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Fターム[5H307GG15]の内容

流量の制御 (3,234) | 流量設定値の種類、内容 (299) | 質量流量が設定されるもの (27)

Fターム[5H307GG15]に分類される特許

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【課題】圧力脈動によって反応器中での化学反応(選択性、反応機構、副生成物の生成等)に悪影響を生じない送出システムと制御方法を提供する。
【解決手段】流体Aを静的ミキサ1へと送り込むための送出システムであって、所定の圧力の前記流体Aを含んだタンク2と、前記静的ミキサ1とタンク2とを接続する流路3と、前記流路3内に設けられ、前記タンク2から前記容器中への前記流体Aのフローを制御する制御バルブ4と;前記流体Aの目標流量SP_Q及び前記流体Aの実際の流量PV_Qを受けるための、並びに、バルブ位置を表す前記制御バルブ4への制御シグナルMV_Lを出力して前記流量を調節するための制御器6とを具備する。 (もっと読む)


【課題】非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラ流量データを提供する方法を提供すること。
【解決手段】質量流量コントローラは、50%超の設定点において動作させてもよい。データは、質量流量コントローラメモリに記録されてもよい。設定点は次いで、0%に変えられてもよい。記録されたデータは次いで、分析され、1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータが、計算されてもよい。1つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータは、質量流量コントローラメモリに保存されてもよく、その後に非製造調整ガスを伴う少なくとも1つの将来の質量流量コントローラ動作において使用されてもよい。 (もっと読む)


【課題】原料補給時もフィードバック制御ができるようにして精密な定量供給ができるようにする
【解決手段】スクリュー式フィーダー10のスクリュー11を備えた供給円筒12に検出区域13を設定し、前記検出区域13を挟んでγ線密度計14のγ線源14aと検出器14bを対向させて設ける。そして、筒状の検出区域13を透過する際のγ線の減衰量を検出器14bで測定し、その測定値から検出区域13を移送される原料の密度を算出して、その算出した密度に基づいて原料の移送速度あるいは原料の単位時間当たりの移送量を制御し、下流側に設けた排出口からの切り出し量を一定にする。このように、移送路を移送される原料の密度を常時測定して切り出し量を一定にするので、原料補給時の原料の増加に無関係にフィードバック制御できる。 (もっと読む)


【課題】流路を流通する流体の流量制御の安定化を図る。
【解決手段】流体が流通する流路の開度を調整可能なバルブ41と、流体の流量を検出する流量検出部34と、流量検出部34の検出結果と流量に関する設定値とに基づいて、バルブ41に供給される駆動電圧をパルス幅変調するバルブ駆動部53と、前記駆動電圧の変動に応じて前記パルス幅変調のパルス幅を補正する制御部57,71と、を備える。 (もっと読む)


【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスGが流れる流路に設けられた感熱抵抗体41a、41bを有するセンサ部411、412からの出力信号を取得し、前記試料ガスGの流量Qrawを算出する流量算出部42と、前記流路2における一次側圧力Pinを測定する圧力測定部43と、前記圧力測定部43により得られた一次側圧力Pin、及び前記試料ガスGの定圧比熱Cにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部42により得られた測定流量Qrawを補正する流量補正部44と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】一次側圧力センサを設けることなく、従来のマスフローコントローラの機械構成を用いてPI性能を発揮するマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路1内を流れる流体Fの流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ2と、流量センサ2の上流側に設けた流量制御バルブ3と、流量制御バルブ3の駆動電圧Vを検出する電圧検出部4と、少なくとも流量測定値(OUT)、流量設定値(SET)及び駆動電圧をパラメータとして所定の演算式から流量制御バルブ3の開度制御信号を算出して出力する制御部5と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】固形分を含有する流体の流量が設定値からズレないように流量計の測定値をオンラインで校正すること。
【解決手段】固形分を含有する流体を貯蔵するタンク1と、タンク1へ流体を送るポンプ8と、流体の貯蔵レベルがタンク1の上限/下限レベルに到達した際にポンプ8を停止/稼働するタンクレベル制御手段6と、タンク1から流体配管3を通って流出する流体の流量を測定する流量計4と、流量計4の測定値を校正する校正手段6と、流量計4の測定値に基づいて流体配管3を流れる流体の流量を調節する流量調節手段5とから構成される流量制御装置15において、前記校正手段6は、タンク1内の流体の貯蔵レベルが上限レベルから下限レベルまで低下するまでの期間内に、流体の貯蔵量の変化量を求め、当該貯蔵量の変化量に基づき前記期間の少なくとも一部の時間内の流体の平均流量を計算し、当該平均流量の計算値により流量計4の測定値を校正する。 (もっと読む)


