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Fターム[5H307FF02]の内容

流量の制御 (3,234) | 検出変量、検出手段 (398) | 被制御流体の流量の検出 (190) | 流量検出手段の限定 (128)

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【課題】腐食性ガスを対象とする流量制御器の流量校正を簡単に行え、安価で、流量制御精度が高く、耐食性を有する基準圧力式流量制御器を提供する。
【解決手段】オリフィスの上流側に設けたコントロール弁と,コントロール弁とオリフィス間に設けた圧力検出器と,圧力検出器の検出圧力から流量を演算すると共に、流量指令信号と前記演算した流量信号との差を制御信号として前記コントロール弁の駆動部へ出力する演算制御装置とから構成され、オリフィスの上流側圧力と下流側圧力との比を被制御流体の臨界圧比以下に保持した状態で前記コントロール弁の開閉によりオリフィス上流側圧力を調整してオリフィス下流側の流体流量を制御するようにした、圧力制御式流量基準器に用いる基準圧力式流量制御器に於いて、当該基準圧力式流量制御器の内部の流体が接する部分の全面に金メッキ皮膜を形成し、基準圧力式流量制御器を耐食性圧力式流量制御器9とする。 (もっと読む)


【課題】所望の非線形性の大部分を失うことなく、圧力低下が小さいフローリストリクタを提供する。
【解決手段】少なくとも1つの導入部、少なくとも1つの導出部、及び流路を有する第1のディスクと、流路を有さない第2のディスクとを備えるフローリストリクタであって、第1のディスク及び第2のディスクは互いに積み重ねられる。また、マスフローコントローラは、入力部、出力部、流路、圧力トランスデューサ及び上記フローリストリクタを備えている。 (もっと読む)


【課題】一方の圧力センサの環境温度と、他方の圧力センサの環境温度との差を低減させる(なくす)ことができ、正確で安定した圧力測定を行うことができる差圧式流量計を提供するとともに、この差圧式流量計を用いた流量コントローラを提供すること。
【解決手段】圧力測定を行う流体が流れる流体主流路12が形成されたボディ24と、前記流体主流路12に対して直列に配置されるとともに、前記ボディ24に保持される2つの圧力センサ21A,21Bとを備え、前記2つの圧力センサ21A,21Bの下方に位置する前記ボディ24に形成された凹所内に、熱伝導性に優れた材料からなる温度バランサー27が収容されている。 (もっと読む)


【課題】精度の高い流量計を提供する。
【解決手段】被測定流体が流入する流入口105と、被測定流体が流出する流出口205と、流入口105及び流出口205を連通する流路5が設けられ、流路5が第1の屈曲部11で屈曲する流量計において、流路5の第1の屈曲部11に、第1の屈曲部11前後の流路5の延伸方向に対して斜めに配置された第1の多孔板21、及び第1の屈曲部11より流出口205側の流路5の内壁に配置され、流路5を流れる被測定流体の流速又は流量を検出する流れセンサ8を備える。 (もっと読む)


【課題】気流によって目的部位に輸送される粉末を所望濃度に保持しつつ、輸送される粉末の総量管理が容易な粉末濃度調節装置を提供する。
【解決手段】送気系統61及び濃度コントローラ59を備える。補給される粉末を輸送気体で吹飛ばす噴射ノズル52を噴射部51に設ける。吹飛ばされた粉が混じった含粉気流を一端から受入れ他端に出口53aを有した調節筒53に、この筒内に希釈気体を混入させる希釈ノズル55,56と、含粉気流の粉末濃度を測定する濃度センサ54とを設ける。系統61は、気体源に接続された流量調節弁65、流量調節弁68を有して弁65とノズル52を接続した送気経路66、及び流量調節弁73を有して弁65とノズル55,56を接続した送気経路71を備える。コントローラ59は、輸送気体の流量と希釈気体の流量とを合計した総流量が一定に保持されるように弁65を制御し、センサ54の測定結果に基づき弁69,73を制御することで輸送気体の流量と希釈気体の流量との割合を調節して、粉末濃度を目標濃度とする。 (もっと読む)


