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Fターム[5H307FF03]の内容

流量の制御 (3,234) | 検出変量、検出手段 (398) | 被制御流体の流量の検出 (190) | 流量検出手段の限定 (128) | 機械的、力学的効果を利用した手段 (26)

Fターム[5H307FF03]に分類される特許

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【課題】流量制御バルブに生じている異常を高い信頼性とともに診断することができ、例えば、流量制御バルブに異常が生じた場合には早急に適切なメンテナンス等を行うことができる流量制御装置及びそれに用いられる診断装置又は診断用プログラムを提供する。
【解決手段】第2測定流量値又は測定圧力値に基づいて第1測定流量値の異常を診断する第1測定流量診断部5と、前記第1測定流量診断部5が、前記第1測定流量値に異常が無いと診断している場合に、流量制御バルブ2の異常を診断するバルブ診断部6と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】複数の流体機器ユニットとそれらにセットで取り付けられる外部流体機器とを効率よくコンパクトに配置可能な流体機構を提供する。
【解決手段】各流体機器ユニットの長手方向側面同士を密着させて配置するとともに、外部流体機器V1、V2を、流体機器ユニットの幅方向外側に並べて配置するようにした。さらに、外部流体機器V1、V2と流体機器ユニットとを接続する流入経路9c及び流出経路9dにおいて、短い流入経路9cは長い流出経路9dに接続するようにした。 (もっと読む)


【課題】単位時間内に供給されるC4混合物に含まれる有効成分の供給量を精度よく管理することができる供給量管理システムを提供する。
【解決手段】供給量管理システム1は、プラント内において、発生装置M1から処理装置M2に供給されるC4混合物に含まれる有効成分の供給量を管理するシステムであり、発生装置M1から処理装置M2に供給されるC4混合物の流量を連続的に計測する流量計測部2と、発生装置M1から処理装置M2に供給されるC4混合物に含まれる有効成分の濃度を連続的に計測する濃度計測部3と、流量計測部2によって計測されるC4混合物の流量データ及び濃度計測部3によって計測されるC4混合物に含まれる有効成分の濃度データを用いて、発生装置M1から処理装置M2に単位時間内に供給される有効成分の供給量を算出する算出部7と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】一次圧や二次圧に圧力損失を生じさせることなく、減圧装置を装備した流体導管の流量を計測可能にした。
【解決手段】流体導管1に装備され、上流側流体導管1uにおける一次圧を減圧して下流側流体導管1dにおける二次圧を得る減圧装置10であって、二次圧を検出する二次圧検出部13と、二次圧検出部13で検出された二次圧に基づいて流量抵抗を可変調整する可変抵抗部11と、可変抵抗部11の下流側に設けられ、一定の流量抵抗を有する固定抵抗部12とを備え、可変抵抗部11と固定抵抗部12との合成流量抵抗によって、一次圧を二次圧に減圧する。固定抵抗部12による発生差圧を検出することで、流体導管1の流量を計測できる。 (もっと読む)


【課題】制御弁のスライド弁体の動作を安定させる流量制御弁を提供する。
【解決手段】
第1スライド部3と第2スライド部4を有する弁体2を弁軸方向に摺動可能に収納し、圧力流体源10からの圧力流体を両スライド部間に供給する圧力流体供給路5と、弁体2の作動により圧力流体を制御しつつ出力する圧力流体出力路6を備え、圧力流体供給路5を第2スライド部4と弁箱1端間で形成される第2外方室K2に連通させる連通路、5Pを設けた制御弁である。これら各連通路に第2のオリフィスOF2を介設したものである。 (もっと読む)


【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び/又は流量を測定する圧力/流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 (もっと読む)


【課題】洗浄等による液体の置換を容易かつ完全に実施できるダメージ軽減対策を施した圧力センサを提供する。
【解決手段】流体主流路11を流れる液体の圧力を検出する圧力センサ10において、流体主流路11の直管部から分岐した位置に圧力計測空間部12を設けて圧力計測部4を設置し、さらに、流体主流路11と圧力計測空間部12との間については、流体主流路11より管径の細い導入管13及び流出管14を介して接続されている。 (もっと読む)


【課題】 圧電アクチュエータの使用範囲温度を超える温度の流体でも制御可能な圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体流路1bを開閉するための弁体2と、圧電素子の伸張を利用して弁体2を開閉駆動するための圧電アクチュエータ10と、圧電アクチュエータ10を流体流路1bから遠ざけるように持上げ支持するとともに、流体流路1bを流れる流体から圧電アクチュエータ10へ伝わる熱を放熱するための放熱スペーサ40と、を備え、さらに、好ましくは、圧電アクチュエータ10及び放熱スペーサ40の双方を収容して支持する支持筒体23Aと、を有し、支持筒体23Aは、少なくとも放熱スペーサ40を収容する部分が放熱スペーサ40と同じ熱膨張係数を有する材料で形成されていることとした。 (もっと読む)


