【課題】現物サイズの大容量の圧油タンクを備えた圧油供給制御装置を用いて圧油確立訓練を実施する際に、個々の研修者が圧油確立訓練を修了するのに要する時間を大幅に短縮できる。
【解決手段】油槽３と、圧油タンク５と、圧油タンクと配管接続された小型圧油タンク７と、圧油タンクと小型圧油タンクとの間の油供給用配管に設置される油用バルブ１１と、油槽から小型圧油タンクを経由して圧油タンクに油を供給するポンプ１５と、を備え、小型圧油タンク内の油圧を高める場合には、油用バルブを開放することによって圧油タンク内の圧油を小型圧油タンク内に供給する。 （もっと読む）

【課題】大気雰囲気あるいは真空雰囲気に切り替え可能な室の内圧を切り替える際の開閉バルブの開動作に伴う発塵、あるいは開閉バルブ連通時の断熱膨張に伴う結露を防止する。
【解決手段】真空処理室１にウエハを搬入出するためのロック室３と、カセット内のウエハを、大気ローダ５、前記ロック室および真空搬送室７を介して前記真空処理室に搬入し、前記処理室で真空処理された処理済ウエハを搬出するための搬送制御を行う制御手段を備えた真空処理装置において、前記搬送制御手段は、前記ロック室内の圧力を大気圧に切り替えるとき、不活性ガス供給ライン１１の開閉バルブを一旦開放してロック室内の圧力を圧力計で設定した所定値に設定した後、大気連通ライン１８を開放したときロック室内に結露が生じるか否かを判定し、結露が生じると判定したとき大気連通ラインを介して供給される大気の流量を前記大気連通ラインに挿入された流量制御手段で制限する。 （もっと読む）

流体調整制御は、様々なシステム、装置、および技法によって達成することができる。１つの応用例において、流体調整制御装置（２００）は、プロセッサ（２１１）、流体制御アセンブリ（２２０）、および電源（２１５）を含むことができる。プロセッサ（２１１）は、流体レギュレータを制御するためのコマンド（２７０）を生成して、装置の電力条件を調節するように適合することができるが、電力条件は低電力モードおよび高電力モードを含むことができる。装置（２００）は、低電力モード時には、消費する電力を高電力モード時よりも著しく小さくすることができる。流体制御アセンブリ（２２０）は、変換器（２２５）を含むことができ、この変換器（２２５）は、制御流体（１３５）を受け取り、高電力モード時にコマンド（２７０）に応答してその制御流体を調節することができる。流体制御アセンブリ（２２０）はまた、低電力モード時に調節済み制御流体（１４５）をほぼ一定の値に保持することができる。
（もっと読む）

【課題】 油圧アクチュエータにより動作制御される制御対象の位置制御を行う位置制御システムにおいて、ポペット型電磁弁を用いて油の流量制御を行い、弁からの油漏れを抑制すると共に制御対象の位置制御を精度よく行うことのできる位置制御システムを提供する。
【解決手段】油圧アクチュエータ１０１により動作制御される制御対象１０５の位置制御を行う位置制御システム１００であって、前記油圧アクチュエータ１０１の駆動制御を行う電磁弁１〜４と、前記電磁弁１〜４を介して前記油圧アクチュエータ１０１に油を供給するポンプ８と、前記電磁弁１〜４の開閉動作をパルス幅変調制御により行う弁作動手段１２、１３と、前記制御対象１０５の位置を検出する位置検出手段６と、前記電磁弁１〜４に供給される油の温度を検出する油温度検出手段１０と、前記位置検出手段６が検出した位置及び前記油温度検出手段１０が検出した油温度に基づき前記弁作動手段１２、１３が制御するパルス幅のデューティ比を決定する制御計算手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】排出側からガス流入が可能な圧力調整弁を提供する。
【解決手段】 二次圧を受ける受圧面を備えた第１のピストン５と、弁体４と、ピストン５と弁体４とを接続する接続部材６を備え、減圧作動中には、接続部材６を介して、ピストン５と弁体４とが一体として駆動する圧力調整弁１において、接続部材６の挿脱部６１がピストン５の挿脱穴５４に挿脱自在に挿入されており、二次圧室２５に形成された排出口２５１側からガスが送入された場合、挿脱部６１が挿脱穴５４から弁体４の方向へ移動し、弁体４がピストン５から離れて開閉口２３１を開放する。この弁体４の移動により、排出側からのガスの送入が可能となる。 （もっと読む）