Fターム[5H316AA00]の内容
流体圧力の制御 (4,764) | 適用分野、用途 (385)
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Fターム[5H316AA00]に分類される特許
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圧力制御装置および流量制御装置
【課題】気体の検出圧力と目標圧力との偏差が大きくなった場合に偏差を迅速に小さくすることのできる圧力制御装置および圧力の制御された気体を用いる流量制御装置を提供する。
【解決手段】電空レギュレータ40は、エアの供給源に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される給気用電磁弁43と、電磁弁43の下流に接続されるとともに所定周期を有するパルス信号により開閉駆動される排気用電磁弁44とを備える。エア通路35に導出されるエアの圧力センサ72による検出圧力を目標圧力にするために、電磁弁43,44を各周期において駆動するパルス信号をエアの検出圧力と目標圧力との偏差に基づいてPID演算により生成するともに、エアの検出圧力と目標圧力との偏差が判定値以上であることを条件に、電磁弁43,44が駆動される周期おいて偏差を小さくするように、PID演算により生成されるパルス信号を変更する。
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