【課題】インジェクタ付き減圧弁の小型・軽量化を図る。
【解決手段】インジェクタ付き減圧弁５は、バルブ室１２を有するボディ１１と、高圧流体をバルブ室１２に導入する導入口１７と、減圧された流体をバルブ室１２から第２水素供給流路３ｂに送り出す送出口１５と、バルブ室１２内に収容されるシャトル弁体１３と、送出口１５の一端に設けられシャトル弁体１３が離接可能な弁座１８と、シャトル弁体１３の背面２２とバルブ室１２の壁面１２ａにより囲繞されシャトル弁体１３とバルブ室１２の壁面１２ａとの隙間２０を介して導入口１７に連通する背圧室２５と、背圧室２５に連通し背圧室２５の流体を排出する背圧流路２６と、シャトル弁体１３を弁座１８に接近する方向に付勢するスプリング１４と、背圧流路２６を介して排出された背圧室２５の流体を断続時間間隔を調整して第２水素供給流路３ｂに送出するインジェクタ３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】精密かつ高速に圧力制御を行なうことができる圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の圧力制御装置は、バルブと、前記バルブに接続されている軸部と、ソレノイド部と、マイクロメータ部と、制御部と、を備えている。前記ソレノイド部は、前記軸部をソレノイド駆動によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整し、前記マイクロメータ部は、前記軸部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記軸部に取り付けられた場合には前記軸部をねじ機構によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整する。前記制御部は、前記マイクロメータ部を用いて前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部に取り付け、前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部から取り外す。 （もっと読む）

【課題】燃料電池が受け取る水素の圧力の変動を最小化する
【解決手段】圧力調整バルブは、入口および出口を具備するハウジング部材内に配された、移動可能な圧力応答部材とバルブステムとを有する。移動可能な圧力応答部材は入口の入り口圧力および出口の出口圧力に応答し、圧力調整バルブは、ガス発生装置に流体的に連結され、入り口圧力および出口圧力の少なくとも一方がガス発生装置の圧力である。移動可能な圧力応答部材は基準圧力にも露呈され、移動可能な圧力応答部材は入口および出口の間の内部流路の一部を形成し、バルブステムの寸法が圧力応答部材に対して調整可能であり、当該圧力調整バルブの動作圧力を可変できる。 （もっと読む）

【課題】 背圧室の容積を必要最小限として、一次圧及び流量などの過渡的な変動に対する応答性、二次圧安定性に優れたピストン式減圧弁を提供すること。
【解決手段】 ハウジング２内で軸線方向に摺動し、一次ポート３の弁座口１０を閉鎖するシート部２１を有するピストン２０と、ピストン２０によって仕切られた一次圧室６及び二次圧室８と、一次圧室６及び二次圧室８と連通するよう形成された弁室７と、二次圧室側からピストン２０に嵌入されるロッド１２とを備え、ピストン２０は、ロッド１２が嵌入される嵌入孔３０と、嵌入孔３０と一次圧室６とを連通させるように形成される連通孔３２とを有し、嵌入孔３０は、嵌入されるロッド１２に面する部分に形成される凹状のシール溝３６を有し、シール溝３６に設けられるシール部材３７によりロッド１２とピストン２０との間をシールすることによってピストン２０内に形成される背圧室３１を備える。 （もっと読む）

