【課題】気圧の変動に対して安定した基準圧を伝達することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる室内気圧調節システムを提供する。
【解決手段】室内気圧調節システム１０Ａは、給気ファン１５および排気ファン１６と、クリーンルーム１２からの空気の排気量を調節可能なモーターダンパ１７と、屋外における空気の基準圧をダンパ１７に伝達する中空管３４とを備えている。ダンパ１７のコントローラ３３は、クリーンルーム１２の室内気圧と中空管３４から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した差圧に基づいて基準圧に対する室内気圧を陽圧に保持するためにダンパ１７のダンパ開度を調節する。 （もっと読む）

【課題】配水バルブ制御装置に故障等の不具合が生じた際にも、需要家に対して良好な配水制御が可能となる配水バルブ制御装置を提供する。
【解決手段】配水バルブ制御装置１００は、制御部１と、制御部１から目標開度Ｓ２及び正常信号Ｓ１が入力される信号入出力部２と、信号入出力部２に接続されたバルブ調節部３とを備える構成とする。そして、配水バルブ制御装置１００に不具合が生じた場合には、信号入出力部２は、バルブ調節部３への正常信号Ｓ１の出力を停止して配水バルブ２０２の開度を該不具合発生時の開度に維持する。 （もっと読む）

【課題】起動および稼働停止を簡易に行いながらも、起動する際の安定挙動を実現する整圧装置を提供する。
【解決手段】パイロット通路５に開閉動作可能に設けられ、オキジャリボール１４と下流側配管２との連通開度を可変させる電動弁３０を設ける。電動弁３０が閉弁してパイロット通路５が遮断されるとメインガバナ１１が閉じられた状態で稼働を停止し、電動弁３０が開弁すると、パイロット通路５が連通してメインガバナ１１が稼働する。制御手段は、遠隔操作によってメインガバナ１１を起動させる起動操作信号が出力すると、電動弁３０の速度を規制して低速動作させることにより、パイロット通路５の連通開度を、稼働時の連通開度よりも小さい緩衝開度の範囲内で所定時間をかけて徐々に大きくしていく。そして、所定時間が経過したところで電動弁３０を完全に開弁させて、前記パイロット通路５の連通開度を稼働時の連通開度にする。 （もっと読む）

【課題】簡単な設備構成により、正圧及び負圧のいずれの圧力も付与することが可能な圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】排気通路領域２３は、給気通路領域２１と排気ポート１４とを繋ぐ分岐通路領域２４を備えている。分岐通路領域２４は、給気通路領域２１から分岐させて形成されており、さらに負圧発生用領域２５を備えている。負圧発生用領域２５にはノズル３１が形成されているとともに吸引空間３４が形成されている。吸引空間３４には排気用電磁弁１７側に分岐させて吸引通路領域３６が形成されている。給気通路領域２１から負圧発生用領域２５に分流された作動エアがノズル３１を通過することで吸引空間３４内が減圧され、吸引通路領域３６側に負圧が付与されることとなる。そして、排気用電磁弁１７が開制御されている場合には出力ポート１５に負圧が付与されることとなる。 （もっと読む）

