【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量測定機構、又は当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置に流路ＭＬ上に設けられた流体抵抗４と、前記流体抵抗４の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ３と、前記流体抵抗４に対して前記圧力センサ３が設けられていない側の圧力を算出する圧力算出部６と、前記測定圧力値と、前記圧力算出部６で算出された算出圧力値と、に基づいて流量を算出する流量算出部７と、前記測定流量値と、算出流量値と、に基づいて当該測定流量値の異常を診断する異常診断部８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】単一のセンサを使って流量を制御できるフロー制御装置を提供すること。
【解決手段】制御装置（３０）は、フローを受け入れるための流入口（３２）；フローをフロー・システムの他の構成要素に導くための流出口（３４）；圧力低減エレメント（３６）；上流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント（３６）の上流の圧力センサ（３８）；下流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント（３６）の下流の圧力センサ（４０）；プロセッサ、メモリ、及び流体の流量を算定しバルブ制御信号を発生させるためのソフトウエア命令を包含させることが可能なコントローラ（４２）；ならびに、バルブ制御信号に反応して流体フローを調節する、ちょう型バルブ、油圧駆動バルブなどのバルブ（４４）を含む。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の二次側圧力の変動を低減して、流量制御機器から排出するガス流量を高精度に検定でき、測定用タンク内の圧力降下率を一定に維持する。
【解決手段】プロセスガス供給源からのガスを第１ライン遮断弁２２と第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由しプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスライン２と、共用ガス供給源からのガスを第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由し排出すべく、分岐接続された共用ガスライン１とを有し、共用ガスライン１には、共用遮断弁１２と測定用タンク１３と第１圧力センサ１４１と圧力調整弁１５とを備え、第１ライン遮断弁２２及び共用遮断弁１２を弁閉したとき、測定用タンク１３内におけるガスの圧力降下を第１圧力センサ１４１により測定し流量制御機器２４の流量検定を行うガス流量検定システムにおいて、圧力調整弁１５は、該圧力調整弁１５の二次側圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】異なる液温の液体が収容された２つのタンクにおける急激かつ大幅な液位変化をなくして液体の温度調整を容易にすると共に、該装置をコンパクトかつ安価に設置できるようにする。
【解決手段】第１の液体Ｆ１が収容された外部タンク１の内部に、第２の液体Ｆ２が収容された内部タンク２を設置し、外部タンク１の内部又は内部タンク２の内部に下限液位センサ２８又は２５を配設し、該液位センサ２８，２５が液体の液位の低下を検出したとき第１の開閉弁２４又は第２の開閉弁２７を開放することにより、液位が上昇したタンク内の液体の一部を、外部タンク用液体循環路５及び内部タンク用液体循環路６を通じて液位が低下したタンク内に補給し、それによって両タンク１，２内の液位の変動を吸収する。 （もっと読む）

