【課題】高圧のＬＰＧ燃料が導入される弁室が形成されるハウジングに、弁室に臨む弁座に一端部を着座させることを可能とするとともに弁座よりも下流側のＬＰＧ燃料の圧力を他端部に作用せしめるようにした弁体を有する弁機構が内蔵されるＬＰＧ燃料用減圧弁において、弁体に弁座よりも下流側のＬＰＧ燃料の圧力を背圧として弁体に作用せしめるようにしつつ、タールに起因した弁体の摺動性能の低下を抑える。
【解決手段】弁機構１８で減圧されたＬＰＧ燃料を一旦貯留して気液分離を促すセパレータ室１５がハウジング５内に形成され、弁座に一端部を着座させ得る弁体２１が、その他端部をセパレータ室１５に直接臨ませるように配置される。 （もっと読む）

【課題】作動流体が貯留されるリザーバに接続される第１流体圧シリンダと、それに伝達管を介して接続される第２流体圧シリンダとを備え、構成においてコンパクトであると共に、混入したエアを効率良く排出させるようにした流体圧伝達装置などを提供する。
【解決手段】作動流体が貯留されるリザーバに接続されると共に、第１ピストンが移動自在に収容された第１流体圧シリンダと、第１流体圧シリンダに流体圧伝達管を介して接続されると共に、第２ピストンが移動自在に収容された第２流体圧シリンダを備え、第１ピストンの移動によって生成される流体圧を流体圧伝達管を介して第２流体圧シリンダに伝達して第２ピストンを移動させる流体圧伝達装置において、第１流体圧シリンダなどにエアが混入したか否か判定し（Ｓ１０）、エアが混入したと判定された場合、混入したエアを除去する（Ｓ１２からＳ１４）。 （もっと読む）

【課題】気圧の変動に対して安定した基準圧を伝達することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる室内気圧調節システムを提供する。
【解決手段】室内気圧調節システム１０Ａは、給気ファン１５および排気ファン１６と、クリーンルーム１２からの空気の排気量を調節可能なモーターダンパ１７と、屋外における空気の基準圧をダンパ１７に伝達する中空管３４とを備えている。ダンパ１７のコントローラ３３は、クリーンルーム１２の室内気圧と中空管３４から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した差圧に基づいて基準圧に対する室内気圧を陽圧に保持するためにダンパ１７のダンパ開度を調節する。 （もっと読む）

流体調整デバイスは、入口、出口、弁口を有する弁本体と、弁本体内でシフト可能な制御要素とを含む。制御アセンブリは、制御要素に連結されるアクチュエータを含み、ダイヤフラムチャンバに隣接して配置されるダイヤフラムを含む。検知管は、第１の端部、第２の端部、および中間部分を有し、第１の端部は、ダイヤフラムチャンバと連通するように位置付けられ、第２の端部は、出口に隣接して配置され、中間部分は、出口の中間部分に隣接して配置される。検知管は、肩部および広がり部分を含み、広がり部分は、第２の端部に隣接して配置される。 （もっと読む）

【課題】流体を精密に分配するように停止／吸引弁を調整する制御システムを提供する。
【解決手段】第１及び第２の流れ制限装置２０，２１は停止／吸引弁１０の停止部分及び吸引部分とそれぞれ流体的に連通した第１及び第２の空気出口を有する。第１及び第２の圧力センサ２４，２５は第１の空気出口内の圧力及び第２の空気出口内の圧力を感知する。コンピュータプロセッサ３０は第１及び第２の圧力センサに応答して第１及び第２の空気出口の圧力をそれぞれ独立して制御する。停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の開放位置に維持するように、所定の時間に亘り前記第１及び第２の空気出口の圧力が維持され、且つ所定の時間に亘り停止／吸引弁の停止部分及び吸収部分の各々を所定の閉鎖位置に維持するように、第１及び第２の空気出口の圧力がそれぞれ独立して制御される。 （もっと読む）

