説明

Fターム[5H307FF06]の内容

流量の制御 (3,234) | 検出変量、検出手段 (398) | 被制御流体の流量の検出 (190) | 流量検出手段の限定 (128) | 熱的効果を利用した手段 (48)

Fターム[5H307FF06]に分類される特許

1 - 20 / 48


【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量測定機構、又は当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置に流路ML上に設けられた流体抵抗4と、前記流体抵抗4の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ3と、前記流体抵抗4に対して前記圧力センサ3が設けられていない側の圧力を算出する圧力算出部6と、前記測定圧力値と、前記圧力算出部6で算出された算出圧力値と、に基づいて流量を算出する流量算出部7と、前記測定流量値と、算出流量値と、に基づいて当該測定流量値の異常を診断する異常診断部8と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】流量制御バルブに生じている異常を高い信頼性とともに診断することができ、例えば、流量制御バルブに異常が生じた場合には早急に適切なメンテナンス等を行うことができる流量制御装置及びそれに用いられる診断装置又は診断用プログラムを提供する。
【解決手段】第2測定流量値又は測定圧力値に基づいて第1測定流量値の異常を診断する第1測定流量診断部5と、前記第1測定流量診断部5が、前記第1測定流量値に異常が無いと診断している場合に、流量制御バルブ2の異常を診断するバルブ診断部6と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置100に、前記流路ML上に設けられた流体抵抗4と、流体抵抗の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ3と、前記測定流量値又は前記圧力センサで測定される測定圧力値に基づいて、前記流路MLを流れる流体の状態が安定状態であるかどうかを判定する安定状態判定部5と、前記安定状態判定部5が流体の状態が安定状態であると判定している場合に、前記測定圧力値の変化量に基づいて前記測定流量値の異常を診断する異常診断部6と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】流路を構成する部材間の密閉性を高め、ハロゲン系ガスに対しても使用可能な耐腐食性を有するMEMS型流量センサを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、流量センサ10は、基材11の表面と流路構成基材21の裏面とが対向するように貼り合わせて、固定部材によって固定される。基材11は、表面上の流路形成領域に、一対の感熱膜12と、一対の感熱膜間の中間に位置するヒータ膜13と、流路保護膜15と、を有し、流路形成領域以外の領域上に、耐腐食性を有する金属保護膜を有する。流路構成基材21の裏面の流路形成領域に形成される溝と、流路形成領域以外の他の領域と溝とを区切り、他の領域に比して突出する側壁構成部と、を有し、耐腐食性を有する材料によって構成される。流路構成基材21の側壁構成部は、基材11の金属保護膜上に位置するように圧着される。 (もっと読む)


【課題】液化ガスの再液化を防ぎながら液化ガスの流量を精密に制御可能なマスフローコントローラーを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラー100は、流入口11から流入した液化ガスを分流するセンサー用配管13とバイパス配管14と、前記センサー用配管を覆うように配置された熱式センサー7と、前記センサー用配管を覆って前記センサー用配管と共に二重配管を形成し、前記センサー用配管および前記バイパス配管に連通する断熱領域15と、前記連通を遮断して前記断熱領域を閉鎖領域とする閉鎖バルブ1と、を備える。実施形態のマスフローコントローラーは、前記センサー用配管と前記バイパス配管とから合流した前記液化ガスの流出口12と、前記熱式センサーの検出結果に基づいて前記流出口から流出する前記液化ガスの流量を制御する制御手段と、前記各部位の全体を下方から加熱するヒーター2と、をさらに備える。 (もっと読む)


【課題】小流量の流量制御と大流量の流量制御とを高精度に達成する流量制御装置を実現する。
【解決手段】流体通路10は、バイパス流路16とセンサ用流路12,14を備える。センサ用流路12等は、バイパス流路16を流れる前の流体から一部を分岐させ、その後、バイパス流路16を流れた流体に合流させる。センサ用流路14は、センサ用流路12と等しい流路断面と、より長い流路とを有する。流量センサユニット30は、各センサ用流路について、上流側抵抗器と下流側抵抗器と出力部を備える。上流側抵抗器312,322は、センサ用流路12内の流体を加熱する。下流側抵抗器314,324は、上流側抵抗器312,322よりも下流に設けられ流体によって温度が変化する。出力部316,318は、上流側と下流側抵抗器の抵抗の差に応じた信号を出力する。センサ用流路12,14は、流体を分岐させる地点から流体を合流させる地点までの距離が等しい。 (もっと読む)


