【課題】単位時間内に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を精度よく管理することができる供給量管理システムを提供する。
【解決手段】供給量管理システム１は、プラント内において、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を管理するシステムであり、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物の流量を連続的に計測する流量計測部２と、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度を連続的に計測する濃度計測部３と、流量計測部２によって計測されるＣ４混合物の流量データ及び濃度計測部３によって計測されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度データを用いて、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に単位時間内に供給される有効成分の供給量を算出する算出部７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】原料補給時もフィードバック制御ができるようにして精密な定量供給ができるようにする
【解決手段】スクリュー式フィーダー１０のスクリュー１１を備えた供給円筒１２に検出区域１３を設定し、前記検出区域１３を挟んでγ線密度計１４のγ線源１４ａと検出器１４ｂを対向させて設ける。そして、筒状の検出区域１３を透過する際のγ線の減衰量を検出器１４ｂで測定し、その測定値から検出区域１３を移送される原料の密度を算出して、その算出した密度に基づいて原料の移送速度あるいは原料の単位時間当たりの移送量を制御し、下流側に設けた排出口からの切り出し量を一定にする。このように、移送路を移送される原料の密度を常時測定して切り出し量を一定にするので、原料補給時の原料の増加に無関係にフィードバック制御できる。 （もっと読む）

【課題】マイクロ処理装置の特性や流体の物性に拘わらず閉塞箇所を高精度に検出することができる流体分配装置、及び当該装置を備えることによって安定した長期連続運転が可能なマイクロプラントを提供する。
【解決手段】流体分配装置１は、入力流路１１に供給される流体を３以上の出力流路１３に分配するものであって、複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36を組み合わせてなり、入力流路１１に供給された処理対象流体Ｗ１を出力流路１３の数だけ分配する分配流路１２と、分配流路１２をなす複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36のうちの２つの枝マイクロ流路（例えば、枝マイクロ流路Ｒc31，Ｒc33）の流量を測定するマイクロ流量計１４ａ，１４ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】フロートの流路内壁面への接触によるパーティクルの発生を防止することができる流量計およびマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】ケーシング１１の内側には下方から上方に向けて流体を流す鉛直方向に沿った流路１２が形成される。流路１２の一部はテーパ管１５によってテーパ面１６とされている。流路１２内には棒磁石２１を内蔵するフロート２０が収容される。ケーシング１１の外周面にはリング形状の永久磁石である下部リング磁石３０および上部リング磁石３５が周設される。下部リング磁石３０および上部リング磁石３５の双方からフロート２０の棒磁石２１の下端および上端のそれぞれに同じ磁極の反発力による斥力が及ぼされる。これにより、流体の有無に関わらず、フロート２０が流路内壁面に接触することが常に防止され、その結果パーティクルの発生をも防止することができる。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら大流量の流量制御弁を提供する。
【解決手段】弁座面４０１を有する弁座部材４と、弁座面４０１に着座する着座面６０１を有する弁体部材６と、を具備し、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流入口が形成され、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流出口が形成されており、それら流入口及び流出口が、着座状態において重ならないように形成され、入口が形成された部材の内部に、流入路及び流入口に連通する内部流入路４１が形成され、流出口が形成された部材の内部に、流出路及び流出口に連通する内部流出路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】圧力式流量制御装置に於いて、圧力センサ及び温度センサを、受圧面に形成した４個の抵抗を４辺とするブリッジ回路の入力端子間に定電流電源を接続してその出力端子間の電圧変化で流体圧力を検出すると共に、入力端子間の電圧変化で流体温度を検出する構成の温度と圧力を同時に検出する一つの圧力温度センサ１０とし、流体温度Ｔに対応した補正を行ってこれを流体圧力Ｐ_１に変換すると共に、温度変換手段からの流体温度Ｔに対応して流量演算式の比例定数Ｋの温度補正を行うガス温度補正手段と，補正後の後の演算流量Ｑ_Ｃと設定流量Ｑ_Ｓとの差を制御信号としてコントロールバルブへ出力する比較回路と，から構成する。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】保守や管理の容易な流量制御装置の提供を課題とする。
【解決手段】流入口から流出口に至る経路中に設けられた制御弁と、前記流入口から流出口に至る流体の流れの有無を電気信号に置換して出力する検知部と、前記流出口を経て放流された流体の流量を前記検知部で取得した電気信号に基づき算出する流量算出部と、放流を停止すべき放流停止流量に前記流量算出部で算出した流量が達したか否かに基づき前記制御弁の開閉操作を制御する制御部と、前記流量算出部で算出した流量を前記制御部外に出力する出力部と、出力部に設けられ、流体の放流毎に出力される流量を、当該放流が為された日時等と共に表示する流量カウンタと、装置の作動不良を報知するインジケータと、を備えたことを特徴とする流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

