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Fターム[5H307FF01]の内容

流量の制御 (3,234) | 検出変量、検出手段 (398) | 被制御流体の流量の検出 (190)

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【課題】混合ガスの濃度および流量を高速かつ正確に制御できる混合ガス流量制御装置を提供する。
【解決手段】各原料ガス供給源1a〜1dに原料ガス供給管路2a〜2dが接続され、原料ガス供給管路にガス混合管路3が接続される。各原料ガス供給管路に第1の流量制御バルブ4a〜4dが設けられる。ガス混合管路に第2の流量制御バルブ5の入口が接続される。ガス混合管路にオーバーフロー管路6が分岐接続される。第2の流量制御バルブの出口に混合ガス供給管路7が接続される。制御部8が、混合ガス供給管路に供給すべき混合ガスの濃度及び流量設定値に従って、第1の流量制御バルブの開度を調整すると同時に、第1の流量制御バルブの開度と第1の流量制御バルブの原料ガスに対するコンバージョンファクタとから算出した第2の流量制御バルブの混合ガスに対するコンバージョンファクタに基づき、第2の流量制御バルブの開度を調整する。 (もっと読む)


【課題】煩雑な操作を行うことなく複数のガス種に対して流量制御を行うことが可能な流量制御装置を提供することである。
【解決手段】ガス通路28に流れるガス流量を制御する流量制御装置30において、主ガス管50と、これに流れるガスの流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段52と、流量を制御する流量制御弁機構54と、外部より入力される流量指示信号Sbと目標流量との関係を表すための、複数のガス種に対応した複数の換算データを記憶する換算データ記憶部56と、外部より入力されるガス種選択信号Saに基づいて複数の換算データから対応する換算データを選択すると共に流量指示信号Sbに基づいて前記目標流量を求め、目標流量と流量信号とに基づいて流量制御弁機構を制御する流量制御本体58とを備える。 (もっと読む)


【課題】単一の質量流量を多数の流れラインに分割するための流量比制御装置を含むガス送出システム用のマルチ反対称最適(MAO)制御アルゴリズムを開示する。
【解決手段】MAO制御アルゴリズムでは、各流れラインには、流れセンサ124及びバルブ126が設けられている。このバルブは、ターゲット流量比設定点を得るため、線型サチュレータと組み合わせたSISOフィードバック制御装置によって積極的に制御される。最適制御性能のため、これらのSISO制御装置及び線型サチュレータは実質的に同じである。各バルブ制御コマンドは、全ての他のバルブ制御コマンドに対してマルチ反対称であるということがわかっている。従って、MAO制御アルゴリズムは、任意の時期に少なくとも一つのバルブが許容可能な最大開放位置にあり、これによって、流量比設定点の所与の組について、最大総バルブコンダクタンスに関して最適解を提供することを保証する。 (もっと読む)


【課題】 開閉弁の異常が生じても、装置を停止することなく、できるだけ目標の設定流量に近い流量で運転すること。
【解決手段】 複数の異なる設定流量(または設定関連指標)に対応して開閉弁9A〜9Cを異なる開閉パターンに制御する流量調節装置であって、開閉異常が生じている開閉弁9A〜9Cを特定する異常特定制御と、開閉異常が生じている開閉弁9A〜9Cの開閉状態を含み、かつ正常時の開閉パターンに対応する設定流量(または設定関連指標)に近いバックアップ設定流量(またはバックアップ設定関連指標)の開閉パターンにより、開閉弁9A〜9Cを制御するバックアップ制御とを行う。 (もっと読む)