【課題】質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および/動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を提供する。
【解決手段】さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および/動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。 (もっと読む)


【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 (もっと読む)


低い流入圧力において広い流量検証範囲にわたって高い測定精度をもたらす高精度質量流量検証器(HAMFV)が、流体送達デバイスによる流量測定値を検証するために開示される。HAMFVは、上流バルブを有する複数Nの流入口を画定するチャンバ、1つの下流バルブを有する1つの流出口、チャンバ内の流体圧力を測定するように構成される圧力センサ、およびチャンバ内の流体温度を測定するように構成される温度センサを備える。複数Nの臨界流ノズルが、対応する上流バルブに隣接して配設される。HAMFVは、所望の流量検証範囲および流体の種類に基づいて、対応する上流バルブを開き、他の全ての上流バルブを閉じることによって、複数Nの臨界流ノズルの1つを起動するように構成されるコントローラをさらに備える。複数Nの臨界流ノズルの少なくとも2つは、異なる断面積を有する。 (もっと読む)


【課題】比熱が変動するガスの流量を正確に測定し制御する。
【解決手段】導管を通るガスの流量を調節するための弁手段5、この弁手段を駆動するための駆動手段9、導管を通るガスの流量を測定するための体積流量計7を有し、この流量計が、設定点信号17との比較のためにフィードバック信号29を提供する。設定点信号は、設定点信号発生手段19により発生され、それは所望の流量に対応する値を入力するためのポテンショメーター21と、以前の設定点から所望の設定点への変更を体積流量計に固有の応答の遅れを保証するのに十分な時間遅らせてガス流量を滑らか且つ安定に制御するための、抵抗器25及びキャパシタ27からなるスローダウン回路23を含む。ポテンショメーターはディジタルポテンショメーターであって、その電圧は回転エンコーダーの独立した操作により変えることができる。 (もっと読む)


流量制御システム(10、20)は、流量センサ(12)、弁制御装置(13)、信号プロセッサ(14、16)、制御プロセッサ(14、16)、およびインターフェイス(14、17)を含む。流量センサ(12)は、流量を特徴付けるセンサ信号を生成する。弁制御装置(13)は、制御出力に応じて流量を制御する。信号プロセッサ(14、16)は、センサ信号を、時間の関数として流量を特徴付ける流量信号に変換し、制御プロセッサ(14、16)は、設定値および流量信号に応じて制御出力を生成する。インターフェイス(14、17)は、設定値を表す入力を受け取り、流量信号を表す流量出力を送り、流量制御システム(10、20)の動作状態を直接示す診断出力を送る。 (もっと読む)


【課題】柔軟、正確、かつ汚染の無いリアルタイムの連続混合システム、また、適切な混合および処理ツールへの正確な流体流量を確実にするための正確な圧力制御を提供する。
【解決手段】流量制御装置と、流量制御装置110と流体連通しているコリオリ質量流量計112とを含む流体供給システムである。コリオリ流量計は、PFAのような高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、供給システムを高純度用途に適したものにする。コントローラ114は、ピンチバルブ120を含むことが可能な流量制御装置110に制御出力信号を供給し、設定点信号および流量計112から受け取った測定値信号に応答して、流量制御装置の出力を変化させる。 (もっと読む)


【課題】流量センサ部自体にサーマルサイフォン現象対策を行わなくてもこれを防止できる集積タイプのマスフローコントローラを用いた流体供給機構を提供する。
【解決手段】一対のセンサコイルからなる流量センサ10が水平姿勢状態で本体ブロック1に設けられているマスフローコントローラ3と流体供給ラインLの一部を構成するバルブ等とを繋ぐ繋ぎ流路t,t,t,tを有する複数の基板91〜94とを備えた集積タイプのマスフローコントローラにおいて、前記マスフローコントローラ3の前記基板91〜94への取付姿勢の変更に伴い前記流量センサ部10においてサーマルサイフォン現象が生ずるのを回避すべく、前記基板91〜94とは異なる繋ぎ流路N,Nを有する取替基板80を設ける。 (もっと読む)


【課題】ガス供給量を安定させることができるガス供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローコントローラ14と、前記マスフローコントローラ14に接続する第1流体制御弁15と、前記第1流体制御弁と並列に接続された第2流体制御弁17と、前記第2流体制御弁の二次側に配置された第3流体制御弁と、を有し、前記第3流体制御弁は、前記第1流体制御弁の二次側圧力と前記第2流体制御弁の二次側圧力との差圧に基づいて弁開度を調整されるものであるガス供給ユニット1である。 (もっと読む)