【課題】払出側の容器から受入側の容器に流体を移送する際に、流体圧力及び流体流量を常時安定させ、流体品質の悪化を防止する。
【解決手段】本プロセス制御システムは、移送管３を介して所定の流体を容器１から容器２に移送するものである。本システムには、上流側に流量調節設備４が、下流側に圧力調節設備５が設けられている。また、本システムには、流体の流量を検出する流量センサ７、流量制御装置８、流体の圧力を検出する圧力センサ１２、容器２内にある流体の液量レベルを検出する液量レベルセンサ１４、圧力制御装置１３が備えられている。流量制御装置８は、流量センサ７の検出値に基づいて流量調節設備４を制御する。また、圧力制御装置１３は、圧力センサ１２及び液量レベルセンサ１４の各検出値に基づいて圧力調節設備５を制御する。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御機構であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体に関する物理量を測定する流体測定部１と、前記流体測定部で測定される物理量の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御機構４とを備えた流体制御装置１００であって、前記バルブ制御機構４が、前記測定値と前記設定値の偏差に基づいてデジタル制御によって前記流体制御バルブ２の開度の操作量を演算する操作量演算部４１と、アナログ制御によって位相遅れを補償する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】全閉状態における外部出力流量値に起因する種々の問題を解決することができるマスフローコントローラを提供する
【解決手段】流路１内を流れる流体の流量を測定し、その測定流量値を出力する流量測定部２と、制御バルブ３と、前記制御バルブ３を強制的に全閉させる全閉指令、又は、目標値として設定される設定流量値に基づいて前記制御バルブ３の開度を制御するバルブ制御部４２と、前記測定流量値に基づいた外部出力流量値を外部に出力する外部出力部４１と、を備えたマスフローコントローラ１００であって、前記バルブ制御部４２が、前記全閉指令又は前記設定流量値としてゼロを受け付けてから、前記外部出力部４１が、前記外部出力流量値を前記測定流量値に関わりなくゼロと出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】一定流量の濃縮汚泥を安定して濃縮及び脱水する。
【解決手段】汚泥濃縮脱水システムは、汚泥を濾過して、濃縮汚泥を生成する濃縮装置１０１と、濃縮装置から排出される濃縮汚泥を一時的に貯留して、貯留した濃縮汚泥の液位を計測する液位計測装置１０２と、液位計測装置１０２により一時的に貯留された濃縮汚泥を排出する濃縮汚泥供給ポンプ１０３と、濃縮汚泥供給ポンプ１０３から排出された濃縮汚泥の圧入圧力を計測する圧力計１０４と、濃縮汚泥供給ポンプ１０４から排出された濃縮汚泥が圧入され、且つ当該濃縮汚泥を脱水する脱水装置１０５と、圧力計１０４が計測した圧入圧力に基づいて、濃縮汚泥供給ポンプ１０３からの排出量を制御し、且つ液位計測装置１０２が計測した液位に基づいて、脱水装置１０５が備える脱水スクリュー軸の回転数を制御する制御装置１０６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化された校正ユニットにより、より迅速且つ高精度で行える、ビルドアップ（又はＲＯＲ）法による流量制御器の流量校正方法を提供する。
【解決手段】ガス供給路ＬにビルドアップタンクＢＴと開閉弁Ｖ_１及び開閉弁Ｖ_２と温度検出器Ｐｄ及び圧力検出器Ｔｄとから成る校正ユニット５を分岐状に連結し開閉弁Ｖ_２を真空排気装置に接続し、先ず各流量制御器の開閉弁Ｖｏ_１〜Ｖｏ_ｎ及びガス使用箇所の開閉弁Ｖ_０を閉鎖して開閉弁Ｖ_２及び開閉弁Ｖ_１を開放、次に被校正流量制御器の開閉弁のみを開放して設定流量のガスを校正ユニット５へ流入させ、時刻ｔ_０に於いてタンク内のガス温度及びガス圧力を計測し、その後開閉弁Ｖ_２を閉鎖してタンクＢＴ内のガスのビルドアップを行い、時刻ｔ_１に開閉弁Ｖ_１を閉鎖し、時刻ｔ_２にガス温度及びガス圧力を計測して各計測値からガス流量Ｑを演算して設定ガス流量と演算ガス流量Ｑとの対比により流量校正を行う。 （もっと読む）

【課題】１基の流量制御装置によってより広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図る。
【解決手段】オリフィス上流側圧力Ｐ_１及びオリフィス下流側圧力の少なくともオリフィス上流側圧力Ｐ_１を用い、オリフィスを流通する流体の流量を演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置の第一のバルブ２の下流側と流体供給用管路５との間の流体通路を二つの並列状の流体通路とすると共に、一方の流体通路５cには第二のバルブ３４と第一のオリフィス８cを設け、他方の流体通路５gにはバルブを設けずに第二のオリフィス８aを設け、前記一方の流体通路５cは、前記第二のバルブ３４の開閉によって制御され、前記第一のオリフィス８cへ大流量域の流体を流通させ、前記他方の流体通路５gは常時連通され、前記第二のオリフィス８aへ小流量域の流体を流通させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラ流量データを提供する方法を提供すること。
【解決手段】質量流量コントローラは、５０％超の設定点において動作させてもよい。データは、質量流量コントローラメモリに記録されてもよい。設定点は次いで、０％に変えられてもよい。記録されたデータは次いで、分析され、１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータが、計算されてもよい。１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータは、質量流量コントローラメモリに保存されてもよく、その後に非製造調整ガスを伴う少なくとも１つの将来の質量流量コントローラ動作において使用されてもよい。 （もっと読む）

【課題】流量センサを用いずとも、供給流路からの流量を所定の比率で分割することができ、且つ低価格化を実現できる流量比率制御装置Ａを提供する。
【解決手段】混合プロセスガスＧが流れる一つの供給パイプＰＸをその下流側で分流させた第１の分流路１ａ及び第２の分流路１ｂと、前記各分流路上にそれぞれ設けられ、且つ、導入口及び導出口を有しこれら導入出口間に各々の抵抗値と対応する差圧を発生させるとともにその抵抗値比が所定比の第１の抵抗体２ａ及び第２の抵抗体２ｂと、前記第１の分流路１ａ上にある前記第１の抵抗体２ａの下流側に設けられ該第１の分流路１ａを流れる流体の流量を制御するコントロールバルブ３と、前記第１の抵抗体２ａの導出口２ａ１の圧力値と前記第２の抵抗体２ｂの導出口２ｂ１の圧力値との差がゼロとなるように、前記コントロールバルブ３を開閉制御する制御部６と、を具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、当該流量センサ部２の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差にＰＩＤ演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部７と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブに出力する開度制御信号出力部８と、を備え、前記算出部７が、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力又は流量設定値の少なくとも１つと、前記一次側圧力の時間変化量と、に基づいて変更する。 （もっと読む）

