【課題】混合ガスの濃度および流量を高速かつ正確に制御できる混合ガス流量制御装置を提供する。
【解決手段】各原料ガス供給源１ａ〜１ｄに原料ガス供給管路２ａ〜２ｄが接続され、原料ガス供給管路にガス混合管路３が接続される。各原料ガス供給管路に第１の流量制御バルブ４ａ〜４ｄが設けられる。ガス混合管路に第２の流量制御バルブ５の入口が接続される。ガス混合管路にオーバーフロー管路６が分岐接続される。第２の流量制御バルブの出口に混合ガス供給管路７が接続される。制御部８が、混合ガス供給管路に供給すべき混合ガスの濃度及び流量設定値に従って、第１の流量制御バルブの開度を調整すると同時に、第１の流量制御バルブの開度と第１の流量制御バルブの原料ガスに対するコンバージョンファクタとから算出した第２の流量制御バルブの混合ガスに対するコンバージョンファクタに基づき、第２の流量制御バルブの開度を調整する。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量測定機構、又は当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置に流路ＭＬ上に設けられた流体抵抗４と、前記流体抵抗４の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ３と、前記流体抵抗４に対して前記圧力センサ３が設けられていない側の圧力を算出する圧力算出部６と、前記測定圧力値と、前記圧力算出部６で算出された算出圧力値と、に基づいて流量を算出する流量算出部７と、前記測定流量値と、算出流量値と、に基づいて当該測定流量値の異常を診断する異常診断部８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】流量制御バルブに生じている異常を高い信頼性とともに診断することができ、例えば、流量制御バルブに異常が生じた場合には早急に適切なメンテナンス等を行うことができる流量制御装置及びそれに用いられる診断装置又は診断用プログラムを提供する。
【解決手段】第２測定流量値又は測定圧力値に基づいて第１測定流量値の異常を診断する第１測定流量診断部５と、前記第１測定流量診断部５が、前記第１測定流量値に異常が無いと診断している場合に、流量制御バルブ２の異常を診断するバルブ診断部６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】複数の流体機器ユニットとそれらにセットで取り付けられる外部流体機器とを効率よくコンパクトに配置可能な流体機構を提供する。
【解決手段】各流体機器ユニットの長手方向側面同士を密着させて配置するとともに、外部流体機器Ｖ１、Ｖ２を、流体機器ユニットの幅方向外側に並べて配置するようにした。さらに、外部流体機器Ｖ１、Ｖ２と流体機器ユニットとを接続する流入経路９ｃ及び流出経路９ｄにおいて、短い流入経路９ｃは長い流出経路９ｄに接続するようにした。 （もっと読む）

【課題】流体の温度の範囲や流体の種類の制限を受け難く、長期間に亘り安定的に作動する圧力補償型の流量制御弁を提供する。
【解決手段】流体入口２２及び流体出口２８を有するハウジング１４と、ハウジング内に往復動可能に配置されハウジングと共働してそれぞれ流体入口及び流体出口と連通する容積可変の第一の室３０及び第二の室３２を郭定する弁体２４と、弁体を第一の室の容積が減少する方向へ付勢する付勢手段としての圧縮コイルばね３６とを有する流量制御弁１０。弁体２４には第一及び第二の室を相互に連通接続する連通路３４が設けられており、弁体が圧縮コイルばねのばね力に抗して第一の室の容積を増大する方向へ移動すると、流体出口２８に接近し第二の室と流体出口との連通度合を低減し、これにより流量制御弁１０を通過する流体の流量が一定に維持される。 （もっと読む）

