｒ２を形成する主流路用ブロック体３２と、枝流路Ｒ１を形成する枝流路用ブロック体３１とからなるものにし、その主流路用ブロック体３２を中心として左右両側に対向するように前記枝流路用ブロック体３１を配置する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、柔軟に液量を変更でき、節水をおこなうことが可能な給水システムを提供することにある。
【解決手段】給液システム１０は、液体１２が流れる配管１４、配管１４に設けられたバルブ１６ａ，１６ｂ，１６ｃ、液体１２を溜めるタンク１８、タンク１８内の液面レベルを検知する液面レベルセンサ２０、液体１２の供給量を選択するスイッチ、およびバルブ１６ａ，１６ｂ，１６ｃの開閉を制御する制御盤２２を備える。スイッチＳ１，Ｓ２によって簡単に一定量の液体１２を供給することができ、節水が可能である。必要に応じて連続した液体１２の供給も可能であり、使い勝手がよい。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラの流量制御バルブのより長期間の使用を可能にするとともに、流量設定値を減少させた場合に実流量をより正確に制御可能にする。
【解決手段】流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、流量測定値と流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７とを備えており、前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値を、流量設定値を所定量以上減少させた時点から所定期間である減少変化期間において、減少前の設定流量値と減少後の設定流量値との変化分を用いて得られる演算値が小さくなれば大きな値が算出される関数を用いて算出している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、応答速度に優れた分流制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】単一の流路を流通するガスを複数の２次流路に夫々設けられた流量検出器および制御弁と、前記制御弁を操作するための情報が記憶された記憶手段を備え、前記流量検出器が検出した実流量に対応する検出信号が入力されるとともに前記２次流路における指令された目標分流比および前記検出信号に基づき、分流比の制御が開始された後の実分流比の立ち上がり時における立上初期、立上初期に引き続く立上中期、立上中期に引き続く立上終期の各時期で、前記制御弁の開度を操作する弁開度信号値を算出し、当該弁開度信号値を開度信号として前記制御弁に出力する制御部とを有する分流制御装置である。 （もっと読む）

【課題】小型化された校正ユニットにより、より迅速且つ高精度で行える、ビルドアップ（又はＲＯＲ）法による流量制御器の流量校正方法を提供する。
【解決手段】ガス供給路ＬにビルドアップタンクＢＴと開閉弁Ｖ_１及び開閉弁Ｖ_２と温度検出器Ｐｄ及び圧力検出器Ｔｄとから成る校正ユニット５を分岐状に連結し開閉弁Ｖ_２を真空排気装置に接続し、先ず各流量制御器の開閉弁Ｖｏ_１〜Ｖｏ_ｎ及びガス使用箇所の開閉弁Ｖ_０を閉鎖して開閉弁Ｖ_２及び開閉弁Ｖ_１を開放、次に被校正流量制御器の開閉弁のみを開放して設定流量のガスを校正ユニット５へ流入させ、時刻ｔ_０に於いてタンク内のガス温度及びガス圧力を計測し、その後開閉弁Ｖ_２を閉鎖してタンクＢＴ内のガスのビルドアップを行い、時刻ｔ_１に開閉弁Ｖ_１を閉鎖し、時刻ｔ_２にガス温度及びガス圧力を計測して各計測値からガス流量Ｑを演算して設定ガス流量と演算ガス流量Ｑとの対比により流量校正を行う。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化と腐食性ガスに対する耐腐食性を兼ね備えたマスフローコントローラシステムを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラシステム５００は、腐食性ガスが導入され、前記腐食性ガスに対する耐腐食性処理が施された第１マスフローコントローラ１００と、非腐食性ガスが導入される第２マスフローコントローラ２００と、前記第１マスフローコントローラに複数種類の腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第１ガス配管３１、３２、３３と、前記第２マスフローコントローラに複数種類の非腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第２ガス配管３４、３５、３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】
連通管で結合して水位を同一にすることができない複数の水槽に対して、共通のポンプにより水を循環させること。
【解決手段】
ポンプ１５は、複数の水槽１００、１０１からの水を合流して吸い込み、吐出した水を分岐して複数の水槽内に供給する。水槽１００、１０１からポンプ１５への還流路１４には各水槽毎に循環水量が設定された仕切弁２０ａ、２０ｂが設けられている。ポンプ１５から水槽１０１への流路には、水槽１０１に対して設定されている循環水量よりも大きな流量で供給する「開状態」或いは、小さい流量で供給する「閉状態」のいずれかをとるように設定された制御弁２３ｂが設けられ、水槽１０１の水位が予定された水位範囲内を下回るとき「開状態」に制御弁２３ｂを設定し、上回るとき「閉状態」に制御弁２３ｂを設定する。 （もっと読む）