少なくとも１つのポンプと、質量流量センサと、周囲温度センサと、周囲圧力センサと、前記質量流量センサの温度を測定する温度補償センサと、制御システムとを備える安定した空気流量を維持するための流量調整システムが開示され、前記流量調整システムを用いて流量を測定するための方法、サンプリング装置と、濃縮トラップ１と、較正およびチューニングモジュールと、ブランクモジュールと、前記流量調整システムと、クロマトグラフィーユニットと、検出ユニットとを備える気相と粒子相との両方における空気中に存在する空気により運ばれる化合物を監視するための装置、ならびに前記監視装置を用いて空気流中の空気により運ばれる化合物を検出するための方法も開示される。 （もっと読む）

可動式流体輸送機（１０６）を使用して現場（１００）に流体を輸送するシステム及び方法が開示される。本方法は、センサ（５００）を使用して現場に関連するパラメータの値を特定すること、及び現場パラメータの値に基づいて流体輸送率を決定することを含む。本方法は、決定された流体輸送率で、可動式流体輸送機の位置での現場表面に流体を輸送することをさらに含む。
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【課題】 水供給に何らかの異常が生じても高温の湯のみが誤って流出することが無く、安全性を確保できる混合弁システムを提供する。
【解決手段】 湯減圧弁３０の湯側隔壁部３２が、水減圧弁２０の二次側水流路１２における水の圧力を受けて湯側弁体３１を移動可能として配設され、二次側水流路１２に水が正常に流入しない場合には、湯側隔壁部３２に十分な水圧が加わらないことで、湯側弁体３１が湯側弁ばね３３の付勢に伴い移動して、一次側湯流路１３と二次側湯流路１４との間を閉鎖することから、水が水減圧弁２０に達しないような異常状態では、湯側弁体３１を直ちに湯の流路を閉鎖する位置まで移動させて、湯減圧弁３０から混合弁４１、４２への湯の流入を抑えられ、誤って高温の湯が混合弁４１、４２から下流側に流出する事態を防止でき、安全を確保できる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置のガスの流量制御は、マスフローコントローラによって行われている。ここで使用される流量調整バルブは、流量を調整することに重点が置かれているため、閉鎖時にも微小ながらガスが流出する。このため、流量調整バルブの出力側に閉鎖特性の良好な開閉バルブが挿入されている。しかし、流量調整バルブと開閉バルブ間の流路系には、一定の容量を有するため、流量調整バルブが閉鎖されている間に、この流路系の圧力が流量調整バルブのリークを介して、上昇するという問題がある。このような出力側バルブ間空間の圧力上昇は、次に、開閉バルブが開いたときに、ガス被供給系への余剰のガス供給の原因となる。
【解決手段】本願発明は、マスフローコントローラのガス排出側の流量制御バルブと開閉バルブ間の圧力を計測することで、流量制御バルブの閉鎖時のリークガス流量を検知可能とした半導体製造装置である。 （もっと読む）

【課題】自己校正型のガス流量制御のための方法及び装置を提供する。
【解決手段】ガス流量は最初に、流量制限器の開口の量を高い精度に制御することによって設定される。なお、流量制限器を含む装置の設計は高い精度の達成に役立つ。その後、ガス流量は、流量制限器の上流における圧力降下率で測定され、必要なら、流量制限器の開口の量は、正確に所望の流量を得るように調整される。 （もっと読む）

【課題】全閉状態における外部出力流量値に起因する種々の問題を解決することができるマスフローコントローラを提供する
【解決手段】流路１内を流れる流体の流量を測定し、その測定流量値を出力する流量測定部２と、制御バルブ３と、前記制御バルブ３を強制的に全閉させる全閉指令、又は、目標値として設定される設定流量値に基づいて前記制御バルブ３の開度を制御するバルブ制御部４２と、前記測定流量値に基づいた外部出力流量値を外部に出力する外部出力部４１と、を備えたマスフローコントローラ１００であって、前記バルブ制御部４２が、前記全閉指令又は前記設定流量値としてゼロを受け付けてから、前記外部出力部４１が、前記外部出力流量値を前記測定流量値に関わりなくゼロと出力するようにした。 （もっと読む）