【課題】圧力脈動によって反応器中での化学反応(選択性、反応機構、副生成物の生成等)に悪影響を生じない送出システムと制御方法を提供する。
【解決手段】流体Aを静的ミキサ1へと送り込むための送出システムであって、所定の圧力の前記流体Aを含んだタンク2と、前記静的ミキサ1とタンク2とを接続する流路3と、前記流路3内に設けられ、前記タンク2から前記容器中への前記流体Aのフローを制御する制御バルブ4と;前記流体Aの目標流量SP_Q及び前記流体Aの実際の流量PV_Qを受けるための、並びに、バルブ位置を表す前記制御バルブ4への制御シグナルMV_Lを出力して前記流量を調節するための制御器6とを具備する。 (もっと読む)


【課題】応答性の良い流量制御を、容易な設定で実現する。
【解決手段】流量制御装置100において、コンパレータ40は、流量の指令値信号Vi1と、センサ出力信号Vsに応じた信号Vi2との比較に基づき第1の制御電圧Vrefを出力する。フィードバック電流生成部30は、センサ出力信号Vsと、指令値信号Vi1に応じた信号Vi2と、の差に応じたフィードバック電流Ifbを生成する。フィードバック電圧生成部50は抵抗器である。フィードフォワード電流生成部20は、指令値信号Vi1に応じてフィードフォワード電流Iffを生成する。合成部60は、フィードバック電流Ifbとフィードフォワード電流Iffの和に応じた電圧をフィードバック電圧Vfbに加算した電圧である第2の制御電圧Vdrv*を生成する。弁部90は、第1の制御電圧Vrefと第2の制御電圧Vdrv*に応じて制御される、流量制御装置。 (もっと読む)


【課題】設定水位の変更や、需要者による水の使用量の変動等の要因に対しても、設定水位と現在水位の差の変動を少なくし得る浄水施設の送水制御方法を提供する。
【解決手段】この浄水施設の送水制御方法は、複数台の送水ポンプを有する浄水施設に用いられ、現在水位と設定水位の差の絶対値が、第一の規定値の範囲内のときを不感帯領域Fと定め、この不感帯領域Fにおいては複数台の送水ポンプの運転を現状維持とし、第一の規定値を超えかつそれよりも大きな第二の規定値以下のときを流量制御領域Rと定め、この流量制御領域Rにおいては複数台の送水ポンプのうち稼働している送水ポンプに限って回転数または吐出弁開度で送水量を制御し、第二の規定値を超えたときを台数制御領域Dと定め、この台数制御領域Dにおいては複数台の送水ポンプの運転台数を増加または減少させる。 (もっと読む)


【課題】配水池への予め設定された流入量の変動許容幅を守った上で流入量の変動回数を最小限に抑えた準最適な流入量を求める。
【解決手段】本発明の配水池浄水供給システムSの浄水供給量算出方法は、配水池1319への流入量の計画方法として、ある時刻の流入量が変動無く維持できる期間において、流入量を変動できる全ての時刻で流入量の変動を試み、その変動後の流入量が最も未来まで維持できるものを採用することにより、変動回数を最小限に抑えた配水池1319への流入量を算出し、その流入量を目標値の流入量設定値として配水池1319への流入量を制御する。 (もっと読む)


【課題】電源電圧が定格電圧を超える場合でも良好な流量制御精度が得られる流量コントローラ、流量制御システム、及び、流量コントローラ制御プログラムを提供すること。
【解決手段】全開時Duty算出プログラム43を実行することにより、比例電磁弁2を全開させる場合にコイル21に印加されるバルブ全開時コイル印加電圧が、比例電磁弁の定格電圧より高圧である場合に、比例電磁弁の定格電圧をバルブ全開時コイル印加電圧で割ることにより、比例電磁弁を全開状態とする場合における全開時のDutyの値を算出し、制御動作時流量制御プログラム44を実行することにより、算出された全開時のDutyの値を上限として、比例電磁弁のコイル21に印加する電圧のDutyを可変させることにより、比例電磁弁の開度を制御する。 (もっと読む)