質量流量コントローラにおいてガスの温度を測定するための方法および装置が記載される。一実施形態は、別個の温度センサに頼ることなく、ガスの温度情報を質量流量コントローラの質量流量センサから引き出す。この実施形態は、実質的に一定の電流を質量流量コントローラの熱式質量流量センサに供給し、熱式質量流量センサは、ガスの質量流量レートを測定するように設計されており、現在の入力電圧を取得するために、熱式質量流量センサの入力電圧を測定する。入力電圧は、熱式質量流量センサの一対の感知要素の間の温度差によって変化する。ガスの質量流量レートに依存する現在の入力電圧の成分を計上することによって、調整入力電圧を計算し、調整入力電圧に基づいてガスの温度を計算する。 (もっと読む)


【課題】圧力及び質量流量の両方を反映させるとともにタンク容積の変化も考慮した高精度の検定を行う質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路6の最上流に設けられた検定用バルブ42と、質量流量制御バルブ機構10と、質量流量制御バルブ機構10より上流側の流路6に設けられたタンク44と、質量流量検出手段8と、圧力検出手段46と、質量流量制御バルブ機構10を制御する手段18と、質量流量検定制御手段48とを有する質量流量制御装置を検定する方法であって、(1) 流路6に設定質量流量の流体を流し、(2) 流体の質量流量が設定質量流量と一致するように質量流量制御バルブ機構10の開度を保持し、(3) 検定用バルブ42を閉じ、(4) タンク44から流出する流体の流れが安定化した後で流体の圧力及び質量流量を測定し、(5) 初期状態において同じ手順で測定しておいた基準の圧力及び質量流量に対する圧力及び質量流量の変化率を求め、(6) 変化率に応じて検定を行う方法。 (もっと読む)


【課題】HFガス等の温度に依存して重合する処理ガスの供給量(実流量)を精度良く、且つ安定して制御することが可能な処理ガスの供給方法を提供する。
【解決手段】被処理体Wに対して減圧雰囲気中で所定の処理を施す処理装置4に向けて温度に依存して重合する処理ガスを流量制御しつつ供給する処理ガスの供給方法において、大気圧よりも低い供給圧力が適正動作範囲となっているダイヤフラムを有する低差圧型の質量流量制御装置34を用いて前記処理ガスの流量を制御する。これにより、HFガス等の温度に依存して重合する処理ガスの供給量(実流量)を精度良く、且つ安定して制御する。 (もっと読む)


【課題】 流量制御のオーバーシュート現象を解消し、且つ集積ユニット化を可能とするコンパクトな質量流量制御装置と、この質量流量制御装置を備えたコンパクトなガス供給ユニットを提供する。
【解決手段】 質量流量を制御する流量制御弁機構10と、前記流量制御弁機構に前記バルブ駆動信号を出力する流量制御弁制御手段18と、を設けてなる質量流量制御装置50において、前記流量制御弁機構10の上流側及び/又は下流側に、遮断弁機構52、54を介設し、遮断弁機構52、54の給排気口をソレノイド弁機構102と直接連通させるように、弁ブロック体80と一体として設け、且つ前記流量制御弁制御手段18は、前記ソレノイド弁機構102を動作させるソレノイド弁駆動信号S3、S4を出力するとともに、前記バルブ駆動信号S2と、前記ソレノイド弁駆動信号S3、S4とを同期させる。 (もっと読む)


【課題】 製品出荷後に複数種類の実使用ガスと複数の流量レンジに対応したマスフローコントローラに仕様変更を可能とすること。
【解決手段】 質量流量制御装置の初期状態において、校正ガスを用いて流量設定信号に対する実流量を計測した校正ガス特性データを求め、この校正ガス特性データを制御手段に記憶し、一方、複数種類の実ガス毎に流量設定信号に対する実流量を計測した実ガス特性データを求め、この実ガス特性データを記憶媒体に保存し、その後、前記質量流量制御装置を稼働する前に、実使用ガスの実ガス特性データを前記記憶媒体からコンピュータを介して読み出し、また、前記制御手段に記憶した校正ガス特性データを読み出し、前記実ガス特性データを元に前記校正ガス特性データを制御流量補正データに変換し、制御流量補正データを制御手段に書き込み、この制御流量補正データを基に実ガス流量を補正する流量制御補正方法である。 (もっと読む)


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