【課題】液化ガスの再液化を防ぎながら液化ガスの流量を精密に制御可能なマスフローコントローラーを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラー１００は、流入口１１から流入した液化ガスを分流するセンサー用配管１３とバイパス配管１４と、前記センサー用配管を覆うように配置された熱式センサー７と、前記センサー用配管を覆って前記センサー用配管と共に二重配管を形成し、前記センサー用配管および前記バイパス配管に連通する断熱領域１５と、前記連通を遮断して前記断熱領域を閉鎖領域とする閉鎖バルブ１と、を備える。実施形態のマスフローコントローラーは、前記センサー用配管と前記バイパス配管とから合流した前記液化ガスの流出口１２と、前記熱式センサーの検出結果に基づいて前記流出口から流出する前記液化ガスの流量を制御する制御手段と、前記各部位の全体を下方から加熱するヒーター２と、をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】小型で、かつ、流量制御の応答性が優れた流量制御装置を提供することである。
【解決手段】力が作用することによって変形する変形可能部を有する流体通路と、前記流体通路の前記変形可能部に、異なる方向から、力を作用させる力作用手段とを具備してなり、前記力作用手段は、チャンバ１０、１３と、該チャンバ１０、１３の少なくとも一部を構成する膜９，１２と、前記チャンバ１０、１３内の圧力を制御する圧力制御手段とを具備してなり、前記圧力制御手段による前記チャンバ１０、１３内の圧力変動による前記膜９，１２の変形によって、前記流体通路の前記変形可能部３には、異なる位置で、変形が起きるよう構成されてなり、前記流体通路の前記変形可能部３の変形度によって該流体通路を流れる流体の流量が制御される流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】応答性の良い流量制御を、容易な設定で実現する。
【解決手段】流量制御装置１００において、コンパレータ４０は、流量の指令値信号Ｖｉ１と、センサ出力信号Ｖｓに応じた信号Ｖｉ２との比較に基づき第１の制御電圧Ｖｒｅｆを出力する。フィードバック電流生成部３０は、センサ出力信号Ｖｓと、指令値信号Ｖｉ１に応じた信号Ｖｉ２と、の差に応じたフィードバック電流Ｉｆｂを生成する。フィードバック電圧生成部５０は抵抗器である。フィードフォワード電流生成部２０は、指令値信号Ｖｉ１に応じてフィードフォワード電流Ｉｆｆを生成する。合成部６０は、フィードバック電流Ｉｆｂとフィードフォワード電流Ｉｆｆの和に応じた電圧をフィードバック電圧Ｖｆｂに加算した電圧である第２の制御電圧Ｖｄｒｖ＊を生成する。弁部９０は、第１の制御電圧Ｖｒｅｆと第２の制御電圧Ｖｄｒｖ＊に応じて制御される、流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁周りの隙間にゴミを噛み込んだときに、そのゴミ噛み状態を容易に解除して正常な状態に復帰させることのできるパイロット式の流量調節弁装置を提供することを目的とする。
【解決手段】パイロット式の流量調節弁装置２２において、主弁３８の開方向の最大移動量を制限する主弁３８のストッパ１０１を設けるとともに、主弁３８が最大移動量まで移動した後、パイロット弁６０を主弁３８の最大移動量に対応する位置から更に開方向に移動可能とするパイロット弁６０の移動空間Ｋを設けておき、最大流量での吐水時に主弁３８を制限以上に移動させず、パイロット弁６０だけを更に開方向に移動させてパイロット弁隙間を大とし、噛み込んだゴミを下流側へと流し出すようにする。 （もっと読む）

【課題】設定水位の変更や、需要者による水の使用量の変動等の要因に対しても、設定水位と現在水位の差の変動を少なくし得る浄水施設の送水制御方法を提供する。
【解決手段】この浄水施設の送水制御方法は、複数台の送水ポンプを有する浄水施設に用いられ、現在水位と設定水位の差の絶対値が、第一の規定値の範囲内のときを不感帯領域Ｆと定め、この不感帯領域Ｆにおいては複数台の送水ポンプの運転を現状維持とし、第一の規定値を超えかつそれよりも大きな第二の規定値以下のときを流量制御領域Ｒと定め、この流量制御領域Ｒにおいては複数台の送水ポンプのうち稼働している送水ポンプに限って回転数または吐出弁開度で送水量を制御し、第二の規定値を超えたときを台数制御領域Ｄと定め、この台数制御領域Ｄにおいては複数台の送水ポンプの運転台数を増加または減少させる。 （もっと読む）

【課題】単位時間内に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を精度よく管理することができる供給量管理システムを提供する。
【解決手段】供給量管理システム１は、プラント内において、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の供給量を管理するシステムであり、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物の流量を連続的に計測する流量計測部２と、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に供給されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度を連続的に計測する濃度計測部３と、流量計測部２によって計測されるＣ４混合物の流量データ及び濃度計測部３によって計測されるＣ４混合物に含まれる有効成分の濃度データを用いて、発生装置Ｍ１から処理装置Ｍ２に単位時間内に供給される有効成分の供給量を算出する算出部７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】制御弁のスライド弁体の動作を安定させる流量制御弁を提供する。
【解決手段】
第１スライド部３と第２スライド部４を有する弁体２を弁軸方向に摺動可能に収納し、圧力流体源１０からの圧力流体を両スライド部間に供給する圧力流体供給路５と、弁体２の作動により圧力流体を制御しつつ出力する圧力流体出力路６を備え、圧力流体供給路５を第２スライド部４と弁箱１端間で形成される第２外方室Ｋ２に連通させる連通路、５Ｐを設けた制御弁である。これら各連通路に第２のオリフィスＯＦ２を介設したものである。 （もっと読む）