【課題】低背な構造でも、ダイヤフラムとバルブ室の底面とが液体の表面張力により貼り付くことを防ぐことができる順止バルブ、及びこの順止バルブを備える燃料電池システムを提供する。
【解決手段】順止バルブ１０１は、キャップ部１１０と、ダイヤフラム１２０と、バルブ筐体１３０と、弁部１５０と、を備える。バルブ筐体１３０には、バルブ室１４０へ液体が流入する流入孔１４３と、バルブ室１４０から液体が流出する流出孔１４９と、弁部１５０をバルブ筐体１３０の実装面側から嵌めこむことにより弁部１５０を収納する開口部１４７と、流入孔１４３の周縁に位置する弁座１４８と、が形成されている。バルブ筐体１３０は、メタノールの表面張力係数をγとし、バルブ室１４０の底面積をＳｂとし、詳細を後述する弁部１５０の支持部１５２の附勢力をＦｓとし、開口部１４７の直径をＤとしたとき、Ｄ＞４γＳｂ／Ｆｓの関係を満たす形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ＬＰガス容器からの燃料ガスの圧力が所定値未満であると誤認識してしまうことを防止することが可能な圧力調整器を提供する。
【解決手段】圧力調整器１は、中圧ダイヤフラム１１が中圧減圧室７側に所定距離以上変位した場合に回動すると共に、回動方向に沿って赤色部位１８ｂと青色部位１８ｃとが連続して形成された表示１８と、外部より内部が視認可能な部材により構成され、表示１８と対向した位置において上部ハウジング３に設けられた表示窓１９とを備えている。表示１８は、中圧ダイヤフラム１１が中圧減圧室７側に所定距離以上変位しておらず、回動していない状態において、青色部位１８ｃが表示窓１９に対向し、中圧ダイヤフラム１１が中圧減圧室７側に所定距離以上変位して、回動した状態において、赤色部位１８ｂが前記表示窓１９に対向する。 （もっと読む）

【課題】感圧制御弁において、簡単な加工で製造でき、軽量化を図るようにする。
【解決手段】本体ケース１１にベローズケース１２をかしめ結合する。ベローズ収容室１２Ａ内に、ベローズガイド１４を備えた感圧用ベローズ１３を配設する。感圧用ベローズ１３に電磁コイル装置１０のプランジャ１０ｂを取り付ける。感圧用ベローズ１３の伸縮により、弁部材１６を変位させ、弁ポート１１ｂを開閉して圧縮機の容量制御を行う。ベローズ収容室１２Ａを形成するベローズ収容函１２ａとプランジャ１０ｂを内挿するプランジャケース１２ｂを、ステンレス板のプレス加工により一体に形成する。 （もっと読む）

【課題】内部構造の複雑化を招くことなく、受圧デバイス側への高圧流体の過大な漏れを防止することのできる締切り機構付き減圧弁を提供する。
【解決手段】高圧側の一次側圧力室１３と、受圧デバイス側の二次側圧力室１４を連通孔１７によって連通する。二次側圧力室１４の圧力を受けるダイヤフラム１９を設け、弁体１８をダイヤフラム１９に連結する。ダイヤフラム１９は開弁スプリング２０で開弁方向に付勢する。弁体１８に対する閉弁荷重の増減切り換えが可能な荷重操作手段２９を設ける。荷重操作手段２９は、弁体１８に対して離接可能なプランジャ２６と、プランジャ２６を付勢する閉弁スプリング２７と、プランジャ２６に、弁体１８から離間する方向の磁気推力を作用させる電磁コイル２８と、によって構成する。 （もっと読む）

【課題】内部構造の複雑化を招くことなく、受圧デバイス側への高圧流体の過大な漏れを防止することのできる締切り機構付き減圧弁を提供する。
【解決手段】高圧側の一次側圧力室１３と、受圧デバイス側の二次側圧力室１４を連通孔１７によって連通する。二次側圧力室１４の圧力を受けるダイヤフラム１９を設け、弁体１８をダイヤフラム１９に連結する。ダイヤフラム１９はスプリング２０で開弁方向に付勢する。ダイヤフラム１９の受圧面り面積Ｓとスプリング２０のばね定数ｋを、式（１），（２）を満たすように設定する。
Ｐ１×Ｓ−ｋ×ΔＬ＞Ｃ （１）
Ｐ１＜Ｐ２ （２）
式中、Ｐ１は、二次側圧力室１４の圧力、ΔＬは、スプリング２０の変位、Ｃは、弁体１８の締切り必要荷重、Ｐ２は、受圧デバイスの許容最大圧力を表す。 （もっと読む）