【課題】初期充填の際、２次室内に液体を円滑に充填させることができる共に、液体を２次室内全域に行き渡らせることできる。
【解決手段】２次室の内面壁１８５は、最大マイナス変形したダイヤフラム１７１が倣うように接触する形状に形成され、内面壁１８５には、中心部に開口した連通流路１７３の２次室側開口部１８６と、下部に開口し流出ポート１９０に連通する流出開口部１８７と、２次室側開口部１８６から上方に延びる上昇溝部２２２、および上昇溝部２２２の頂端から内面壁１８５の周縁部に倣って流出開口部１８７まで延びる下降溝部２２３から成る流路溝２２１と、が形成されている。 （もっと読む）

【課題】受圧膜体への気流の影響を排除することができる圧力調整弁および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】バルブハウジング７１の１次室７５と２次室７６とを連通する連通流路７８に設けた弁体８４を、２次室７６の１の面を構成する受圧膜体７３により大気圧基準で開閉し、流入ポート８１を介して１次室７５に供給した液体を、圧力調整して２次室７６から流出ポート８６を介して供給する圧力調整弁２７であって、受圧膜体７３の挙動を許容すると共に大気に連通する空間を存して、受圧膜体７３を覆う風防カバー５１を備えた。 （もっと読む）

【課題】初期充填の際、液体を２次室内全域に行き渡らせることができる圧力調整弁を提供する。
【解決手段】１の面を除いた２次室１６９の内面壁は、中心部に前記連通流路の２次室側開口部１８６が開口した平面壁部１８５ａと、平面壁部１８５ａの外側に連なり、最大マイナス変形したダイヤフラムが倣うように接触すると共に下部に流出ポートに連通する流出開口部１８７が開口した倣い壁部１８５ｂ、１８５ｃと、上方に向って平面壁部１８５ａから倣い壁部１８５ｂ、１８５ｃに切り込むように延設した流路溝２２１と、を有している。 （もっと読む）

【課題】 初期立上げ時にダイヤフラムの他面側に溜まっている凝縮水を排除してダイヤフラムの他面側が弁口の二次側よりも高圧になることを防止することにより、初期立上げ時間を短縮できる蒸気用減圧弁を提供する。
【解決手段】 一面に圧力設定ばね２３の弾性力を作用させ他面に弁口５の二次側から連通する二次圧検出通路からの二次側圧力を作用させたダイヤフラム２１の撓みで主弁６を制御して弁口５を開閉せしめる蒸気用減圧弁において、二次圧検出通路を第１二次圧検出通路３３と第２二次圧検出通路３４により形成し、第１二次圧検出通路３３の弁口側開口端を第２二次圧検出通路３４の弁口側開口端よりも弁口５に近い位置に形成する。 （もっと読む）

【課題】大気雰囲気あるいは真空雰囲気に切り替え可能な室の内圧を切り替える際の開閉バルブの開動作に伴う発塵、あるいは開閉バルブ連通時の断熱膨張に伴う結露を防止する。
【解決手段】真空処理室１にウエハを搬入出するためのロック室３と、カセット内のウエハを、大気ローダ５、前記ロック室および真空搬送室７を介して前記真空処理室に搬入し、前記処理室で真空処理された処理済ウエハを搬出するための搬送制御を行う制御手段を備えた真空処理装置において、前記搬送制御手段は、前記ロック室内の圧力を大気圧に切り替えるとき、不活性ガス供給ライン１１の開閉バルブを一旦開放してロック室内の圧力を圧力計で設定した所定値に設定した後、大気連通ライン１８を開放したときロック室内に結露が生じるか否かを判定し、結露が生じると判定したとき大気連通ラインを介して供給される大気の流量を前記大気連通ラインに挿入された流量制御手段で制限する。 （もっと読む）

