【課題】混合ガスの濃度および流量を高速かつ正確に制御できる混合ガス流量制御装置を提供する。
【解決手段】各原料ガス供給源１ａ〜１ｄに原料ガス供給管路２ａ〜２ｄが接続され、原料ガス供給管路にガス混合管路３が接続される。各原料ガス供給管路に第１の流量制御バルブ４ａ〜４ｄが設けられる。ガス混合管路に第２の流量制御バルブ５の入口が接続される。ガス混合管路にオーバーフロー管路６が分岐接続される。第２の流量制御バルブの出口に混合ガス供給管路７が接続される。制御部８が、混合ガス供給管路に供給すべき混合ガスの濃度及び流量設定値に従って、第１の流量制御バルブの開度を調整すると同時に、第１の流量制御バルブの開度と第１の流量制御バルブの原料ガスに対するコンバージョンファクタとから算出した第２の流量制御バルブの混合ガスに対するコンバージョンファクタに基づき、第２の流量制御バルブの開度を調整する。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量測定機構、又は当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置に流路ＭＬ上に設けられた流体抵抗４と、前記流体抵抗４の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ３と、前記流体抵抗４に対して前記圧力センサ３が設けられていない側の圧力を算出する圧力算出部６と、前記測定圧力値と、前記圧力算出部６で算出された算出圧力値と、に基づいて流量を算出する流量算出部７と、前記測定流量値と、算出流量値と、に基づいて当該測定流量値の異常を診断する異常診断部８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】液化ガスの再液化を防ぎながら液化ガスの流量を精密に制御可能なマスフローコントローラーを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラー１００は、流入口１１から流入した液化ガスを分流するセンサー用配管１３とバイパス配管１４と、前記センサー用配管を覆うように配置された熱式センサー７と、前記センサー用配管を覆って前記センサー用配管と共に二重配管を形成し、前記センサー用配管および前記バイパス配管に連通する断熱領域１５と、前記連通を遮断して前記断熱領域を閉鎖領域とする閉鎖バルブ１と、を備える。実施形態のマスフローコントローラーは、前記センサー用配管と前記バイパス配管とから合流した前記液化ガスの流出口１２と、前記熱式センサーの検出結果に基づいて前記流出口から流出する前記液化ガスの流量を制御する制御手段と、前記各部位の全体を下方から加熱するヒーター２と、をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御機構であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体に関する物理量を測定する流体測定部１と、前記流体測定部で測定される物理量の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御機構４とを備えた流体制御装置１００であって、前記バルブ制御機構４が、前記測定値と前記設定値の偏差に基づいてデジタル制御によって前記流体制御バルブ２の開度の操作量を演算する操作量演算部４１と、アナログ制御によって位相遅れを補償する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】蒸気タービンに流入する蒸気流を制限する方法及びシステムを提供する。
【解決手段】方法５００及びシステム１００により、蒸気タービン１０２の段１１０、１１２間で分配される蒸気流を意図的に不平衡状態にできる。蒸気タービン１０２は少なくとも、第１段１１２、第２段１１４、及び各段内に設けられたロータ１１５を備える。方法５００では、第１段１１０に関連付けられた第１弁１１８、及び第２段１１２に関連付けられた第２弁１２０の基準ストロークを提供する、速度／負荷コマンド５１０等を受信する。方法５００では更に、速度／負荷コマンドに応じて基準ストロークを制限する操作パラメータを決定する。操作パラメータにより、速度／負荷コマンドとは無関係に、蒸気タービン１０２の各段に許容可能な蒸気流を決定できる。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラの流量制御バルブのより長期間の使用を可能にするとともに、流量設定値を減少させた場合に実流量をより正確に制御可能にする。
【解決手段】流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、流量測定値と流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７とを備えており、前記比例演算における偏差に乗算するゲイン値を、流量設定値を所定量以上減少させた時点から所定期間である減少変化期間において、減少前の設定流量値と減少後の設定流量値との変化分を用いて得られる演算値が小さくなれば大きな値が算出される関数を用いて算出している。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路１３を流れる流体の流量を制御する目的で、流路１３に開度を可変可能な弁構造３５を設け、この弁構造３５の弁体３７と弁体３７のアクチュエータであるピエゾ素子４２との間に、ピエゾ素子４２の伸縮を拡大して弁体３７に伝達する変位拡大機構（ストローク拡大機構）５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】従来よりも計装コストを低減させる。
【解決手段】ガスが流通する流路１１に配置され、発熱抵抗体、上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子を有するセンサ１２と、発熱抵抗体を発熱させたときの上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子の検出温度に基づいてガスの物性値を算出する物性値算出部３１１と、上記検出温度に基づいてガスの流量を算出する流量算出部３１２と、ガスの置換時に開閉され、ガスの流量を調節する調節弁４０と、算出された物性値または流量に基づいて調節弁４０の開度を制御する弁制御部３３０と、センサ１２の出力信号を、物性値算出部３１１または流量算出部３１２のいずれか一方への入力に切り替える切替部３２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】流量コントローラにつき、非摺動タイプの比例電磁弁を備えて比較的大流量の制御と安定した流量特性を実現すること。
【解決手段】流量コントローラは流量センサの検出流量が目標流量になるよう制御回路が比例電磁弁2を制御するよう構成される。比例電磁弁2はホルダ24に支持されたコイル21、ボビン22及び固定鉄心23と、可動鉄心25に設けられた弁体26及び板ばね27と、ボディ28に設けられた弁座30、導入通路31、導出通路32及びオリフィス33とを備える。コイル21の励磁による固定鉄心23の吸引力と板ばね27の付勢力との釣り合いにより可動鉄心25を変位させ、弁座30との弁体26の位置を調節し、流体流量を調節する。オリフィス33の内径「φ１以上」の値に設定され、オリフィス33の軸長の内径に対する比は「０．１以上０．６以下」の値に設定され、導出通路32の内径はオリフィス33の内径より大きく設定される。 （もっと読む）