【課題】固形分を含有する流体の流量が設定値からズレないように流量計の測定値をオンラインで校正すること。
【解決手段】固形分を含有する流体を貯蔵するタンク1と、タンク1へ流体を送るポンプ8と、流体の貯蔵レベルがタンク1の上限/下限レベルに到達した際にポンプ8を停止/稼働するタンクレベル制御手段6と、タンク1から流体配管3を通って流出する流体の流量を測定する流量計4と、流量計4の測定値を校正する校正手段6と、流量計4の測定値に基づいて流体配管3を流れる流体の流量を調節する流量調節手段5とから構成される流量制御装置15において、前記校正手段6は、タンク1内の流体の貯蔵レベルが上限レベルから下限レベルまで低下するまでの期間内に、流体の貯蔵量の変化量を求め、当該貯蔵量の変化量に基づき前記期間の少なくとも一部の時間内の流体の平均流量を計算し、当該平均流量の計算値により流量計4の測定値を校正する。 (もっと読む)


材料放出システムの放出操作(例えば、実際の放出量)を測定し、確認するための放出確認メータ。この放出確認メータは好ましくは自動的にゼロオフセットドリフトを補正し、好ましくは十分に大きなサンプル率で放出された材料の流速をサンプルし、所望の放出操作がなされたか否かを確認する。 (もっと読む)


【課題】流体の流量を適切に調節する。
【解決手段】バルブ8は、流体が流入する流路を開閉する弁体81と、流路を通過する流体の流量を計測する流量センサ82と、制御装置から出力された操作量を流量に換算する流量換算部83と、流量センサ82によって計測された通過流量が流量換算部83によって換算された流量と一致するように弁体81の開度を調節する開度調節部84とを備える。 (もっと読む)


【課題】柔軟、正確、かつ汚染の無いリアルタイムの連続混合システム、また、適切な混合および処理ツールへの正確な流体流量を確実にするための正確な圧力制御を提供する。
【解決手段】流量制御装置と、流量制御装置110と流体連通しているコリオリ質量流量計112とを含む流体供給システムである。コリオリ流量計は、PFAのような高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、供給システムを高純度用途に適したものにする。コントローラ114は、ピンチバルブ120を含むことが可能な流量制御装置110に制御出力信号を供給し、設定点信号および流量計112から受け取った測定値信号に応答して、流量制御装置の出力を変化させる。 (もっと読む)


【課題】 流量制御のオーバーシュート現象を解消し、且つ集積ユニット化を可能とするコンパクトな質量流量制御装置と、この質量流量制御装置を備えたコンパクトなガス供給ユニットを提供する。
【解決手段】 質量流量を制御する流量制御弁機構10と、前記流量制御弁機構に前記バルブ駆動信号を出力する流量制御弁制御手段18と、を設けてなる質量流量制御装置50において、前記流量制御弁機構10の上流側及び/又は下流側に、遮断弁機構52、54を介設し、遮断弁機構52、54の給排気口をソレノイド弁機構102と直接連通させるように、弁ブロック体80と一体として設け、且つ前記流量制御弁制御手段18は、前記ソレノイド弁機構102を動作させるソレノイド弁駆動信号S3、S4を出力するとともに、前記バルブ駆動信号S2と、前記ソレノイド弁駆動信号S3、S4とを同期させる。 (もっと読む)


多重モード制御アルゴリズムを使用して、流体の流量を制御するためのシステムおよび方法を説明する。一実施形態は、閉ループモードから開ループモードに多重モード制御アルゴリズムを変化させるための方法を含む。本方法は、センサによって生成される少なくとも1つのセンサ指標を受信するステップを含む。多重モード制御アルゴリズムは、少なくとも1つのセンサ指標に基づいて、閾値条件が充足される場合に、閉ループモードから開ループモードに修正される。多重モード制御アルゴリズムは、設定値に従って流体の流量を制御するために、流量制御器によって使用される。 (もっと読む)


【課題】検出手段の取付精度による弁開度の個体差を減少させて、高精度な流量制御を可能にした流量制御弁の制御方法を提供すること。
【解決手段】この流量制御弁1の制御方法では、ピストン22が、弁閉に到達したことをオンからオフになること又はオフからオンになることで検出する検出手段25を設け、検出手段25がオンからオフになった又はオフからオンになったときの操作信号値と基準原点に対応する操作信号値との差を個体差値とし、基準曲線を、個体差値によって補整する。 (もっと読む)


