【課題】インジェクタ付き減圧弁の小型・軽量化を図る。
【解決手段】インジェクタ付き減圧弁５は、バルブ室１２を有するボディ１１と、高圧流体をバルブ室１２に導入する導入口１７と、減圧された流体をバルブ室１２から第２水素供給流路３ｂに送り出す送出口１５と、バルブ室１２内に収容されるシャトル弁体１３と、送出口１５の一端に設けられシャトル弁体１３が離接可能な弁座１８と、シャトル弁体１３の背面２２とバルブ室１２の壁面１２ａにより囲繞されシャトル弁体１３とバルブ室１２の壁面１２ａとの隙間２０を介して導入口１７に連通する背圧室２５と、背圧室２５に連通し背圧室２５の流体を排出する背圧流路２６と、シャトル弁体１３を弁座１８に接近する方向に付勢するスプリング１４と、背圧流路２６を介して排出された背圧室２５の流体を断続時間間隔を調整して第２水素供給流路３ｂに送出するインジェクタ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】燃料電池が受け取る水素の圧力の変動を最小化する
【解決手段】圧力調整バルブは、入口および出口を具備するハウジング部材内に配された、移動可能な圧力応答部材とバルブステムとを有する。移動可能な圧力応答部材は入口の入り口圧力および出口の出口圧力に応答し、圧力調整バルブは、ガス発生装置に流体的に連結され、入り口圧力および出口圧力の少なくとも一方がガス発生装置の圧力である。移動可能な圧力応答部材は基準圧力にも露呈され、移動可能な圧力応答部材は入口および出口の間の内部流路の一部を形成し、バルブステムの寸法が圧力応答部材に対して調整可能であり、当該圧力調整バルブの動作圧力を可変できる。 （もっと読む）

【課題】一定の張りで受圧膜体を取り付けることができる膜体伸張治具およびこれを用いた圧力調整弁の組立方法を提供することである。
【解決手段】バルブケーシング１１に位置決め状態で装着される治具ベース７４と、治具ベース７４に対し、径方向にスライド自在に装着され、押えリングからはみ出した受圧膜体１６の周縁部の不要部分を、少なくとも３箇所で把持する３つ以上の把持ブロック７５と、治具ベース７４に設けられ、３つ以上の把持ブロック７３を同時に外方に移動させるブロック移動機構７６と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御器であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる圧力制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体の圧力を測定する圧力センサ３と、前記圧力センサ３で測定される圧力の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御器４と、を備え、前記バルブ制御器４が、入力される値に対して所定の演算を施して前記流体制御バルブ２の開度の操作量に関連する値を演算する操作量演算部４１と、入力される値に対してデジタル制御により位相のずれを補償した値を出力する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が１００ＭＰａ以上の高圧水素ガスの減圧に使用される減圧装置において、電磁弁の推力を可及的に小さくした燃料電池システム用減圧装置を提供する。
【解決手段】燃料電池システム用減圧装置１は、高圧の一次側ポート３と低圧の二次側ポート４とを連通する経路５の途中に弁座６、及び、該弁座と対向する反対側に貫通孔１０を設け、前記弁座に離着することで前記経路を開閉する弁体７を備え、該弁体の先端側には、ソレノイド１１及び二次側の圧力を受けるベローズ１６の軸方向の力を弁体に作用する伝達部材１７を設け、弁体の後端側と前記貫通孔と間に封止部材を設け、該封止部材が金属材料からなる多層の成形ベローズから形成されている。 （もっと読む）

【課題】整圧装置の稼働状況の如何に拘わらず、整圧制御の安定性を確保すること。
【解決手段】整圧装置１０は、上流側流体導管１Ａと下流側流体導管１Ｂの間に装備されるメインガバナ１１と、上流側流体導管１Ａと下流側流体導管１Ｂとを連通するパイロット流路１２とを備える。メインガバナ１１は、パイロット流路１２から出力される駆動圧によって開度調整を行う駆動部１１Ａを備え、パイロット流路１２に、パイロット流路１２の流量を二次圧に基づいて調整するパイロットバルブ１３と、パイロット流路の流量に応じて駆動圧を設定する抵抗部２０を設ける。抵抗部２０が線形的な圧力流量特性を有している。 （もっと読む）