【課題】定流量制御装置を提供すること。
【解決手段】第１ハウジング３とダイアフラム４と該ダイアフラム４に一体的に取付けられた可動弁体５により形成される第１室６と、第２ハウジング９とダイアフラム４と可動弁体５により形成される第２室１０と、流体が通過することで第１室と第２室との間に圧力差を生じさせる絞り部１１と、第２室と下流側流体通路とを連通する通路に臨んで設けられ、可動弁体５に備えられたニードル弁１３に対応して設けられる弁座１４と、可動弁体をニードル弁と弁座が開弁する方向に所定の弾性力で付勢する主弾性部材１５と、を備えた流体の流量を所定流量に制御する定流量制御装置において、絞り部１１のオリフィスにはクリーニングピン２７が遊挿され、このクリーニングピンの軸方向の端部は、第１ハウジング３及び又は第２ハウジング９により、クリーニングピン２７はその軸方向の位置が規制されている。 （もっと読む）

【課題】搬送流路に取り外し可能な流量調整装置を仮設し、該流量調整装置により搬送流路を流れる流体の流量を目標流量に自動的に調整することができる流体搬送設備を提供する。
【解決手段】流体送出装置から主ダクトに送出された流体の流量を調整すべく分岐ダクトとの分岐部と流体送出装置との間に第１流量調整部材が設置され、主ダクトから分岐された分岐ダクトには第２流量調整部材が取り付けられ、これら流量調整部材を通過する流量が流量調整装置により目標流量に調整され、この流量調整装置が、流量調整部材ごとに設置される流量調整ユニットと、これら各流量調整ユニットを操作する１つの情報処理装置とを備る。流量調整ユニットのそれぞれは、流量検知装置と、流量調整部材の操作部を作動させる作動装置と、操作部の操作力を検知する操作力検知装置と、作動装置に開閉部の開閉量変更値を出力する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ガス種等の試料流体の変更にも特別な手間を必要とせずに柔軟に対応することができ、しかも、精度良く流量を測定することができるといった、優れたマスフローメータ等を提供する。
【解決手段】流路１を流れる試料流体Ｇの流量を検知するセンサ部２と、流体ごとに定められ、前記センサ部２からの出力値に基づいて流量を定めるための流量特性関数であって、指定された試料流体に固有の流量特性関数Ｋと、その流量特性関数とは独立した、複数の試料流体に対して共通のパラメータであり、マスフローメータごとの器差を補正するための器差補正パラメータαとを設定する設定部４ｃと、前記流量特性関数Ｋと前記器差補正パラメータαとに基づいて、前記試料流体Ｇの流量を算出する流量算出部４ｄとを具備するように構成した。 （もっと読む）

【課題】常に安定で再現性のよい流量制御装置及び前記制御装置を備えたプロセス装置を提供する。
【解決手段】反応容器に反応ガスを供給する配管に流量制限器３６を備え、配管の流量制限器３６の上流側に可変コンダクタンスバルブ３２、配管の流量制限器３６の下流側に可変コンダクタンスバルブ３３を備える。流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３２間の圧力と流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３３間の圧力に基づいて、可変コンダクタンスバルブ３２と可変コンダクタンスバルブ３３を制御するバルブ制御装置３８を備える。バルブ制御装置３８は、流量制限器３６と可変コンダクタンスバルブ３３間の圧力が一定となるように、可変コンダクタンスバルブ３３を制御し、配管に予め設定した流量の反応ガスが流れるように可変コンダクタンスバルブ３２を制御する。 （もっと読む）