【課題】流体の流量制御を簡単、かつ連続的に変動無く行う。
【解決手段】圧力流体の流路に連通した圧力室2にその圧力によりピストン作用するプランジャー6を設けて、プランジャーによりニードルバルブ状の弁体6を作動させる。プランジャーはコイルスプリング8の押圧力が圧力室の圧力、若しくは負圧と平衡する関係におかれ、弁の開度は調整ネジ9によって行う。
予め、調整ネジによる弁体の開度とそれに平衡する圧力との関係を確認しておき、流体入口3を導入すべき流体供給源、出口4を圧力流体の流路に接続して、調整ネジにより弁体の開度を設定する。
該流路の圧力とコイルスプリングの押圧力により開放された弁体から流体が供給されると、流路圧力が低下、若しくは上昇し、その圧力変化に応じて弁体の開度がコイルスプリングの押圧力に抗して調整されて連続的に平衡状態に至るまで、弁体の開度が制御される。 (もっと読む)


【課題】流量制御装置の二次側流体の圧力変動が発生した場合であっても流体流量の安定化を高精度で実現することができる流量制御装置及びその方法を提供する。
【解決手段】流体供給部11から所定の流体使用部15に対して流通する流体の供給ラインLに配される流量制御装置10であって、流体供給部側に配置される第1圧力制御弁部20と、第1圧力制御弁部と圧力損失部40を介して流体使用部側に配置される第2圧力制御弁部60とを含み、第1圧力制御弁部は、一次側流体の圧力変動に対して第1弁室22内に配置された第1弁部30が第1弁座25に対して進退して二次側流体を所定の圧力に維持する第1圧力制御機構C1を備えており、第2圧力制御弁部は、二次側流体の圧力変動に対して第2弁室62内に配置された第2弁部70が第2弁座65に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持する第2圧力制御機構C2を備えている。 (もっと読む)


【課題】差圧式流量計において高い精度にて安定して測定を行う。
【解決手段】差圧式流量計1は、円管状の圧損チューブ13、圧損チューブ13に流入する液体の圧力を計測する第1圧力計11、圧損チューブ13から流出する液体の圧力を計測する第2圧力計12、情報を記憶する記憶部15、および、種々の演算を行う演算部16を備える。差圧式流量計1では、圧損チューブ13内においてレイノルズ数が2000以下である層流が形成される。そして、第1圧力計11および第2圧力計12からの出力が演算部16に送られて圧損チューブ13の両端における差圧が求められ、この差圧と記憶部15に予め記憶された流量情報に基づいて圧損チューブ13を流れる液体の流量が求められる。差圧式流量計1では、圧損チューブ13内の流れを確実に層流とした上で差圧を求めることにより、高い精度にて安定して流量の測定を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 アクチュエータに対する供給流量の特性を安定させた流量制御弁を提供することを目的にする。
【解決手段】 スプール孔4にほぼ直交する方向に形成するとともにこのスプール孔4をまたいで形成した戻りポート12と、上記スプール孔4に摺動自在に組み込んだスプール6と、アクチュエータポート3側に設け、スプール6の移動に応じて開度を可変にしたメインオリフィス9とを備え、上記戻りポート12は、戻り側に直接連通するメインポート部12aと、スプール孔4に形成される凹溝部12bとを備え、スプール6が移動して戻りポート12を開口したとき、スプール6のランド11が戻りポート12を開く構成にした流量制御弁において、上記凹溝部12bの底bをスプール6の軸線に対してほぼ平行にした点に特徴を有する。 (もっと読む)


本発明は時間ベース流量制御装置、より詳細には制御性及び制御精度に優れた機械的同期式流量制御装置に関する。本装置は、貯蔵槽1a、1b、流入路14、流出路24、開閉手段3及び制御部を含む。開閉手段3は流体が通過する通路3aを具備し、機械的サイクルをもって作動して、流出路24が閉鎖された状態で流入路14が開放され、また流入路14が閉鎖された状態で流出路24が開放されるように、機械的サイクルは通路3aの位置変化に従って、通路3aが流入路14と連通して流入路14を開放する流入路開放期間と、通路3aが流出路24と連通して流出路24を開放する流出路開放期間を、位相差を置いて含む。制御部は、開閉手段3の開閉サイクル速度及び/又は開閉手段3の単位開閉サイクル当たりの貯蔵槽1a、1bに貯蔵及び放出される流体の質量又は体積を制御することで、貯蔵槽1a、1bから流出する流体の質量流量又は体積流量を制御する。 (もっと読む)


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