【課題】コストを低減した制御装置により、粘性の低い液体と粘性の高い液体とを混合する場合であっても所望の比率で混合することができる。
【解決手段】複数の液体供給源T1,T2に接続する給液配管SP1,SP2を分岐させ、分岐管路を複数の混合タンクMT1,MT2に接続して第1液体と混合用液体とからなる液体を供給可能とし、混合タンクに供給された第1液体の積算流量を測定し、この測定値から混合タンクに供給することが必要な液体の積算流量を算出し混合用液体の理論上の必要量を求め、混合タンクに供給された混合用液体の積算流量を測定し、この測定値と混合用液体の理論上の必要量とから混合用液体の不足量を算出し、混合用液体の積算流量の測定値が混合用液体の理論上の必要量に対し不足する場合には、予め求めておいた混合用液体の不足量に対する流量制御弁の弁開度に基づいて流量制御弁の弁開度を制御し混合用液体を混合タンクに供給する。 (もっと読む)


【課題】 水供給に何らかの異常が生じても高温の湯のみが誤って流出することが無く、安全性を確保できる混合弁システムを提供する。
【解決手段】 湯減圧弁30の湯側隔壁部32が、水減圧弁20の二次側水流路12における水の圧力を受けて湯側弁体31を移動可能として配設され、二次側水流路12に水が正常に流入しない場合には、湯側隔壁部32に十分な水圧が加わらないことで、湯側弁体31が湯側弁ばね33の付勢に伴い移動して、一次側湯流路13と二次側湯流路14との間を閉鎖することから、水が水減圧弁20に達しないような異常状態では、湯側弁体31を直ちに湯の流路を閉鎖する位置まで移動させて、湯減圧弁30から混合弁41、42への湯の流入を抑えられ、誤って高温の湯が混合弁41、42から下流側に流出する事態を防止でき、安全を確保できる。 (もっと読む)


【課題】少しづつ流量が変動する器具を特定し、正確な流量に基づいたガス器具の使用状態を監視することで、ガス使用上の安全性と利便性を向上させる。
【解決手段】流量特性情報を保持する器具判定記憶部16と、流量計測部11で検出されたガスの瞬時流量からガス供給管30を流れるガス使用器具を判別し、流量変化検出部14で「流量変化あり」を判定したときに器具判別を開始する器具判別部17と、器具判別部17が給湯器33と判別した場合は、給湯器33の流量を登録流量記憶部15には登録せずに給湯器33の流量を給湯器流量記憶部18に記憶し、器具判別部17でガスコンロ31またはガスストーブ32またはガス器具の特定に至らない場合は、通過している流量を登録流量記憶部15に記憶し、登録流量記憶部15と給湯器流量記憶部18が所定値以上か判断し、所定値以上であれば、遮断弁24を駆動しガス流路遮断の判断を行う。 (もっと読む)


【課題】常に安定で再現性のよい流量制御装置及び前記制御装置を備えたプロセス装置を提供する。
【解決手段】反応容器に反応ガスを供給する配管に流量制限器36を備え、配管の流量制限器36の上流側に可変コンダクタンスバルブ32、配管の流量制限器36の下流側に可変コンダクタンスバルブ33を備える。流量制限器36と可変コンダクタンスバルブ32間の圧力と流量制限器36と可変コンダクタンスバルブ33間の圧力に基づいて、可変コンダクタンスバルブ32と可変コンダクタンスバルブ33を制御するバルブ制御装置38を備える。バルブ制御装置38は、流量制限器36と可変コンダクタンスバルブ33間の圧力が一定となるように、可変コンダクタンスバルブ33を制御し、配管に予め設定した流量の反応ガスが流れるように可変コンダクタンスバルブ32を制御する。 (もっと読む)