【課題】圧力下にある媒体の消費装置の安全装置の改造若しくは後付けを不要にする。
【解決手段】第１の弁２が設けられており、第１の弁の下流側に第１の圧力制御装置３が配置されており、第１の圧力制御装置の低圧側における作動圧力は、前記下流側に配置された消費装置又は消費系の設定圧力を下回る値に調節されるようになっており、第１の圧力制御装置に圧力表示器が対応配置されており、第１の圧力制御装置の下流側に第２の圧力制御装置４が配置されており、第２の圧力制御装置の低圧側における作動圧力は、第１の圧力制御装置の低圧側における作動圧力を下回る値に調節されるようになっており、第２の圧力制御装置に圧力表示器が対応配置されており、第２の圧力制御装置の下流側に第２の弁６が配置されており、第２の弁を迂回するバイパス導管７が設けられており、該バイパス導管内に第３の弁８が配置されているようにした。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御器であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる圧力制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体の圧力を測定する圧力センサ３と、前記圧力センサ３で測定される圧力の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御器４と、を備え、前記バルブ制御器４が、入力される値に対して所定の演算を施して前記流体制御バルブ２の開度の操作量に関連する値を演算する操作量演算部４１と、入力される値に対してデジタル制御により位相のずれを補償した値を出力する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ヒータを使用せずに真空容器内の圧力のアンダーシュートを防止する真空圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】真空容器と真空ポンプとを接続する配管上であって開度を変化させることにより真空容器内の真空圧力を変化させ、弁座と当接又は離間するＯリングを備える弁体とエア式シリンダを備えるパイロット式の真空比例開閉弁１８と、真空容器内の真空圧力を計測する圧力センサ１７と、圧力センサ１７の圧力に基づいてＯリングの弾性変形量を変化させ、Ｏリングからの漏れ量を変化させることにより真空容器内の圧力を制御するコントローラと５６、を有する真空圧力制御装置８において、圧力センサ１７により計測された真空容器内の圧力が一定以上の圧力下降率となったときに、エア式シリンダの内圧を排気する。 （もっと読む）

【課題】 過大な押圧力が加わることによる減圧ピストン又は弁座部分の変形を抑制でき、信頼性及び耐久性に優れた減圧弁を提供する。
【解決手段】 減圧弁１は、ハウジング２を備え、ハウジング２は、一次ポート１４と二次ポート１５とに繋がる弁通路１８と突起片２５とを有している。また、ハウジング２内には、減圧ピストン３と駆動ピストン４とが設けられている。減圧ピストン３は、ハウジング２の突起片２５に着座して弁通路１８を閉じる閉位置と弁通路１８を開く開位置との間で移動するようになっている。駆動ピストン４は、減圧ピストン３から離して設けられ、第２ばね部材８による付勢力に抗して二次圧Ｐ２を減圧ピストン３に向かって受圧している。また、駆動ピストン４と減圧ピストン３との間には、弾性変形可能な緩衝ばね１０が設けられており、この緩衝ばね１０によって駆動ピストン４が受けた二次圧が押付力として減圧ピストン３に伝達されている。 （もっと読む）

【課題】 応答性、耐久性及び信頼性に優れ、安定した出力特性を得ることができる減圧弁を提供する。
【解決手段】 減圧弁１は、ハウジング２を備え、このハウジング２は、一次ポート１７と二次ポート１８とに繋がる弁通路１９を有している。また、ハウジング２内には、弁体３が設けられており、この弁体３は、弁通路１９を閉じる閉位置と弁通路１９を開く開位置との間で移動して弁通路１９の開度を調整可能になっている。また、弁体３は、二次圧ｐ_２により閉位置に向かって押されており、この二次圧ｐ_２に抗して弁体３を開位置に向かって付勢するようにばね部材５が設けられている。更に、弁体３には、転がり軸受４が設けられ、この転がり軸受４によって弁体３が移動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】流量に対する調圧圧力の変動幅を小さくすることのできるレギュレータを提供する。
【解決手段】レギュレータ１０は、ＣＮＧを調圧する調圧室２４と背圧室２２とを区画するピストン２０と、ピストン２０とともに可動し、調圧室２４へ流入するＣＮＧの通路を開閉する調圧バルブ４２と、調圧室２４に流入したＣＮＧの圧力に抗してピストン２０を付勢する調圧スプリング２８とを備え、ピストン２０に作用する調圧室２４のＣＮＧの圧力と調圧スプリング２８のスプリング力とのバランスにより調圧バルブ４２の開閉ストロークが調整されることで、調圧室２４から流出するＣＮＧの調圧圧力を調圧する。ピストン２０に磁性体を設け、磁性体に対向する電磁石６０を設け、電磁石６０の通電、非通電を切替えることにより流量に対する調圧圧力を２段階に可変する。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