【課題】配管内に生ずる圧力等の状態変化に対応可能な比例制御を行うに際して、比例ゲインを自動的に更新し、良好な制御を行う。
【解決手段】オフラインにおいて、予め制御弁２の開度と流量の関係から得られる勾配の逆数と、制御弁２に付したロータリエンコーダ４で検出した最大開度での流量と、各開度の流量を最大開度の流量で正規化した正規化流量と、勾配を制御弁２の最大開度における流量により除して得られる正規化比例定数とを予め設定し、
オンラインにおいて、制御弁２の開度と流量を計測し、計測した開度に対応する正規化流量を記憶したデータから読み出し、計測した流量を読み出した正規化流量で除して、変動後の制御弁２の最大開度時の流量を求め、それに予め設定してあった正規化比例定数Ｋｚを乗じて新たな比例勾配を算出し、その逆数から適切な比例ゲインを求めて制御動作に使用する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率の面での問題の有無を定量的に判断させたり、省エネルギーへの取り組みを活発化させたりする。
【解決手段】実流量計測部２５Ｂによって管路１３を流れる流体の実流量ＱＲを計測する。超過流量積算部２５Ｄによって、流体の実流量ＱＲが設計流量ＱＤを超えている超過期間毎の設計流量ＱＤからの実流量ＱＲの超過分ΔＱを積算する。この超過流量の積算値ΣΔＱを超過流量積算値記憶部２１に記憶するとともに表示部１７に表示する。この超過流量の積算値ΣΔＱを参照することにより、システムがどの程度設計どおり運用されているのか、どの程度設計から外れて運用されているのかなどを定量的に知ることができる。また、超過流量の積算値ΣΔＱを解析することで、システムがどの程度エネルギーを無駄にしているのか、異常が起きていないかどうかなどを検証することができる。 （もっと読む）

【課題】比熱が変動するガスの流量を正確に測定し制御する。
【解決手段】導管を通るガスの流量を調節するための弁手段５、この弁手段を駆動するための駆動手段９、導管を通るガスの流量を測定するための体積流量計７を有し、この流量計が、設定点信号１７との比較のためにフィードバック信号２９を提供する。設定点信号は、設定点信号発生手段１９により発生され、それは所望の流量に対応する値を入力するためのポテンショメーター２１と、以前の設定点から所望の設定点への変更を体積流量計に固有の応答の遅れを保証するのに十分な時間遅らせてガス流量を滑らか且つ安定に制御するための、抵抗器２５及びキャパシタ２７からなるスローダウン回路２３を含む。ポテンショメーターはディジタルポテンショメーターであって、その電圧は回転エンコーダーの独立した操作により変えることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れる流体の流量制御の精度を検定することが可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路４の流量を流量設定値になるようにバルブ駆動制御情報を流量制御弁機構７に出力する制御手段８と、流体の流量を検出する流量検出手段５と、流体の圧力を検出する圧力検出手段６とを備えている。制御手段８は、流量制御弁機構７にバルブ駆動制御情報を出力したときに、出力したバルブ駆動制御情報と流路の流量との関係を示す情報を、流路の流体の圧力に関連付けして記憶したバルブ特性情報Ｋを予め備えている。流量の制御中に、流量設定値と圧力検出手段６が検出した圧力値とに関連付けされる基準となるバルブ駆動制御情報を、バルブ特性情報Ｋを参照して求め、この求めたバルブ駆動制御情報と制御手段８が流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報との差異量を流量制御の検定情報としている。 （もっと読む）