【課題】気体の検出圧力と目標圧力との偏差が大きくなった場合に偏差を迅速に小さくすることのできる圧力制御装置および圧力の制御された気体を用いる流量制御装置を提供する。
【解決手段】電空レギュレータ40は、エアの供給源に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される給気用電磁弁43と、電磁弁43の下流に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される排気用電磁弁44とを備える。エア通路35に導出されるエアの圧力センサ72による検出圧力を目標圧力にするために、電磁弁43,44を各周期において駆動するパルス信号をエアの検出圧力と目標圧力との偏差に基づいてPID演算により生成するともに、エアの検出圧力と目標圧力との偏差が判定値以上であることを条件に、電磁弁43,44が駆動される周期おいて偏差を小さくするように、PID演算により生成されるパルス信号を変更する。 (もっと読む)


【課題】機械的な手段以外の方法で流体の流量を調節することにより、装置全体を小型化する。
【解決手段】誘電体層2の中央に、流体が通過する貫通孔2aが設けられる。電極層3a・3bは、誘電体層2の表裏に、貫通孔2aの周囲に輪帯状に形成される。電極層3a・3bに電圧を印加して誘電体層2を変形させることにより、貫通孔2aの開口径を変化させる。これにより、貫通孔2aを通過する流体の流量を調節することができ、流量調節にあたり、従来のような機械的な手段を用いなくても済む。 (もっと読む)


【課題】装置の損傷程度を検知し、損傷部位を特定する装置を提供する。
【解決手段】圧力調整器10は流体流路に配置されて、流路内を移動可能な絞り要素22を有している。軸30が絞り要素22に取りつけられている。その装置は、絞り要素の上流圧力を測定するための第一圧力センサ34、絞り要素22の下流圧力を測定するための第二圧力センサ35および絞り要素22の位置を検知するための作動センサ44とを有している。測定された圧力と作動距離に基づいて流量を定めるためのアルゴリズムを備えたプロセッサ52が提供される。 (もっと読む)


【課題】複雑なプロセスガスを供給することができ、床占有面積を小さくすることができるガス供給装置を提供すること。
【解決手段】第1ライン及び第2ラインを持つガス供給装置で、第1ラインは第1マスフローコントローラMBに接続されており、第2ラインは第2マスフローコントローラMCに接続されており、第1ラインは第1弁VB3及び第2弁VB2を有し、第2ラインは第3弁VC3及び第4弁VC2を有し、4種類のガスA、B、C、Dを供給する供給ポートと接続しているガス供給装置において、ガスAとガスBは同じガスGAS6であること、第1弁VB3及び第3弁VC3はガスGAS6を供給する供給ポートと接続していること、第2弁VB2はガスGAS5を供給する供給ポートと接続していること、第4弁VC2はガスGAS8を供給する供給ポートと接続している。 (もっと読む)


【課題】流量制御弁に対する気体の供給および排出を制御することにより流量制御弁の操作圧を調整するレギュレータの腐食を抑制することのできる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置は、ダイアフラムを有してその一方の面に供給されるエアにより操作圧を印加して他方の面に接触する薬液の流量を調整するパイロットレギュレータ20と、パイロットレギュレータ20に対するエアの供給および排出を制御することにより操作圧を調整する電空レギュレータ18とを備える。流量制御装置は、パイロットレギュレータ20と電空レギュレータ18とを接続してエアを流通させるエア通路15と、電空レギュレータ18による操作圧の調整を可能としつつエア通路15からエアを排出させるオリフィス40とを備える。 (もっと読む)


【課題】質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および/動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を提供する。
【解決手段】さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および/動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。 (もっと読む)


提供される方法と装置は、ガス・フロー・コントローラを通過する流量を正確に測定するために、ガス・フロー・コントローラ(GFC)の上流の圧力の低下率を用いる。今日、生産使用されている多くのガス・フロー・コントローラを通過するガス流の測定が、特殊で高機能な圧力調整器もしくはその他の特殊な構成要素を必要とすることなしに可能となる。提供される様々な施策等により、測定の最中もしくは後に生じる圧力変化により、テスト対象のガス・フロー・コントローラを通過するガスの一定の流れが乱されないようにすることができる。 (もっと読む)


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