【課題】起動および稼働停止を簡易に行いながらも、起動する際の安定挙動を実現する整圧装置を提供する。
【解決手段】パイロット通路５に開閉動作可能に設けられ、オキジャリボール１４と下流側配管２との連通開度を可変させる電動弁３０を設ける。電動弁３０が閉弁してパイロット通路５が遮断されるとメインガバナ１１が閉じられた状態で稼働を停止し、電動弁３０が開弁すると、パイロット通路５が連通してメインガバナ１１が稼働する。制御手段は、遠隔操作によってメインガバナ１１を起動させる起動操作信号が出力すると、電動弁３０の速度を規制して低速動作させることにより、パイロット通路５の連通開度を、稼働時の連通開度よりも小さい緩衝開度の範囲内で所定時間をかけて徐々に大きくしていく。そして、所定時間が経過したところで電動弁３０を完全に開弁させて、前記パイロット通路５の連通開度を稼働時の連通開度にする。 （もっと読む）

【課題】減圧装置において空気消費量の削減を図る。
【解決手段】減圧装置１０を構成するボディ１２には、圧力流体の供給される一次側ポート２０と、減圧された圧力流体の排出される二次側ポート２２とを備え、前記二次側ポート２２とパイロットバルブ９３に臨む第３ダイヤフラム室９０とを連通するフィードバック通路６４が形成される。そして、二次側ポート２２に流通した圧力流体が、フィードバック通路６４を通じて第３ダイヤフラム室９０へと導入され、第３ダイヤフラム７８を第２スプリング８２の弾発力に抗して押し上げて均衡させる。 （もっと読む）

【課題】真空容器の内部におけるガスの流れを制御する技術を提供する。
【解決手段】ガス供給部からプロセスガスの供給を受けてプロセス対象にプロセスを実行する真空容器５００におけるプロセスガスの真空圧力と流れとを真空ポンプを使用して制御する真空制御システム１０を提供する。真空制御システム１０は、真空容器５００において相互に相違する位置に配置された複数のガス排出口５６１，５６２の各々と真空ポンプ３００との間に接続されている各真空制御バルブ１００，２００と、プロセス対象に供給されるプロセスガスの真空圧力を計測する圧力計測部６３１と、計測された真空圧力に応じて複数の真空制御バルブ５６１，５６２の各々の開度を操作する制御装置６１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は遮断機能を有する真空制御バルブの設計自由度を高める技術を提供する。
【解決手段】本発明は、真空容器と真空ポンプとの間に接続され、作動流体によって弁開度を操作して真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ３０を提供する。本真空制御バルブ３０は、リフト量の調節による弁開度の操作と遮断とを行う弁体３３とピストンとを有する動作部と、ピストンを収容するシリンダ３１と、リフト量が小さくなる方向に動作部を付勢する付勢部と、ピストンの外周面とシリンダ３１の内周面との間の隙間を、ピストンの動作に追従しつつ密閉するベロフラム３４と、ベロフラム３４によって密閉され、作動流体の作用圧力に応じてリフト量を大きくする方向に荷重を発生させる弁開度操作室と、作動流体の供給に応じて動作部に対してリフト量を小さくする方向に荷重を発生させる遮断荷重発生室と、を備える。 （もっと読む）