【課題】 主観的要因を排除し、客観的な事象に基づくデータにより、制御ループ健全でない場合の要因の特定を可能とする、制御ループ診断装置を実現する。
【解決手段】 測定流体が流れる管路に調節弁が挿入され、前記測定流体の流量の測定信号を用いて制御演算を行い、演算で求めた制御信号で前記調節弁を制御する制御ループの健全性を診断する制御ループ診断装置において、
前記測定信号、前記制御信号及び前記調節弁の開度信号を監視データとして取得して保持する入力処理手段と、
この入力処理手段より前記監視データを読み出し、各監視データの変化傾向のパターンの組み合わせを監視する変化傾向監視手段と、
を備える。 (もっと読む)


【課題】 圧力式流量制御装置を分解、組立なしに、そのオリフィスを簡単に取り換えできるようにして、制御流量の切換を容易にする。
【解決手段】 コントロール弁2のバルブボディ23の流体入口側と前記入口側取付用ブロック39とを、並びに前記バルブボディ23の流体出口側と前記出口側取付用ブロック43とを、夫々解離可能に気密状に連結することにより、前記コントロール弁2を通して気体が流通する流路を形成すると共に、前記バルブボディ23の出口側に設けたガスケット型オリフィス挿入孔42cと出口側取付用ブロック43のガスケット型オリフィス挿入孔43bとの間に、圧力式流量制御装置Aのガスケット型オリフィス38を着脱自在に挿着する構成とする。 (もっと読む)


【課題】 取り扱いが容易で、汎用性の高い流量コントローラ、これに用いるレギュレータユニット、バルブユニットを提供する。
【解決手段】 流量コントローラ10を、レギュレータ21と第1圧力センサ22とを有するレギュレータユニット11と、第2圧力センサ31と流量制御弁32とを有するバルブユニット12と、レギュレータユニット11およびバルブユニット12に対して着脱可能にして接続されてレギュレータユニット11とバルブユニット12とを接続する流体流路およびオリフィスを構成するオリフィスユニット13とを有する構成とする。 (もっと読む)


【課題】 タンク内に貯留した液体をポンプを介して送る種々の送液系において、流量計を使用せずに供給流量を高精度に設定可能とし、配管を簡素化してコスト低減と故障によるトラブルの防止を図り、衛生面での問題も解消し得る送液システムを提供する。
【解決手段】 タンクT1,T2内に貯留した液体L1,L2をポンプP1,P2を介して送る送液系において、液面センサーS1,S2によってポンプ稼働に伴うタンクT1,T2内の液面低下量を計測し、その単位時間当たりの液面低下量からコントローラーCによってポンプP1,P2の回転数に対する液体吐出量を演算し、簡易体積流量として表示すると共に、演算値に基づいてポンプP1,P2をコントローラーCで設定送液量に対応した稼働速度に制御する。 (もっと読む)


【課題】 生産用装置の稼働状況に応じて冷却水を供給することで冷却水の供給動力を省くことができるとともに、容易且つ安価に生産用装置に組み込むことができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】 生産用装置の一部をなすドライポンプ11に供給された冷却水を回収する回収管P2には、冷却水の温度を検出する冷却水温度検出部21及び流量連続制御バルブ23が設けられている。バルブコントローラ22は、ドライポンプ11の動作を制御するドライポンプコントローラ24からドライポンプ11の動作開始を示す旨の状態信号S2が出力された場合に、予め設定されたプログラムに従って流量連続制御バルブ23の開口度を制御する。また、状態信号S2が出力されてから所定時間経過後は、冷却水温度検出部21の検出結果に基づいて流量連続制御バルブ23の開口度を制御する。 (もっと読む)


【課題】 高精度な汚水流入量の予測を実現しうる汚水流予測制御装置を提供すること。
【解決手段】 汚水ポンプ4を制御することによって汚水の揚水量を制御している汚水揚水計画制御装置において、管理区域からの汚水流量を予測する汚水流入量予測演算部1と、この汚水流入量予測演算部1による演算結果によって汚水揚水量を制御する汚水揚水計画制御部3とを備え、さらに前記汚水流入量予測演算部1では管理区域での人口分布データ、工場の有無等の環境条件及び下水排水設備の状態とを考慮に入れた演算パラメータに基いて汚水流入量の予測を行う。 (もっと読む)


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