【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御機構であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路5上に設けられた流体制御バルブ2と、前記流体に関する物理量を測定する流体測定部1と、前記流体測定部で測定される物理量の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ2の開度を制御するバルブ制御機構4とを備えた流体制御装置100であって、前記バルブ制御機構4が、前記測定値と前記設定値の偏差に基づいてデジタル制御によって前記流体制御バルブ2の開度の操作量を演算する操作量演算部41と、アナログ制御によって位相遅れを補償する位相補償部42と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御器であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路5上に設けられた流体制御バルブ2と、前記流体に関する物理量を測定する流体測定部1、3と、前記流体測定部1で測定される物理量の測定値と、予め設定される設定値との偏差に基づいて前記流体制御バルブ2の開度をデジタル制御によって制御するバルブ制御器4と、を備えた流体制御装置100であって、前記バルブ制御器4が、入力される値に対して所定の演算を施して前記流体制御バルブ2の開度の操作量に関連する値を出力する操作量演算部41と、入力される値に対して速度型デジタル演算により位相遅れを補償した値を出力する位相補償部42と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】全閉状態における外部出力流量値に起因する種々の問題を解決することができるマスフローコントローラを提供する
【解決手段】流路1内を流れる流体の流量を測定し、その測定流量値を出力する流量測定部2と、制御バルブ3と、前記制御バルブ3を強制的に全閉させる全閉指令、又は、目標値として設定される設定流量値に基づいて前記制御バルブ3の開度を制御するバルブ制御部42と、前記測定流量値に基づいた外部出力流量値を外部に出力する外部出力部41と、を備えたマスフローコントローラ100であって、前記バルブ制御部42が、前記全閉指令又は前記設定流量値としてゼロを受け付けてから、前記外部出力部41が、前記外部出力流量値を前記測定流量値に関わりなくゼロと出力するようにした。 (もっと読む)


【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 (もっと読む)


【課題】マスフローコントローラの流量制御バルブのより長期間の使用を可能にするとともに、流量設定値を減少させた場合に実流量をより正確に制御可能にする。
【解決手段】流量センサ部2と、その流量センサ部2の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ3と、流量測定値と流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ3へのフィードバック制御値を算出する算出部6と、フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ3に出力する開度制御信号出力部7とを備えており、前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値を、流量設定値を所定量以上減少させた時点から所定期間である減少変化期間において、減少前の設定流量値と減少後の設定流量値との変化分を用いて得られる演算値が小さくなれば大きな値が算出される関数を用いて算出している。 (もっと読む)


【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び/又は流量を測定する圧力/流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 (もっと読む)


【課題】従来に比して速やかにガス流量を変化させることができるマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、マスフローコントローラ100は、ガス流路構成部材110と、流量調整部130と、変位量記憶部144と、設定回路145と、を備える。流量調整部130は、ガス流路113中に配置され、ガスの流量を調整する弁131、および弁131の変位量を制御するアクチュエータ133を有する。変位量記憶部144は、処理手順を実行する前にガス流路113に処理手順で規定される流量のガスを流すときの弁131の変位量を処理手順ごとに求めた変位量情報を記憶する。設定回路145は、処理手順に対応する変位量を変位量記憶部144から取得して、取得した変位量に基づいてアクチュエータ133を制御する。 (もっと読む)


【課題】1基の流量制御装置によってより広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図る。
【解決手段】オリフィス上流側圧力P及びオリフィス下流側圧力の少なくともオリフィス上流側圧力Pを用い、オリフィスを流通する流体の流量を演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置の第一のバルブ2の下流側と流体供給用管路5との間の流体通路を二つの並列状の流体通路とすると共に、一方の流体通路5cには第二のバルブ34と第一のオリフィス8cを設け、他方の流体通路5gにはバルブを設けずに第二のオリフィス8aを設け、前記一方の流体通路5cは、前記第二のバルブ34の開閉によって制御され、前記第一のオリフィス8cへ大流量域の流体を流通させ、前記他方の流体通路5gは常時連通され、前記第二のオリフィス8aへ小流量域の流体を流通させる構成とした。 (もっと読む)