【課題】チャンバ室の圧力を目標圧力降下勾配に近づけるように電動真空弁の弁開度を切り換える設定点を簡単かつ安価に設定できる電動真空弁による排気速度制御方法を提供すること。
【解決手段】電動真空弁２１の弁開度を等比倍数に従って段階的に制御し、弁開度毎に、真空ポンプ１３により粘性流領域から排気を行わせ、圧力センサ１５によりチャンバ室の真空圧力を測定して圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を実測した後、圧力降下カーブＹ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４を目標圧力降下勾配Ｘに近似させるように時間的にずらし、圧力降下カーブ同士の交点を電動真空弁２１の弁開度を切り換える設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に決定し、その後、設定点Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３に基づいて電動真空弁２１の弁開度を切り換え、粘性流領域における排気速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い低真空から高真空までの広い圧力レンジを簡単に圧力制御でき、高精度に圧力制御しながらスロー排気してパーティクルの飛散を確実に防止する真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空ポンプ５を介して真空容器４内の真空圧力を変化させる開閉弁２と、真空容器４内の真空圧力を計測する真空圧力センサ３を介して開閉弁２の開度を制御する真空圧力制御システムであり、到達関数ｆ(ｘ)を算出する演算機能と、開閉弁２を任意の時間幅でオープンクローズするタイマー６０と、オープン・クローズ開度値を真空圧力センサ３の出力と到達関数ｆ(ｘ)から演算する機能とを有する制御ユニット手段１０と、開度値を駆動する駆動手段１２と、圧力低下の所要時間Ｔと到達圧力Ｐを外部からコマンド入力する入力手段１３とを設けて、大気圧又は任意の圧力から目標とする任意の圧力まで低下させるようにした。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御による電流−圧力変換器（ＣＰＣ）を提供する。
【解決手段】デジタルＣＰＣは、デジタル制御装置とオンボード圧力変換器とを利用して、入力アナログ制御信号に基づいて出力圧力を正確に制御する。デジタル制御装置は、ＣＰＣの３方向回動弁からシルト汚染物を弛緩させて噴流除去するよう、前記弁の衝撃運動を与えるシルティング防止アルゴリズムを含んでいる。油圧ドレインへの中間通路を含む冗長シールスタックが、アウトボードシール周りの圧力降下を確実に少なくし、漏れの可能性を最小にし、ＣＰＣの信頼性を高める。デジタル制御装置はまた、冗長性および欠陥管理アルゴリズムを含み、これによりＣＰＣ制御用に複数の入力およびフィードバック信号の使用が可能になる。マスター／スレーブ動作及びその移行もデジタル制御装置によって提供される。 （もっと読む）

【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ１は、サーボ弁１１によって、気体供給源１０から供給される気体の等温化圧力容器１３への流入流量を規制し、等温化圧力容器１３内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁１１を操作する圧力制御手段（コンピュータ１６）は、圧力計１４で計測した等温化圧力容器１３内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流量計１２で計測した流入流量をフィードバック制御する流入流量制御系を構成すると共に、流入流量と圧力微分計１５で計測した等温化圧力容器１３内の圧力微分値とに基づいて等温化圧力容器１３から流出する流出流量を推定するオブザーバを構成し、推定した流出流量を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 （もっと読む）

【課題】複数のユースポイントへの液体の分配供給を可能とする液体供給システムにおいて、構成の煩雑化を回避しつつ、液体圧力を望み通りに適正に制御する。
【解決手段】本システムでは、液体を流通させる主供給ライン１２と、その主供給ライン１２の途中に設けられたポンプ１３と、主供給ライン１２から分岐させて設けられた複数の分岐ラインＬＮ１〜ＬＮｎとを備えており、開閉弁２１により各分岐ラインＬＮ１〜ＬＮｎが個別に開閉されて当該各ラインにおける液体の流通が許可又は禁止される。圧力制御部３０内のコントローラ３５は、各分岐ラインの開閉が要求される場合に、その開閉に伴う分岐ラインの流量変化分に相当する電空レギュレータ３２の制御量を算出するとともに、分岐ラインの開閉に同期させて、前記アクチュエータ制御量に基づいて電空レギュレータ３２の駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の出力圧に応じて、この圧力調整弁を開閉制御して所定の出力圧を取出すようにした制御装置において、とくに開弁動作と閉弁動作の差異による応答性の相違に応じて、制御要素が最適な比例定数あるいはパラメータを設定できるようにする。
【解決手段】制御要素を構成する比例要素１５、積分要素１６、および微分要素１７がそれぞれ開弁動作および閉弁動作に応じた適正な制御をできるように、正側のパラメータと負側のパラメータとを備えており、目標値と圧力センサ１２の出力とを比較するコンパレータ１３の出力の極性を極性判別器２１によって判別し、これに応じてスイッチ１８、１９、２０を切換えて適正なパラメータの選択を行なう。 （もっと読む）

【課題】圧力制御装置において、電源の失陥時にも外部からの圧力により駆動弁を容易に移動して適正に圧力制御を可能とする。
【解決手段】ハウジング１１内に駆動ピストン１７と圧力制御弁２４を移動自在に支持し、駆動ピストン１７を付勢支持すると共に、圧力制御弁２４を付勢支持することで、圧力室Ｒ₃と減圧室Ｒ₂を連通可能とする一方、ソレノイドの電磁力により環状ピストン１９を介して駆動ピストン１７及び圧力制御弁２４を移動することで、高圧室Ｒ₁と圧力室Ｒ₃を連通可能とすると共に、駆動ピストン１７に対向して外部ピストン３０を移動自在に設け、この外部ピストン３０に対して、駆動ピストン１７側の後方圧力室Ｒ₃₂から作用する制御圧が、入力部３６により外部から作用する外部圧以上としている。 （もっと読む）