【課題】 コストを減少するとともに、スペースの減少も可能とした流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体制御装置1は、流体制御部2と流体導入部3とを有している。流体導入部3は、３つに分けられており、入口側に配置されてそれぞれ２×Ｎ／２個の開閉弁23からなる第１および第２入口側遮断開放部5,6と、４×Ｍ個の開閉弁23からなり、第１および第２入口側遮断開放部5,6と流体制御部2との間に配置された流体制御部側遮断開放部7とからなる。 （もっと読む）

【課題】適切な測定範囲を選択可能な分流式流量計を提供する。
【解決手段】主流路１１、及び主流路１１に通じる一対の分流孔４ａ，４ｂが設けられた主流路保持体１０と、一対の分流孔４ａ，４ｂを介して主流路１１と連通する分流路２５が設けられた、主流路保持体１０に着脱可能な分流路保持体３０と、分流路２５を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ８と、流れセンサ８によって検出される流体の流量と主流路１１を流れる流体の流量との分流比を設定するために、分流路２５に配置される分流比設定部材と、流れセンサ８によって検出された流量、及び分流比に基づいて、主流路１１を流れる流体の流量を算出する算出回路３０１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】分流比の誤認を防止可能な分流式流量計を提供する。
【解決手段】主流路11、及び主流路11に通じる一対の分流孔4a, 4bが設けられた主流路保持体10と、一対の分流孔4a, 4bを介して主流路11と連通する分流路25が設けられた、主流路保持体10に着脱可能な分流路保持体30と、主流路11及び一対の分流孔4a, 4bの流路抵抗に依存する分流路25と主流路11との分流比に関する情報を識別するための、主流路保持体10に設けられた識別部と、分流路25を流れる流体の流量を検出するための流れセンサ8と、識別部から読み出された分流比に関する情報を保存するための、分流路保持体30に固定された第１の分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出回路301と、を備える。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置が相互干渉することなく設定器で設定された正確な流量を得ることができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路の開閉を調節するソレノイドバルブ２０と、このバルブを駆動するバルブ駆動回路２１を有する流量制御装置であって、入力されるアナログ電圧値またはアナログ電流値を所定のデジタル値またはアナログ値に変換して伝達するアナログ入力回路２３と、この入力回路から伝達されたデジタル値またはアナログ値を、設定された流量に応じた指示信号を出力する制御部２２と、制御部とバルブ駆動回路を電気的に絶縁すると共に、制御部からの指示信号をバルブ駆動回路へ伝達する信号伝達部と、アナログ入力回路及び制御部とを電気的に絶縁すると共に、アナログ入力回路及び制御部へ電源供給する絶縁型電源回路と、バルブ駆動回路へ電源供給する非絶縁型電源回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】無駄な待ち時間を減らしつつ、流量制御の精度を向上させることができる流体分流供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローメータ８の二次側に第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを接続する。第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを流量特性に照合して、動作周期ｔのうちで弁開するパルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を決定する。そして、第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの動作周期ｔを一定にして、決定したパルスＯＮ時間に従って第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを開閉させて流量制御を行う。このとき、マスフローメータ８が測定するユニット総流量Ｑを平均したユニット平均流量Ｑｍと、第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを合計した指令総流量Ｑａ＋Ｑｂとの偏差ＱＰをゼロにするように、パルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を補正する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れるプロセスガスの流量制御の検定処理を行なうことができる流量制御装置及びその検定方法を提供する。
【解決手段】 流路４の流量を流量設定値になるように流量を制御しているときに、プロセスガスの流量検出値と、圧力検出値と、流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報とから構成される検定サンプリング情報の所定数を収集してこの流量設定値と関連付けて記憶する。そして、検定サンプリング情報として記憶された所定数の流量検出値とバルブ駆動制御情報について、その関連を示す関連係数（Ａ）を順次求め、この関連係数（Ａ）の値が予め設定した閾値の範囲を超えていると、新たに入力した流量検出値に基づいて求めてバルブ駆動制御情報と、予め検定処理用に登録したバルブ特性情報テーブルＫ１を参照して求めた基準となるバルブ駆動制御情報との差異量を求め、この差異量を検定情報としている。 （もっと読む）