【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路13を流れる流体の流量を制御する目的で、流路13に開度を可変可能な弁構造35を設け、この弁構造35の弁体37と弁体37のアクチュエータであるピエゾ素子42との間に、ピエゾ素子42の伸縮を拡大して弁体37に伝達する変位拡大機構(ストローク拡大機構)50を設けた。 (もっと読む)


【課題】非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラ流量データを提供する方法を提供すること。
【解決手段】質量流量コントローラは、50%超の設定点において動作させてもよい。データは、質量流量コントローラメモリに記録されてもよい。設定点は次いで、0%に変えられてもよい。記録されたデータは次いで、分析され、1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータが、計算されてもよい。1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータは、質量流量コントローラメモリに保存されてもよく、その後に非製造調整ガスを伴う少なくとも1つの将来の質量流量コントローラ動作において使用されてもよい。 (もっと読む)


【課題】従来よりも計装コストを低減させる。
【解決手段】ガスが流通する流路11に配置され、発熱抵抗体、上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子を有するセンサ12と、発熱抵抗体を発熱させたときの上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子の検出温度に基づいてガスの物性値を算出する物性値算出部311と、上記検出温度に基づいてガスの流量を算出する流量算出部312と、ガスの置換時に開閉され、ガスの流量を調節する調節弁40と、算出された物性値または流量に基づいて調節弁40の開度を制御する弁制御部330と、センサ12の出力信号を、物性値算出部311または流量算出部312のいずれか一方への入力に切り替える切替部320と、を備える。 (もっと読む)


【課題】流量コントローラにつき、非摺動タイプの比例電磁弁を備えて比較的大流量の制御と安定した流量特性を実現すること。
【解決手段】流量コントローラは流量センサの検出流量が目標流量になるよう制御回路が比例電磁弁2を制御するよう構成される。比例電磁弁2はホルダ24に支持されたコイル21、ボビン22及び固定鉄心23と、可動鉄心25に設けられた弁体26及び板ばね27と、ボディ28に設けられた弁座30、導入通路31、導出通路32及びオリフィス33とを備える。コイル21の励磁による固定鉄心23の吸引力と板ばね27の付勢力との釣り合いにより可動鉄心25を変位させ、弁座30との弁体26の位置を調節し、流体流量を調節する。オリフィス33の内径「φ1以上」の値に設定され、オリフィス33の軸長の内径に対する比は「0.1以上0.6以下」の値に設定され、導出通路32の内径はオリフィス33の内径より大きく設定される。 (もっと読む)


【課題】半導体製造装置のガスの流量制御は、マスフローコントローラによって行われている。ここで使用される流量調整バルブは、流量を調整することに重点が置かれているため、閉鎖時にも微小ながらガスが流出する。このため、流量調整バルブの出力側に閉鎖特性の良好な開閉バルブが挿入されている。しかし、流量調整バルブと開閉バルブ間の流路系には、一定の容量を有するため、流量調整バルブが閉鎖されている間に、この流路系の圧力が流量調整バルブのリークを介して、上昇するという問題がある。このような出力側バルブ間空間の圧力上昇は、次に、開閉バルブが開いたときに、ガス被供給系への余剰のガス供給の原因となる。
【解決手段】本願発明は、マスフローコントローラのガス排出側の流量制御バルブと開閉バルブ間の圧力を計測することで、流量制御バルブの閉鎖時のリークガス流量を検知可能とした半導体製造装置である。 (もっと読む)


【課題】全閉状態における外部出力流量値に起因する種々の問題を解決することができるマスフローコントローラを提供する
【解決手段】流路1内を流れる流体の流量を測定し、その測定流量値を出力する流量測定部2と、制御バルブ3と、前記制御バルブ3を強制的に全閉させる全閉指令、又は、目標値として設定される設定流量値に基づいて前記制御バルブ3の開度を制御するバルブ制御部42と、前記測定流量値に基づいた外部出力流量値を外部に出力する外部出力部41と、を備えたマスフローコントローラ100であって、前記バルブ制御部42が、前記全閉指令又は前記設定流量値としてゼロを受け付けてから、前記外部出力部41が、前記外部出力流量値を前記測定流量値に関わりなくゼロと出力するようにした。 (もっと読む)


1 - 20 / 48