【課題】 バルブとリミットスイッチとを合わせた流体制御器のコンパクト化が可能な流体制御器を提供する。
【解決手段】 バルブ6は、ケーシング21の開口から突出する突出部を有しバルブ6の開閉に伴って直線移動してリミットスイッチ7に当接する移動部材としてのピストン26を有している。リミットスイッチ7は、ピストン26に臨まされて、リミットスイッチ位置決め手段8を介して位置調整可能に取り付けられている。リミットスイッチ位置決め手段8は、ボディ2に固定された第１のボルト42と、リミットスイッチ7に固定された第２のボルト43と、両ボルト42,43を連結する連結ねじ44とを有しており、第１のボルト42と第２のボルト43とでピッチが異なるものとされている。 （もっと読む）

【課題】 水供給に何らかの異常が生じても高温の湯のみが誤って流出することが無く、安全性を確保できる混合弁システムを提供する。
【解決手段】 湯減圧弁３０の湯側隔壁部３２が、水減圧弁２０の二次側水流路１２における水の圧力を受けて湯側弁体３１を移動可能として配設され、二次側水流路１２に水が正常に流入しない場合には、湯側隔壁部３２に十分な水圧が加わらないことで、湯側弁体３１が湯側弁ばね３３の付勢に伴い移動して、一次側湯流路１３と二次側湯流路１４との間を閉鎖することから、水が水減圧弁２０に達しないような異常状態では、湯側弁体３１を直ちに湯の流路を閉鎖する位置まで移動させて、湯減圧弁３０から混合弁４１、４２への湯の流入を抑えられ、誤って高温の湯が混合弁４１、４２から下流側に流出する事態を防止でき、安全を確保できる。 （もっと読む）

【課題】コストを低減した制御装置により、粘性の低い液体と粘性の高い液体とを混合する場合であっても所望の比率で混合することができる。
【解決手段】複数の液体供給源Ｔ１，Ｔ２に接続する給液配管ＳＰ１，ＳＰ２を分岐させ、分岐管路を複数の混合タンクＭＴ１，ＭＴ２に接続して第１液体と混合用液体とからなる液体を供給可能とし、混合タンクに供給された第１液体の積算流量を測定し、この測定値から混合タンクに供給することが必要な液体の積算流量を算出し混合用液体の理論上の必要量を求め、混合タンクに供給された混合用液体の積算流量を測定し、この測定値と混合用液体の理論上の必要量とから混合用液体の不足量を算出し、混合用液体の積算流量の測定値が混合用液体の理論上の必要量に対し不足する場合には、予め求めておいた混合用液体の不足量に対する流量制御弁の弁開度に基づいて流量制御弁の弁開度を制御し混合用液体を混合タンクに供給する。 （もっと読む）