【課題】一定流量の濃縮汚泥を安定して濃縮及び脱水する。
【解決手段】汚泥濃縮脱水システムは、汚泥を濾過して、濃縮汚泥を生成する濃縮装置１０１と、濃縮装置から排出される濃縮汚泥を一時的に貯留して、貯留した濃縮汚泥の液位を計測する液位計測装置１０２と、液位計測装置１０２により一時的に貯留された濃縮汚泥を排出する濃縮汚泥供給ポンプ１０３と、濃縮汚泥供給ポンプ１０３から排出された濃縮汚泥の圧入圧力を計測する圧力計１０４と、濃縮汚泥供給ポンプ１０４から排出された濃縮汚泥が圧入され、且つ当該濃縮汚泥を脱水する脱水装置１０５と、圧力計１０４が計測した圧入圧力に基づいて、濃縮汚泥供給ポンプ１０３からの排出量を制御し、且つ液位計測装置１０２が計測した液位に基づいて、脱水装置１０５が備える脱水スクリュー軸の回転数を制御する制御装置１０６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路１３を流れる流体の流量を制御する目的で、流路１３に開度を可変可能な弁構造３５を設け、この弁構造３５の弁体３７と弁体３７のアクチュエータであるピエゾ素子４２との間に、ピエゾ素子４２の伸縮を拡大して弁体３７に伝達する変位拡大機構（ストローク拡大機構）５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】
連通管で結合して水位を同一にすることができない複数の水槽に対して、共通のポンプにより水を循環させること。
【解決手段】
ポンプ１５は、複数の水槽１００、１０１からの水を合流して吸い込み、吐出した水を分岐して複数の水槽内に供給する。水槽１００、１０１からポンプ１５への還流路１４には各水槽毎に循環水量が設定された仕切弁２０ａ、２０ｂが設けられている。ポンプ１５から水槽１０１への流路には、水槽１０１に対して設定されている循環水量よりも大きな流量で供給する「開状態」或いは、小さい流量で供給する「閉状態」のいずれかをとるように設定された制御弁２３ｂが設けられ、水槽１０１の水位が予定された水位範囲内を下回るとき「開状態」に制御弁２３ｂを設定し、上回るとき「閉状態」に制御弁２３ｂを設定する。 （もっと読む）

【課題】非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラ流量データを提供する方法を提供すること。
【解決手段】質量流量コントローラは、５０％超の設定点において動作させてもよい。データは、質量流量コントローラメモリに記録されてもよい。設定点は次いで、０％に変えられてもよい。記録されたデータは次いで、分析され、１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータが、計算されてもよい。１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータは、質量流量コントローラメモリに保存されてもよく、その後に非製造調整ガスを伴う少なくとも１つの将来の質量流量コントローラ動作において使用されてもよい。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で特別な調整を必要とせず容易に定流量化が図れる流量調整装置を提供する。
【解決手段】流路３を流れる液体の流量を設定流量に調整する流量調整装置であり、流路３に設けられるベンチュリ管１を備えている。ベンチュリ管１を通過する液体が設定流量を超える場合、キャビテーションによる気泡の発生に伴う圧力損失によりその流量が抑えられて設定流量に略定流量化されるように、ベンチュリ管１のスロート部６の流路断面積が設定されている。 （もっと読む）

【課題】精鉱装入量を脈動を防止し、計量スクリューコンベアの先端部に発生する精鉱の居着きを安定的に除去し、精鉱装入量の精度を向上させる。
【解決手段】インバータ１０およびモータ１２駆動の切出スクリューコンベア１と、重量測定装置３を有し、インバータ９およびモータ１１駆動の計量スクリューコンベア２とを備え、切出スクリューコンベア１により精鉱１３を切出し、切出した精鉱１３を計量スクリューコンベア２により製錬炉に装入し、重量測定装置３により装入する精鉱１３の重量を連続的に測定する精鉱装入装置（設備）において、切出スクリューコンベア１の回転数をＰＩＤ制御器７により制御し、精鉱装入量ｚを制御し、計量スクリューコンベア２の回転数をモータ１１の１００パーセントの全速運転とすることにより、両者のスクリューコンベア１、２を分散型制御とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄等による液体の置換を容易かつ完全に実施できるダメージ軽減対策を施した圧力センサを提供する。
【解決手段】流体主流路１１を流れる液体の圧力を検出する圧力センサ１０において、流体主流路１１の直管部から分岐した位置に圧力計測空間部１２を設けて圧力計測部４を設置し、さらに、流体主流路１１と圧力計測空間部１２との間については、流体主流路１１より管径の細い導入管１３及び流出管１４を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】従来よりも計装コストを低減させる。
【解決手段】ガスが流通する流路１１に配置され、発熱抵抗体、上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子を有するセンサ１２と、発熱抵抗体を発熱させたときの上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子の検出温度に基づいてガスの物性値を算出する物性値算出部３１１と、上記検出温度に基づいてガスの流量を算出する流量算出部３１２と、ガスの置換時に開閉され、ガスの流量を調節する調節弁４０と、算出された物性値または流量に基づいて調節弁４０の開度を制御する弁制御部３３０と、センサ１２の出力信号を、物性値算出部３１１または流量算出部３１２のいずれか一方への入力に切り替える切替部３２０と、を備える。 （もっと読む）