【課題】 上流側の圧力とと下流側の圧力との圧力差の、ピストンの変位量に対する変化量を調整することのできる、汎用性の高い圧力制御装置を提供する。
【解決手段】 圧力制御装置１０は、ピストン１１と、シリンダ１２とを含んで構成される。シリンダ１２は、流体が流れる管路内に設けられ、ピストン１１を内部空間１４に収容する。シリンダ１２には、複数の連通孔１３が形成される。連通孔１３は、内部空間１４と外部空間１６とを連通る。複数の連通孔１３のうちの少なくとも一部は、個別に閉塞可能に形成される。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作で減圧弁の減圧機能を無効に設定したり、また有効に設定できるようにした減圧弁を提供する。
【解決手段】二次側圧力室の圧力上昇に伴いダイヤフラムが弁体を閉弁方向へ移動させることにより二次側圧力室の圧力を低下させる減圧弁であって、弁体を支持する弁棒はダイヤフラムを貫通すると共に、弁体と反対側に延長した軸部を有している。この軸部と同軸に設けられた押棒と、該押棒の先端に設けられた操作部と、押棒を軸部から離間する方向に付勢するバネと、操作部を介して押棒がバネに抗して押し込まれた状態で押棒を保持する保持手段とを備えており、保持手段によって押棒が押し込み状態で保持されているとき、押棒の下端部が軸部の頂部に当接して弁棒の閉弁方向への変位を規制する。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作で減圧弁の減圧機能を無効に設定したり、また有効に設定できるようにした減圧弁を提供する。
【解決手段】一次側圧力室２と二次側圧力室３を区画する隔壁７を内部に有し、該隔壁７に一次側圧力室と前記二次側圧力室を連通する弁口８を開設した弁ユニット４と、弁ユニット４の内部に設けられ、二次側圧力室３の圧力に応じて変位する弁棒９と、該弁棒９に支持され、弁口８を開閉する弁体５とを備えた減圧弁において、弁棒９は、弁体５の開弁方向への移動に伴って弁ユニット４の外部に突出する延長軸部３１を有しており、開弁状態で弁ユニット４の外部に突出する延長軸部３１を保持して弁棒９の閉弁方向への変位を規制する規制手段３０を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、高圧ガス供給システムの運転時における遮断弁開弁時に、２次室側圧力のオーバーシュートと異音の発生を防止することができる減圧弁および該減圧弁を用いた高圧ガス供給システムを提供することにある。
【解決手段】本発明に関わる減圧用レギュレータは、１次側圧力室１８に連通する配管Ｈ１と２次側圧力室１９に連通する配管Ｈ２とが連通状態となり、レギュレータピストン体１１が、１次側圧力室のガス圧力により移動しケース１２に接触し停止した場合に、受圧部１１ｓが２次側圧力室１９の圧力を受ける受圧面積を確保するための凸状の突出部１１ｓ2を、少なくともレギュレータピストン体１１のケース１２との接触部１１ｓまたはケース１２のレギュレータピストン体１１との接触部１９ａの何れか一方に設けている。 （もっと読む）

【課題】 高温高圧の流体や固形物が混入した流体が流通する場合であっても、開度を調節しながら流量や圧力を制御することができるバルブ構造を提供する。
【解決手段】 複数のオンオフ弁Ｖａ〜Ｖｆをパラレルに接続し、いずれのオンオフ弁Ｖａ〜Ｖｆを開弁させるかによって、当該回路の圧力を制御する。
また、特定の１または複数のオンオフ弁Ｖａ〜Ｖｆの下流側に、制御オリフィス１５，１６を設けるとともに、この制御オリフィス１５，１６の開度によって、回路中の流量制御あるいは圧力制御を行う。
さらに、複数のオンオフ弁Ｖａ〜Ｖｆを、ニードルバルブによって構成する。 （もっと読む）