【課題】各ラインの流体を任意の比率で混合させ、脈動した流体も流量制御することができ、コンパクトな構成で狭いスペースに設置可能であり、設置における配管及び配線接続が容易である流体混合装置の提供。
【解決手段】２つの供給ラインがそれぞれ第一、第二流体制御弁と、各ラインの実流量を計測し信号を出力する各流量計測器と、各流体制御弁を制御するための指令信号を出力する各制御部とを具備し、２つの供給ラインに流れる各々の流体を任意の比率で混合させる。第一流体制御弁は制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御し、第２流体制御弁は流路の開口面積を変化させて流体の流量を制御する。例えば、半導体製造用の洗浄液を得るためにフッ化水素酸または塩酸が１に対して純水が１０〜２００の比率で混合される。 （もっと読む）

【課題】扉の開扉中に、目標室内気圧が高い第１室から目標室内気圧が低い第２室に向かって空気を流動させることができる空調システムを提供する。
【解決手段】空調システムは、扉２５，２６が閉扉中に第１および第２室１０，１１の室内気圧を目標室内気圧に保持する室内気圧調節手段と、扉２５の複数の仮想開き度合を記憶し、扉２５の仮想開き度合に対応する扉開放空間空気通過量を記憶する初期条件記憶手段と、扉２５の実際の開き度合を計測する扉開閉識別手段と、扉２５が開扉中に開放空間を介してつながる第１室１０から第２室１１に向かって空気を流動させる気流方向規制手段とを実行する。気流方向規制手段は、当て嵌めた仮想開き度合に対応する扉開放空間空気通過量を決定し、決定した扉開放空間空気通過量に等しい空気量が開放空間を通過するように、第１および第２室１０，１１につながるダンパ１６，１７の空気通過量を調節する。 （もっと読む）

【課題】空圧アクチュエータに供給する圧縮空気の圧力を連続的に調整する空圧装置であって、小さい圧力差を大きな差よりもより激しく一気に与えることができる、実質的に、調節した圧力に偏差や振動がない空圧装置を提供する。
【解決手段】入力に未調節の圧力ライン（７）を受け入れ、出力に調節された圧力を提供するのに適した圧力調節手段（２）と、前記圧力調節手段（２）の駆動に適した駆動手段（３）を動かすのに適した誤差増幅手段（４）と、前記圧力調節手段（２）の閉ループ制御のために、前記圧力調節手段（２）の下流の圧力値を検出して前記誤差増幅手段（４）にフィードバックするのに適した圧力変換手段（５）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 弁体による通過孔の閉塞状態で通過孔からの流体の漏れを防止できる減圧弁を得る。
【解決手段】 本電磁弁１０では、ソレノイド本体８８に対する通電が遮断されてソレノイド本体８８の周囲及び内側に形成されていた磁界が解消されると、プランジャ９２がシャットスプリング１００の第３付勢力Ｆ３によって上昇する。これにより、プランジャ９２の押圧部９８が弁体５８を下側からシャットスプリング１００の第３付勢力Ｆ３に基づく押圧力で弁体５８を下から押し上げる。このように、弁体５８が押し上げられることで、弁体５８の上端側は通過孔４８の内周部に密着し、これにより、通過孔４８が密閉される。このため、一次圧室５０から二次圧室５２への水素ガスの漏れ（ガス圧の漏れ）を確実に防止でき、二次圧室５２側の不用意な圧力上昇を確実に防止できる。 （もっと読む）

ｉを１からＮまでの整数としてｉ個の区域に管を介して接続可能なｉ個のラインを流れる流体フローを制御するシステムである。このシステムは、ｉ個のラインのそれぞれにおける少なくとも１つの弁と圧力トランスデューサと、弁を制御する制御装置と、区域圧力評価計とを含む。区域圧力評価計は圧力トランスデューサに接続されており、ｉ個の区域のそれぞれにおける評価された圧力を計算し、評価された圧力を制御装置に提供する。
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