【課題】精度の高い安定した不作動流水制御と調圧制御を可能とする。
【解決手段】流水検知装置１０は、配管途中に設けられ、２次側圧力の低下により本弁２４を開放して加圧水を給水し、圧力スイッチ４０により本弁２４の開放により流水検知信号を出力する。本弁駆動部は、本弁２４に連結されたピストン２８をシリンダ室３０に収納自在に設け、シリンダ室３０に対し１次側圧力水を供給制して本弁２４を開放し、シリンダ室３０から１次側圧力水を排出して本弁２４を閉鎖する。本弁２４の１次側と２次側とバイパスするバイパス配管３６には、不作動流水機構５２と調圧パイロット機構５４を配置した制御弁５０が配置され、２次側圧力が締切設定圧力より低下すると不作動流水機構５２が開いて２次側圧力を回復させ、更に２次側圧力が下がると調圧パイロット機構５４が動作して本弁２４を開放する。 （もっと読む）

【課題】精度の高い安定した不作動流水制御と調圧制御を可能し、且つ流水検知信号を確実に出力可能とする。
【解決手段】流水検知装置１０は、配管途中に設けられ、２次側圧力の低下により本弁２４を開放して加圧水を給水し、圧力スイッチ４０により本弁２４の開放により流水検知信号を出力する。本弁駆動部は、シリンダ室３０に対し１次側圧力水を供給制し、ピストン２８をストロークして本弁２４を開放し、シリンダ室３０から１次側圧力水を排出して本弁２４を閉鎖する。本弁２４の１次側と２次側とバイパスするバイパス配管３６には制御弁５０が配置され、２次側圧力が締切設定圧力より低下すると制御弁５０の不作動流水機構５２が開いて２次側圧力を回復させ、更に２次側圧力が下がると制御弁５０の調圧パイロット機構５４が動作して本弁２４を開放する。圧力スイッチ４０はシリンダ室３０に１次加圧水を供給する配管に設けられ、流水検知信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】循環配管を施した常時一定の動力で水を供給する水供給設備において、各ユースポイントでの送水圧力を一定に保つ様にし、又水供給設備の系内に水処理機器が有る場合でも、水量が増えた時に水処理機器に処理能力以上の過負荷を掛ける事がないようにする。
【解決手段】循環配管を施した水供給設備において、ユースポイントでの水使用量の増減により、前記課題の状況が生じるので、その変動を自動制御システムにより制御し、送り側送水圧力と送水量を粗一定に保つ様に調節する事により、各ユースポイントでの圧力を一定に保ち、又水処理機器４に過負荷が掛らない様にする。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

【課題】弁を容易に位置合わせすることができ、バルブ本体の低背化を図った順止バルブ及び燃料電池システムを提供する。
【解決手段】弁部１５０は、耐メタノール性の高いゴムからなる。弁部１５０は、弁部１５０が開口部１４７に収納されたときに弁座１４８に当接する弁体部１５１と、弁体部１５１が弁座１４８に対して接近および離間する方向へ可動自在に弁体部１５１を支持する支持部１５２と、流体（メタノール）を通過させる孔部１５３と、弁部１５０が開口部１４７に収納されたときにバルブ筐体１３０の開口部１４７の内周面に当接し、支持部１５２を固定する固定部１５４と、を有する。固定部１５４の外径Ｘは開口部１４７の径Ｙ以上であり、固定部１５４の厚みＴは開口部１４７の深さＤより大きい。この弁部１５０を、バルブ筐体１３０の実装面側から開口部１４７に嵌めこむことにより、バルブ筐体１３０の開口部１４７に収納する。 （もっと読む）