材料放出システムの放出操作（例えば、実際の放出量）を測定し、確認するための放出確認メータ。この放出確認メータは好ましくは自動的にゼロオフセットドリフトを補正し、好ましくは十分に大きなサンプル率で放出された材料の流速をサンプルし、所望の放出操作がなされたか否かを確認する。 （もっと読む）

流量制御システム（１０、２０）は、流量センサ（１２）、弁制御装置（１３）、信号プロセッサ（１４、１６）、制御プロセッサ（１４、１６）、およびインターフェイス（１４、１７）を含む。流量センサ（１２）は、流量を特徴付けるセンサ信号を生成する。弁制御装置（１３）は、制御出力に応じて流量を制御する。信号プロセッサ（１４、１６）は、センサ信号を、時間の関数として流量を特徴付ける流量信号に変換し、制御プロセッサ（１４、１６）は、設定値および流量信号に応じて制御出力を生成する。インターフェイス（１４、１７）は、設定値を表す入力を受け取り、流量信号を表す流量出力を送り、流量制御システム（１０、２０）の動作状態を直接示す診断出力を送る。 （もっと読む）

【課題】流量の計測条件、及び計測条件の設定値の確認が容易な流量計を提供する。
【解決手段】気体又は液体等の流体が流れる流路１１が設けられた流路保持体１０と、流路１１を流れる流体の流量を計測する流量計測部３０１と、流量の計測条件の表示の要求、及び流量の計測条件の設定値の入力を受け付けるインタフェース３５０と、表示の要求が受け付けられた場合、計測条件及び設定値を同時に表示し、設定値の入力が受け付けられた場合、計測条件の表示を消去し、入力された設定値を表示する表示装置３５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】バルブの運転状態が適正か否かを容易に判断する。
【解決手段】流量制御バルブの情報表示装置は、バルブを通過する流体の流量を計測した計測流量の信号とバルブの開度を示す信号とをバルブから受信する受信部１０１と、バルブの開度を制御する演算部１００から出力された操作量を設計流量に換算する流量換算部１０３と、計測流量の設計流量に対する比率を算出する比率算出部１０４と、計測流量、比率およびバルブ開度を表示する表示制御部１０５とを備える。 （もっと読む）

【課題】流体の流量を適切に調節する。
【解決手段】バルブ８は、流体が流入する流路を開閉する弁体８１と、流路を通過する流体の流量を計測する流量センサ８２と、制御装置から出力された操作量を流量に換算する流量換算部８３と、流量センサ８２によって計測された通過流量が流量換算部８３によって換算された流量と一致するように弁体８１の開度を調節する開度調節部８４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 水道管に対し水道メータより上流側に近接配置される流量制御弁の動作異常を検知できるようにする。
【解決手段】 流量制御弁異常検知装置と水道メータ及び流量制御弁とを通信線又は信号線を介して接続し、流量制御弁に対し例えば遮断信号が出力された後、その後における水道メータの検針値を読み取り、その検針値に基づく計測水量が、微小流量の閾値より大きい場合は、流量制御弁の例えば遮断動作（閉動作）に異常が生じているとして、この異常情報を表示部に表示し、また通信網を介して遠隔にある中央監視部に異常情報を送信する。 （もっと読む）

【課題】幅広い流量範囲で安定して精度良く流量を制御でき、コンパクトで、メンテナンスや部品交換が容易で、シール性が良い流体制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】計測器からの電気信号に基づいて流体制御配管部材の開度をＦＢ制御する制御部とを具備し、流体制御配管部材が、一端にチューブに水密された状態で挿着される挿入部と他端に接続部と中央に鍔部を有する第一、第二連結体と、中央に貫通孔が形成され貫通孔の一端に挿入部に挿着されたチューブが嵌着される拡径部が設けられた保持体を具備する。保持体の貫通孔にチューブを貫通させチューブ両端に第一連結体及び第二連結体の挿入部を挿着したものを保持体の拡径部に嵌着し、第二連結体の鍔部と保持体とが流体制御配管部材と計測器との間で圧接された状態で固定され、第二連結体の接続部と計測器の流体流入口または流体流出口が直接接続されてなる。 （もっと読む）