【課題】一次圧の変化に伴う二次圧の変化を小さく抑えるうえ、各部材の加工や組み立ての簡易化ができるようにする。
【解決手段】減圧弁室(９)と二次圧力室(36)との間の隔壁(9a)に流路(13)を形成し、流路(13)の周囲に減圧弁座(12)を形成する。流路(13)へ挿通した小径ロッド(20)を介して、減圧部材(18)をピストン部材(３)と同行移動可能に連結する。ピストン部材(３)の背面に大径ロッド(28)を形成する。大径ロッド(28)と対面するシリンダ室(10)の内面からロッド支持部材(31)を突設する。ロッド支持部材(31)に大径ロッド(28)を保密摺動自在に嵌合し、大径ロッド(28)とロッド支持部材(31)との間に背圧力室(33)を形成する。背圧力室(33)のシール径は、減圧弁座(12)と略同じシール径とする。減圧弁室(９)と背圧力室(33)とを互いに連通する軸線方向流路(24)を貫通状に設ける。 （もっと読む）

ガス圧力調整器（１）は、第一の、ガス入口管（４）、及び第二の、ガス出口管（６）を有する本体（２）と；ガスがその中を第一の管（４）から第二の管（６）へ流れる、調整されるガス経路（８）と；本体（２）の中に少なくとも部分的に収容されたシャッター（９）と；本体（２）の中に収容された消音要素（１０２）と；を有している（図１）。
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【課題】部品点数の少ない簡単な構造にて圧力−変位変換要素の破損時の漏水を防止する
。
【解決手段】弁体５に弁棒12を介して連結されると共に、二次側圧力室３の圧力変動で変
位する圧力−変位変換要素13と、該圧力−変位変換要素13を開弁方向へ付勢する調節バネ
14と、該調節バネ14を開弁方向へ押圧する様にバネカバー15内に上下動自在に螺着した調
節ネジ16とから成る減圧機構部６を設け、調節ネジ16の上方に設けたバネカバー15の上端
開口部15ｂと、該上端開口部15ｂに挿嵌するキャップ20間には、外部とバネカバー15内と
を連通させる通気路28を設け、該通気路28には、キャップ20に遊嵌した環状パッキン33を
保持する拡径部30ａを設けると共に、該拡径部30ａに上方連続して環状パッキン33で水密
状に填塞可能な縮径部30ｂを設け、上記破損時には、バネカバー15内に流入する圧力水に
て環状パッキン33が縮径部30ｂを水密状に填塞する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、機能液の使用量を削減し且つ吐出を安定化することができる機能液供給装置等を提供することを課題としている。
【解決手段】 機能液タンク４３からバルブハウジング６９内の１次室７０に導入した機能液を、バルブハウジング６９内の２次室７９を介して機能液滴吐出ヘッド３に供給すると共に、大気に面し２次室７９の１つの面を構成するダイヤフラム７５により、１次室７０と２次室７９とを連通する連通流路８０に設けた弁体７６を開閉動作させて、２次室７９を圧力調整する圧力調整弁４６の２次室７９には、連通流路８０の２次室側開口部９２が開口すると共に、機能液滴吐出ヘッド３に連なる流出流路９３の流出開口部９４が開口し、２次室７９の内面壁９１は、最大マイナス変形したダイヤフラム７５が接触する形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 人手が掛からず、ビール温度に近似の室温を感知してその温度に適応する炭酸ガス圧を自動で調整できる感温式自動減圧弁の提供。
【解決手段】 バネ部材１の伸縮により弁棒２を作動してガス流路の開度を調整する弁部３を有し、二次側のガス圧力を一次側のガス圧力よりも低い所望の圧力に調整する感温式自動減圧弁であって、弁棒２への押圧力を加減してガス流路の開度を調整する前記バネ部材１に作用する押圧力調節用螺子部材の代りに温度変化に追従して体積が膨張収縮する液体を封入した感温ベローズ体４を前記バネ部材１の頭部に嵌合載設して成ることを特徴とする。 （もっと読む）