【課題】真空容器の内部におけるガスの流れを制御する技術を提供する。
【解決手段】ガス供給部からプロセスガスの供給を受けてプロセス対象にプロセスを実行する真空容器５００におけるプロセスガスの真空圧力と流れとを真空ポンプを使用して制御する真空制御システム１０を提供する。真空制御システム１０は、真空容器５００において相互に相違する位置に配置された複数のガス排出口５６１，５６２の各々と真空ポンプ３００との間に接続されている各真空制御バルブ１００，２００と、プロセス対象に供給されるプロセスガスの真空圧力を計測する圧力計測部６３１と、計測された真空圧力に応じて複数の真空制御バルブ５６１，５６２の各々の開度を操作する制御装置６１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】密閉チャンバ（パスボックス４）内の圧力変動を緩和する。
【解決手段】密閉チャンバ４には、無菌フィルタ１４を介して外部から給気する給気通路１２と、無菌フィルタ２２を介して排気する排気通路２０が接続され、給気通路１２および排気通路２０をそれぞれ連通遮断する給気バルブ１８および排気バルブ２６が設けられている。また、これら両バルブ１８、２６の開閉を制御して密閉チャンバ４内の圧力を所定の陽圧に制御する制御手段４６が設けられている。さらに、排気通路２０の無菌フィルタ２２と排気バルブ２６との間に、密閉チャンバ４内の圧力の変動に応じて膨張、または収縮して、圧力変動を緩和するシリコン膜４８を取り付けている。 （もっと読む）

【課題】簡単な設備構成により、正圧及び負圧のいずれの圧力も付与することが可能な圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】排気通路領域２３は、給気通路領域２１と排気ポート１４とを繋ぐ分岐通路領域２４を備えている。分岐通路領域２４は、給気通路領域２１から分岐させて形成されており、さらに負圧発生用領域２５を備えている。負圧発生用領域２５にはノズル３１が形成されているとともに吸引空間３４が形成されている。吸引空間３４には排気用電磁弁１７側に分岐させて吸引通路領域３６が形成されている。給気通路領域２１から負圧発生用領域２５に分流された作動エアがノズル３１を通過することで吸引空間３４内が減圧され、吸引通路領域３６側に負圧が付与されることとなる。そして、排気用電磁弁１７が開制御されている場合には出力ポート１５に負圧が付与されることとなる。 （もっと読む）

【課題】ガス流路に配設した流路弁が供給側ガス圧の影響を受けず、出口側ガス圧を安定的に維持できるとともに、構造が簡単で、部品点数が少なく低コストの減圧装置を提供すること。
【解決手段】ガス流路に配設した流路弁２２を有天筒状の弁体で構成し、この流路弁２２の周壁２２ａをガス供給口２１ａ１、２１ａ２の開口面と平行に摺動させることによって、流路弁２２の摺動方向に長いスリット状の複数のガス供給口２１ａ１、２１ａ２を開閉するようにするとともに、流路弁２２によるガス供給口２１ａ１、２１ａ２の閉鎖側のガス供給口２１ａ１、２１ａ２の長さを複数のガス供給口２１ａ１、２１ａ２の間で異なるように形成する。 （もっと読む）