【課題】電磁弁からの放熱を適切に行うことのできるガス供給ユニット及びガス供給装置を提供する。
【解決手段】ガス供給ユニット１１は、内部に流路の設けられた流路ブロック２０と、流路を流通するガスの流通状態を変更する複数の電磁弁５０（５０Ａ）とを備えている。各電磁弁５０はコイル５２とコイル５２の外周に配置されたケース５３とを有している。流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、複数の電磁弁５０が搭載された上面２０ａを有している。複数の電磁弁５０は、上面２０ａの長手方向に沿って直列に配置されている。ガス供給ユニット１１は、複数の電磁弁５０の各ケース５３に跨るようにして上面２０ａの長手方向に沿って延びて各ケース５３に当接される平板部３１と、流路ブロック２０の上面２０ａに平板部３１を繋ぐ固定部３２とを有する伝熱プレート３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】添加ガスを一方のサブラインに供給する前後で、メインラインから第１及び第２サブラインへ分流されるメインガスの分流比を維持できる流体制御方法を提供すること。
【解決手段】メインライン１７から第１及び第２サブライン１９，２０にメインガスを分流させてチャンバ３１に供給するときに、第２サブライン２０に添加ガスを供給する場合に、第１及び第２サブライン１９，２０からチャンバ３１に供給されるメインガスの流量を第１及び第２サブライン１９，２０の圧力に基づいて制御する流体制御方法において、添加ガスを供給されない第１サブライン１９の圧力を一定にするように、第１サブライン１９の圧力を制御しながら、第２サブライン２０に添加ガスを供給する。 （もっと読む）

供給ライン、ドレンライン、出力ライン、及び、その供給ラインをその出力ラインに選択的に接続する、或いは、その出力ラインをそのドレンラインに接続する個別に切換可能な複数のオン／オフバルブを有するデジタル液圧制御装置の制御方法を説明する。その方法は、その出力ラインにおける流体の圧力及び／又は流量を含む制御量を検出するステップと、それら複数のバルブのうちの少なくとも１つを選択するステップであり、それら複数のバルブのうちの少なくとも１つは、その制御量が目標値に近づくようにその制御量を制御するための少なくとも１つのその選択されるバルブを通過する流体の量及び方向を制御するために切り換えられるところのステップとを含む。さらに、その方法は、個々のバルブのキャリブレーション、及び／又は、条件監視を含むテストシーケンスを実行するステップを含む。個々のバルブのキャリブレーションは、それらバルブのうちの２つであり、一方が供給ラインを出力ラインに接続し、他方が出力ラインをドレンラインに接続するところの２つのバルブを交互に開くこと、及び、その制御装置における検出された流量及び圧力の値にしたがって個々のバルブのためのキャリブレーション値を算出して設定することによる。条件監視では、それらバルブのそれぞれが順番に切り換えられ、そのバルブの切り換えに応じて、検出された流量及び圧力の値から、個々のバルブのバルブ開条件が推定される。
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流量制御デバイスが開示される。流量制御デバイスは、アーマチュアを含むソレノイドを含む。同様に、アーマチュアにはピストンが接続される。ピストンは一次オリフィスを含む。ピストンは開放位置および閉鎖位置を有する。ピストンに接続されるピストンばねが同様におよび少なくとも１つの二次オリフィスを含む。ピストンの、開放位置への運動は少なくとも１つの二次オリフィスを少なくとも部分的に開放し、ピストンの、閉鎖位置への運動は少なくとも１つの二次オリフィスを少なくとも部分的に閉鎖する。アーマチュアの運動はピストンの運動を作動させ、一次オリフィスから少なくとも１つの二次オリフィスを通じた流体の流れを制御する。 （もっと読む）

【課題】搬送流路に取り外し可能な流量調整装置を仮設し、該流量調整装置により搬送流路を流れる流体の流量を目標流量に自動的に調整することができる流体搬送設備を提供する。
【解決手段】流体送出装置から主ダクトに送出された流体の流量を調整すべく分岐ダクトとの分岐部と流体送出装置との間に第１流量調整部材が設置され、主ダクトから分岐された分岐ダクトには第２流量調整部材が取り付けられ、これら流量調整部材を通過する流量が流量調整装置により目標流量に調整され、この流量調整装置が、流量調整部材ごとに設置される流量調整ユニットと、これら各流量調整ユニットを操作する１つの情報処理装置とを備る。流量調整ユニットのそれぞれは、流量検知装置と、流量調整部材の操作部を作動させる作動装置と、操作部の操作力を検知する操作力検知装置と、作動装置に開閉部の開閉量変更値を出力する制御装置とを備えている。 （もっと読む）