【課題】真空容器の真空引きの過程において発生するパーティクルの巻き上がりを抑制する技術を簡易に実装する技術を提供する。
【解決手段】真空制御バルブ１００は、真空容器に接続される上流側流路１４１と、真空ポンプに接続される下流側流路１４２と、を含む流路１４０と、弁開度を操作することによって、上流側流路１４１と下流側流路１４２との間のコンダクタンスを変化させる開閉弁１１０と、上流側流路１４１の内部の圧力を計測する圧力センサ１２０と、上流側流路１４１の目標圧力値を予め設定された時間関数として変化させ、計測された圧力と目標圧力値との間の偏差に応じて開度を操作する制御部１５０と、を備え、制御部１５０は、真空制御バルブ１００の外部からの開始入力に応じて、コンダクタンスを操作することによって偏差を小さくする制御を開始する。コンダクタンスは、ゼロから予め設定された範囲までの連続した範囲で操作することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力制御性の低下を抑制しつつ流体圧力の発振を抑制することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁１０は、ボトムプレート１２、ボディ１４、及びカバー１６を備えている。ボディ１４には流入口１８及び流出口２０が設けられ、流入口１８は上流側流体室２２及び下流側流体室２４を介して流出口２０と連通可能とされている。上流側流体室２２及び下流側流体室２４間は弁体２６によって連通及び遮断される。弁体２６は、軸部３０と、該軸部３０に連結される可撓性膜部２８とを備え、軸部３０のボトムプレート１２側端部には、バネ受け部材３９が組み付けられている。バネ受け部材３９は、略円柱状の小径部３９ｂを有し、小径部３９ｂの外周側には環状に形成されたボトムプレート１２の規制部１２ａが設けられている。小径部３９ｂと規制部１２ａとの間には所定の隙間４８が設けられ、その隙間４８には真空用グリス５０が充填されている。 （もっと読む）

【課題】圧力制御性の低下を抑制しつつ流体圧力の発振を抑制することができる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁１０は、ボトムプレート１２、ボディ１４、カバー１６を備える。ボディ１４には上流側流体室２２及び下流側流体室２４を介して流入口１８と流出口２０とが連通可能とされ、各流体室２２，２４間は弁体２６により連通及び遮断される。弁体２６は軸部３０と可撓性膜部２８とを備え、軸部３０の端部にはバネ受け部材３９が設けられている。バネ受け部材３９の小径部３９ｂには、規制部１２ａ側へ変位可能な径拡張部５１が設けられ、径拡張部５１の外周にはＯリング５７が設けられている。そして、バネ受け部材３９の調整用孔に調整ねじ５５を締め込むことで径拡張部５１を規制部１２ａ側に変位させ同規制部１２ａをＯリング５７を介して押圧する。また、調整ねじ５５の締め込み量を調整することで径拡張部５１の変位量を調整できる。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い低真空から高真空までの広い圧力レンジを簡単に圧力制御でき、高精度に圧力制御しながらスロー排気してパーティクルの飛散を確実に防止する真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空ポンプ５を介して真空容器４内の真空圧力を変化させる開閉弁２と、真空容器４内の真空圧力を計測する真空圧力センサ３を介して開閉弁２の開度を制御する真空圧力制御システムであり、到達関数ｆ(ｘ)を算出する演算機能と、開閉弁２を任意の時間幅でオープンクローズするタイマー６０と、オープン・クローズ開度値を真空圧力センサ３の出力と到達関数ｆ(ｘ)から演算する機能とを有する制御ユニット手段１０と、開度値を駆動する駆動手段１２と、圧力低下の所要時間Ｔと到達圧力Ｐを外部からコマンド入力する入力手段１３とを設けて、大気圧又は任意の圧力から目標とする任意の圧力まで低下させるようにした。 （もっと読む）

【課題】真空弁のメンテナンスサイクルを長くできる排気圧力制御システム及び排気圧力制御方法を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３に接続される排気系１０に配設される真空弁１５と、排気系１０の排気圧力を目標圧力に制御するように真空弁１５のバルブ開度を制御するコントローラ１２とを有する排気圧力制御システム１１において、排気系１０に接続するパージガス供給系１４と、パージガス供給系１４に配設され、排気系１０に供給されるパージガスの流量を制御するパージガス流量コントローラ１３と、を有し、パージガス流量コントローラ１３により流量制御されたパージガスを排気系１０に供給することにより、コントローラ１２が制御する真空弁１５のバルブ開度を、パージガスを排気系１０に供給しないで排気圧力を目標圧力に制御する場合より大きくする。 （もっと読む）